一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构制造技术

一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，该机构包括吸片缓冲装置和真空系统，调整座和固定板固定在摆臂上，弹簧两端分别与弹簧导杆和吸片台连接，弹簧导杆由紧固螺钉固定在固定板上，螺纹圆柱销螺纹端拧入弹簧导杆中，小轴一端凸台卡在弹簧导杆上，小轴凸台开有滑槽可沿螺纹圆柱销光滑端滑动，小轴另一端拧入吸片台，小轴中心开有气道，吸片台一端面上拉伸凸台作为弹簧的导杆，吸片台另一端面均匀开有环形的凹槽用来吸附硅片，在吸片的一瞬间，随着弹簧的压缩吸片台和小轴沿螺纹圆柱销一起向上滑动，起到缓冲的作用，防止碎片。该装置具有结构紧凑，安装简单，应用方便。成本低廉的特点，可广泛应用于半导体专用设备中晶片的抓取搬运。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体专用设备自动晶片吸附搬运机构，其吸附搬运硅片的厚度 可以达到200微米。
技术介绍
在半导体专用设备制造过程中，实现硅片的自动取、放和自动传输是一项关键技 术。在现代化的生产设备中，常见的对晶片抓取装置有夹持式、电磁吸附式、真空吸盘吸附 式等。其中夹持式晶片抓取装置容易造成晶片损坏，电磁吸附式晶片抓取装置和真空吸盘 吸附式晶片抓取装置结构较为复杂，零件加工难度大，还存在难于控制的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于提供一种半导体专用设备用晶片吸附搬运装置，要解决传统 晶片抓取装置可靠性低、结构复杂的技术问题。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案本专利技术包括升降缓冲吸附台以及与升降缓冲吸附台可调连接的摆臂；升降缓冲吸附台包括装配在一起的弹簧导杆、固定板、吸片台、小轴、螺纹圆柱销、 弹簧、紧固螺钉，其中所述弹簧导杆与固定板固定连接，小轴穿过弹簧导杆与固定板上设有 的通孔，小轴的上端设有端帽卡在弹簧导杆上，小轴的下端螺纹连接在吸片台上，弹簧套在 小轴上，弹簧上下两端分别与于弹簧导杆和吸片台连接，弹簧导杆上贴着小轴的端帽固定 有螺纹圆柱销，小轴的端帽上开设有滑槽可沿螺纹圆柱销光滑面滑动，小轴中心开有气道； 吸片台下表面上均勻布设有方便吸附硅片的环形的凹槽，并设有将各环形凹槽沟通的两条 互垂直的径向凹槽。本专利技术所述升降缓冲吸附台与摆臂的可调连接为在固定板上设置有槽孔，螺钉 穿过槽孔将固定板固定在摆臂上，在摆臂上固定有调整座，调整座的另一端设有直角折边 与固定板抵靠，在调整座上设置有槽孔，螺钉穿过槽孔将调整座固定在摆臂上。本专利技术所述吸片台上表面上设有伸出的凸台作为弹簧的导杆。本专利技术在操作时在吸片的一瞬间，随着弹簧的压缩吸片台和小轴沿螺纹圆柱销一 起向上滑动，此过程中，由于螺纹圆柱销的存在，吸片台不会旋转，并且由于弹簧压力的存 在，起到缓冲的作用，防止碎片。本专利技术的有益效果为本专利技术用于对晶片进行加工的半导体专用设备，其吸附搬 运硅片的厚度可以达到200微米。与现有技术相比本专利技术是一种结构简单实用、使用方便 和结构可靠、运行平稳的晶片吸附搬运装置。与传统技术相比，本专利技术的明显特点是弹簧 两端分别与弹簧导杆和吸片台连接，由于弹簧压力的存在，可以很好保护晶圆片，起到缓冲 的作用，运行平缓，控制精度高；随着弹簧的压缩，吸片台和小轴沿螺纹圆柱销一起向上滑 动，由于螺纹圆柱销的存在，吸片台不会旋转，结构实用，控制简单。由于采用了弹簧和小轴 的双重结构的设计，使该装置整体结构紧凑，安装简单，结构可靠、运行平稳。附图说明图1是本专利技术的结构剖视图，图2是本专利技术的结构示意图， 图3是吸片台的结构示意图。附图标记1-弹簧导杆2-小轴3-螺纹圆柱销4-弹簧5-紧固螺钉6_固定板 7_摆臂8-调整座9-吸片台10-环形凹槽11-径向凹槽12-槽孔13-端帽。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术做进一步详细的说明。如附图1、2所示，本专利技术实施例半导体专用设备用晶片吸附搬运装置在调整座8和固定板6上设置有槽孔12，螺钉穿过槽孔将调整座8以及固定板6 固定在摆臂7上。弹簧4两端分别与弹簧导杆1和吸片台9连接，弹簧导杆1由紧固螺钉5 固定在固定板6上，螺纹圆柱销3螺纹端拧入弹簧导杆1中，小轴2上端设置有端帽13卡 在弹簧导杆1上，小轴2的端帽13上开有滑槽可沿螺纹圆柱销3光滑面滑动，小轴2下端 拧入吸片台9，小轴2中心开有气道，吸片台9的上表面上拉伸出凸台作为弹簧4的导杆。 