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提供一种能够提高处理速度并且避免与结构干扰的衬底运输机器人和包括该衬底运输机器人的系统。该衬底运输机器人包括：一个或多个机器人臂，所述一个或多个机器人臂包括转移手并且用所述转移手转移半导体衬底；臂驱动模块，所述臂驱动模块联接到所述机器人臂中...
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