一种半导体工业抛光用搬运装置制造方法及图纸

一种半导体工业抛光用搬运装置，它包括：柜体(4)，柜体中设立支架(15)，支架上装有电机Ⅰ(12)、电机Ⅱ(11)，其中电机Ⅰ固定在柜体上，电机Ⅰ的转轮上自带螺母与丝杆Ⅰ(14)连接，丝杆Ⅰ(14)与小空心轴(17)固定连接在一起，本装置还包括旋转气缸(13)，气缸的一端固定在柜体上，另一端与大空心轴(18)固定连接，大空心轴(18)与小空心轴(17)嵌套连接，小空心轴(17)与机械臂的两个分支固定连接，机械臂分支的前端各连接一个托盘，每个托盘下表面有真空吸孔(2)；电机Ⅱ与丝杆Ⅱ(16)相连接，丝杆Ⅱ(16)可以旋转，柜体上方设有PLC控制器(3)、柜体下方设有电机带动的齿轮，该齿轮与轨道齿线啮合，还包括真空泵及真空管道(5)。本实用新型专利技术的优点是：结构简易，操作方便，可极大地节省人力，稳定生产效率，并减小产生划伤的几率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体工业抛光用搬运装置，特别是一种代替手工、在相邻几台抛光机之间搬运陶瓷板的装置
技术介绍
化学机械抛光(CMP)的目的是去除前道工序在硅片表面留下的损伤层，并通过化学腐蚀和机械研磨的交替作用，得到光亮洁净、没有沾污、没有划伤的、平整的镜面。在半导体行业高速发展的今天，对抛光片表面的洁净程度要求越来越高。部分厂家不惜成本购置全自动抛光机组以期减少人工操作对抛光片的负面影响，但这些设备价格昂贵，且维护技术和维护成本都相当高，所以绝大多数厂家还是使用需要人工操作的抛光机组，这样人工操作就不可避免地会对抛光片表面造成划伤和颗粒沾污。另外，在抛光过程中承载抛光片进行抛光作业的陶瓷板有一定的重量，长时间使用人力搬运易造成人体疲劳并引发某些疾 病，且受诸多因素影响效率不稳定。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种半导体工业抛光用搬运装置，它适用于四压头、陶瓷板贴片式的抛光机组，本装置结构简易，操作方便，可极大地节省人力，稳定生产效率，并减小产生划伤的几率。为实现上述目的，本技术采取以下设计方案一种半导体工业抛光用搬运装置，其特征在于它包括柜体，柜体中设立支架，支架上装有电机I、电机II，其中电机I固定在柜体上，电机I的转轮上自带螺母与丝杆I连接，丝杆I与小空心轴固定连接在一起，本装置还包括旋转气缸，气缸的一端固定在柜体上，另一端与大空心轴固定连接，大空心轴与小空心轴嵌套连接，小空心轴与机械臂的两个分支固定连接，机械臂分支的前端各连接一个托盘，每个托盘下表面有真空吸孔；电机II与丝杆II相连接，丝杆II可以旋转，柜体上方设有PLC控制器、柜体下方设有电机带动的齿轮，该齿轮与轨道齿线啮合，还包括真空泵及真空管道。机械臂整体平行于地面。托盘横截断面为圆形；每个托盘下表面有四个真空吸孔；每个吸孔周围有倒扣碗状橡胶垫圈。在柜体、机械臂和托盘内贯穿真空管道，并连接到每个托盘上的真空吸孔。机械臂，包括连接柜体与托盘，通过柜体内部固定在柜体上的电机I和电机II以及与电机相连接的丝杠和旋转气缸，可做伸缩、上下升降动作(各个动作的实现原理详见下文)。托盘下表面的真空吸盘可吸附陶瓷板，每个托盘下的真空吸盘的真空开启和关闭可单独进行控制，两个托盘可以在旋转气缸推动机械臂的作用下，以机械臂延长线为轴做180°旋转，以方便测量贴附于陶瓷板上硅片的去除量和其他对硅片的操作。控制台可以通过PLC控制真空的开启与关闭、机械臂的伸缩、上下升降动作、托盘的180°旋转动作、柜体沿轨道的平移/停止动作。柜体下方通过电机带动齿轮与轨道齿线哨合进行平移。附图说明 图I :本技术设备外观示意图图2 :本技术设备在抛光机大盘上抓取陶瓷板的俯视示意图3 :托盘下表面吸盘平面图图4:托盘侧面视图图5:控制柜内部示意图图I、图2、图3、图4中，I为机械臂，2为托盘，3为控制台，4为柜体，5为带有齿线的轨道，6为承载抛光片的陶瓷板，7为抛光大盘的中心导轮，8为抛光大盘，9为托盘上真空吸孔周围的倒扣碗状橡胶垫圈，10为真空吸孔，11为电机II，12为电机I，13为旋转气缸，14为丝杠I，15为支架，16为丝杆II，17为小空心轴，18为大空心轴。具体实施方式本装置包括柜体4，柜体中设立支架15，支架上装有电机I 12、电机II 11，其中电机I固定在柜体上，电机I的转轮上自带螺母与丝杆I 14连接，丝杆I 14与小空心轴17固定连接在一起，旋转气缸13与丝杆I 14之间无接触，气缸的一端固定在柜体上，另一端与大空心轴18固定连接，大空心轴18与小空心轴17嵌套连接，二者可相对滑动，但不能相对旋转和脱离，小空心轴17与机械臂的两个分支固定连接。