吸片台9下表面面上均勻布设有环形凹槽10用来吸附硅片，并设有将各环形凹槽10沟通 的两条互垂直的径向凹槽11。这种新型的晶片吸附搬运装置主要由弹簧导杆、小轴、螺纹圆柱销、弹簧、固定板、 摆臂、调整座、吸片台等几部分组成，在吸片的一瞬间，随着弹簧4的压缩吸片台9和小轴2 沿螺纹圆柱销3 —起向上滑动，此过程中，由于螺纹圆柱销3的存在，吸片台9不会旋转，并 且由于弹簧4压力的存在，起到缓冲的作用，防止碎片。权利要求一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，其特征在于其包括升降缓冲吸附台以及与升降缓冲吸附台可调连接的摆臂(7)；升降缓冲吸附台包括装配在一起的弹簧导杆(1)、固定板(6)、吸片台(9)、小轴(2)、螺纹圆柱销(3)、弹簧(4)、紧固螺钉(5)，其中所述弹簧导杆(1)与固定板(6)固定连接，小轴(2)穿过弹簧导杆(1)与固定板(6)上设有的通孔，小轴(2)的上端设有端帽(13)卡在弹簧导杆(1)上，小轴(2)的下端螺纹连接在吸片台(9)上，弹簧(4)套在小轴(2)上，弹簧(4)上下两端分别与于弹簧导杆(1)和吸片台(9)连接，弹簧导杆(1)上贴着小轴(2)的端帽(13)固定有螺纹圆柱销(3)，小轴(2)的端帽(13)上开设有滑槽可沿螺纹圆柱销(3)光滑面滑动，小轴(2)中心开有气道；吸片台(9)下表面上均匀布设有方便吸附硅片的环形的凹槽，并设有将各环形凹槽沟通的两条互垂直的径向凹槽。2.根据权利要求1所述的一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，其特征在于所 述升降缓冲吸附台与摆臂(7)的可调连接为在固定板(6)上设置有槽孔，螺钉穿过槽孔将 固定板(6)固定在摆臂(7)上，在摆臂(7)上固定有调整座(8)，调整座(8)的另一端设有 直角折边与固定板(6)抵靠，在调整座(8)上设置有槽孔，螺钉穿过槽孔将调整座(8)固定 在摆臂(7)上。3.根据权利要求1所述的一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，其特征在于所 述吸片台(9)上表面上设有伸出的凸台作为弹簧(4)的导杆。全文摘要一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，该机构包括吸片缓冲装置和真空系统，调整座和固定板固定在摆臂上，弹簧两端分别与弹簧导杆和吸片台连接，弹簧导杆由紧固螺钉固定在固定板上，螺纹圆柱销螺纹端拧入弹簧导杆中，小轴一端凸台卡在弹簧导杆上，小轴凸台开有滑槽可沿螺纹圆柱销光滑端滑动，小轴另一端拧入吸片台，小轴中心开有气道，吸片台一端面上拉伸凸台作为弹簧的导杆，吸片台另一端面均匀开有环形的凹槽用来吸附硅片，在吸片的一瞬间，随着弹簧的压缩吸片台和小轴沿螺纹圆柱销一起向上滑动，起到缓冲的作用，防止碎片。该装置具有结构紧凑，安装简单，应用方便。成本低廉的特点，可广泛应用于半导体专用设备中晶片的抓取搬运。文档编号H01L21/683GK101866870SQ20101018142公开日2010年10月20日 申请日期2010年5月25日 优先权日2010年5月25日专利技术者张文斌, 王欣, 袁立伟 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构，其特征在于：其包括升降缓冲吸附台以及与升降缓冲吸附台可调连接的摆臂（７）；升降缓冲吸附台包括装配在一起的弹簧导杆（１）、固定板（６）、吸片台（９）、小轴（２）、螺纹圆柱销（３）、弹簧（４）、紧固螺钉（５），其中所述弹簧导杆（１）与固定板（６）固定连接，小轴（２）穿过弹簧导杆（１）与固定板（６）上设有的通孔，小轴（２）的上端设有端帽（１３）卡在弹簧导杆（１）上，小轴（２）的下端螺纹连接在吸片台（９）上，弹簧（４）套在小轴（２）上，弹簧（４）上下两端分别与于弹簧导杆（１）和吸片台（９）连接，弹簧导杆（１）上贴着小轴（２）的端帽（１３）固定有螺纹圆柱销（３），小轴（２）的端帽（１３）上开设有滑槽可沿螺纹圆柱销（３）光滑面滑动，小轴（２）中心开有气道；吸片台（９）下表面上均匀布设有方便吸附硅片的环形的凹槽，并设有将各环形凹槽沟通的两条互垂直的径向凹槽。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王欣，张文斌，袁立伟，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：13[中国|河北]