下载药液供应装置及药液供应方法的技术资料

文档序号:40561491

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本发明提供了药液供应装置及药液供应方法。所述药液供应装置可以包括狭缝喷嘴,且所述狭缝喷嘴可以包括:本体,包括供药液流动通过的流路;喷嘴唇部,向基板上供应所述药液,并且布置在所述本体的端部处;以及确认单元,用于确认并测量所述喷嘴唇部的间隙间隔...
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