机械臂分支的前端各连接一个托盘，每个托盘下表面有真空吸孔2 ;电机II与丝杆II 16相连接，丝杆16可以旋转，与支架15的位置都是固定的。柜体上方设有PLC控制器3、柜体下方设有电机带动的齿轮，该齿轮与轨道齿线啮合，还包括真空泵及真空管道5。可以选用Kuroda生产的旋转气缸，型号为PRN800S-270-S5-Z。机械臂前后伸缩的实现方式电机I启动时，使得丝杆(14)前后伸缩，带动小空心轴(17)沿着大空心轴(18)前后滑动，从而带动机械臂实现同步的前后伸缩动作；机械臂上下翻转的实现方式向旋转气缸(13)充高压空气时，气缸旋转180度，气缸带动大空心轴(18)、小空心轴(17)同时旋转，小空心轴(17)也同时带动机械臂翻转180度，托盘带真空吸孔的一面朝上；旋转气缸排气时，气缸再回到原来的0度位置，托盘带真空吸孔的一面朝下，实现机械臂的上下翻转动作，机械臂两分支是同步的。机械臂上下升降动作的实现方式电机II启动时，与丝杆(16)开始相对上下运动，由于丝杆(16)固定在支架上，而电机II固定在柜体上，柜体可上下活动，从而使得电机II带动柜体沿丝杆(16)上下升降，柜体同时带动机械臂上下升降。本装置的操作方法结合PLC控制器说明，PLC控制器可以选用MITSUBISHI生产的Q系列(如Q02ucpu)。下面的表格是PLC控制器输出动作及相应的输入条件说明。输入条件的含义以安装在机械臂和柜体内的位置传感器为准，当机械臂或柜体移动到某个位置时，传感器会把当前位置传感器的信号传送给PLC控制器，作为一个输入条件。当满足完成某个动作所需要的几个条件时，按下控制台上相应的动作按键，可以实现这个动作的输出。限制“输入条件”是为了避免不当操作引起的机械臂与设备碰撞和其他对人身、设备存在的安全隐患。权利要求1.一种半导体工业抛光用搬运装置，其特征在于它包括柜体(4)，柜体中设立支架(15)，支架上装有电机I (12)、电机II (11)，其中电机I固定在柜体上，电机I的转轮上自带螺母与丝杆I (14)连接，丝杆I (14)与小空心轴(17)固定连接在一起，本装置还包括旋转气缸(13)，气缸的一端固定在柜体上，另一端与大空心轴(18)固定连接，大空心轴(18)与小空心轴(17)嵌套连接，小空心轴(17)与机械臂的两个分支固定连接，机械臂分支的前端各连接一个托盘，每个托盘下表面有真空吸孔(2);电机II与丝杆II (16)相连接，丝杆II(16)可以旋转，柜体上方设有PLC控制器(3)、柜体下方设有电机带动的齿轮，该齿轮与轨道齿线啮合，还包括真空泵及真空管道(5)。2.根据权利要求I所述一种半导体工业抛光用搬运装置，其特征在于机械臂整体平行于地面。3.根据权利要求I或2所述一种半导体工业抛光用搬运装置，其特征在于托盘横截断面为圆形；每个托盘下表面有四个真空吸孔；每个吸孔周围有倒扣碗状橡胶垫圈。4.根据权利要求I所述一种半导体工业抛光用搬运装置，其特征在于在柜体、机械臂和托盘内贯穿真空管道，并连接到每个托盘上的真空吸孔。5.根据权利要求3所述一种半导体工业抛光用搬运装置，其特征在于在柜体、机械臂和托盘内贯穿真空管道，并连接到每个托盘上的真空吸孔。专利摘要一种半导体工业抛光用搬运装置，它包括柜体(4)，柜体中设立支架(15)，支架上装有电机Ⅰ(12)、电机Ⅱ(11)，其中电机Ⅰ固定在柜体上，电机Ⅰ的转轮上自带螺母与丝杆Ⅰ(14)连接，丝杆Ⅰ(14)与小空心轴(17)固定连接在一起，本装置还包括旋转气缸(13)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体工业抛光用搬运装置，其特征在于：它包括：柜体（4），柜体中设立支架（15），支架上装有电机Ⅰ（12）、电机Ⅱ（11），其中电机Ⅰ固定在柜体上，电机Ⅰ的转轮上自带螺母与丝杆Ⅰ（14）连接，丝杆Ⅰ（14）与小空心轴（17）固定连接在一起，本装置还包括旋转气缸（13），气缸的一端固定在柜体上，另一端与大空心轴（18）固定连接，大空心轴（18）与小空心轴（17）嵌套连接，小空心轴（17）与机械臂的两个分支固定连接，机械臂分支的前端各连接一个托盘，每个托盘下表面有真空吸孔（2）；电机Ⅱ与丝杆Ⅱ（16）相连接，丝杆Ⅱ(16）可以旋转，柜体上方设有PLC控制器（3）、柜体下方设有电机带动的齿轮，该齿轮与轨道齿线啮合，还包括真空泵及真空管道（5）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李耀东，闫徯，王新，
申请(专利权)人：有研半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：