【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英管加工，具体说是一种石英双层管加工装置。
技术介绍
1、半导体用石英管是一种高纯度的二氧化硅石英玻璃经拉管、机械加工和氢氧焊接成型的，具有卓越的光学性能、机械性能以及热学性能的石英管。是晶圆进行高温加热过程的区域，由石英炉管、反应室和数个加热器组成，在半导体制程中广泛应用于扩散、氧化、退火处理等工艺设备中。
2、现有技术中，加工的双层管是把内管和外管合到一起，合到一起的加工要保证内外管的同轴度和垂直度及加工的便捷性，同时，在石英管生产加热拉伸制造的过程中可能会存在气泡凸起，通过打磨使其更加光滑透光性更佳，在实际的打磨对试音管内壁进行打磨时，不是从头到尾全部进行打磨，而是具有针对性的打磨存在气泡凸起的区域，现有技术中仅能对石英管进行打磨，却无法对打磨完成后是否平整进行检测，无法及时的显示出打磨后的石英管内壁是否合格，由于石英管为透明材料，通过直接观察可能无法发现气泡凸起，需要再次进行检测，单独的进行检测操作过程较为繁琐。
技术实现思路
1、针对现有技术中的问题，本专利技术提供了一种石英双层管加工装置，能够实现对石英双层管内壁打磨的同时还能够对未打磨的区域进行检测，直观的看出石英双层管内壁的气泡凸起，保证打磨的准确性。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种石英双层管加工装置，包括底座平台，所述底座平台的上表面固定连接有立柱，所述支撑板固定连接在立柱的顶部，所述齿盘转动连接在支撑板远离立柱的一端中部，所述调节组件连接在齿盘的下表面，
3、具体的，所述转动杆远离收纳槽的一端转动连接有轮架，所述轮架的中部转动连接有贴紧轮。
4、具体的，多个所述连接架的底部均固定连接有连接盘，其中一个连接盘的下表面固定连接有打磨电机，所述打磨电机的输出端固定连接有打磨盘。
5、具体的，除与打磨电机连接的连接盘外，其余所述连接盘下表面固定连接有安装轴，安装轴的外壁固定连接有气缸，所述气缸的伸缩端固定连接有摩擦片。
6、具体的，所述支撑板的上表面固定连接有电机架，所述电机架的下表面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮与齿盘啮合。
7、具体的，所述齿盘的下表面中部固定连接有安装箱，所述安装箱的底部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端延伸至安装箱内，且第二电机的输出端固定连接有斜齿轮，所述安装箱侧壁转动贯穿有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆置于安装箱内部的一端固定连接有斜齿轮，所述斜齿轮与斜齿轮啮合设置。
8、具体的，所述调节螺纹杆的外壁螺纹套接有滑动块，所述齿盘的下表面固定连接有导向限位板，所述滑动块的顶部滑动连接在导向限位板内，所述滑动块一侧固定连接有导向块，导向块滑动套接在所述调节竖杆的外壁。
9、具体的，所述底座平台的上表面固定连接有工件放置平台，所述立柱一侧设置有夹紧组件，所述夹紧组件包括移动板，所述立柱的侧壁固定连接有导轨，所述移动板滑动连接在导轨上，所述立柱顶部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆转动贯穿移动板。
10、具体的，所述移动板一侧固定连接有安装板，所述安装板远离移动板的一侧设有夹紧槽，所述夹紧槽内转动连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的一端延伸至安装板的外部，且固定连接有调节转盘。
11、具体的，所述双向螺纹杆的外壁套设有延伸杆，所述延伸杆置于双向螺纹杆外部的一端与夹紧槽内壁滑动连接，所述延伸杆远离安装板的一端固定连接有夹紧盘。
12、本专利技术的有益效果：
13、(1)本专利技术所述的一种石英双层管加工装置，在夹紧组件夹紧之后进行双层管的焊接，保证加工的双层管的同轴度和垂直度，监测打磨组件的设置既能够对石英双层管的内壁进行及时的检测，同时还能够实现对其内壁的打磨，贴紧轮转动到凸起位置时会通过轮架推动转动杆转动一定的角度，此时置于两个转动杆之间的拉紧弹簧拉伸，出现倾斜的现象能够直观准确的观察出石英双层管内壁气泡凸起位置，在对石英双层管内壁进行打磨时贴紧轮与拉紧弹簧的配合既能够使得打磨盘稳定移动，同时还能够对未打磨区域进行检测。
14、(2)本专利技术所述的一种石英双层管加工装置，通过齿盘的设置能够保证打磨过程中摩擦片以及打磨盘能够在石英双层管内匀速转动，保证打磨的均匀性，同时齿盘33还对调节竖杆起到限位作用，在对调节竖杆上下调节时，避免调节竖杆出现晃动现象。
15、(3)本专利技术所述的一种石英双层管加工装置，调节竖杆的外壁设置有刻度线能够准确的对石英双层管内壁气泡凸起的位置进行记录，同时还能保证在针对性打磨时的准确性。
16、(4)本专利技术所述的一种石英双层管加工装置，通过转动调节转盘带动置于夹紧槽内的双向螺纹杆进行转动，套设在双向螺纹杆外壁的延伸杆带动夹紧盘对石英双层管进行夹紧，保证在对石英双层管内壁进行打磨时的稳定性，通过手动转动调节转盘能够保证对石英双层管的夹紧力度适当。
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1.一种石英双层管加工装置，包括底座平台（1），其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述转动杆（53）远离收纳槽（52）的一端转动连接有轮架（55），所述轮架（55）的中部转动连接有贴紧轮（56）。
3.根据权利要求2所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：多个所述连接架（51）的底部均固定连接有连接盘（57），其中一个连接盘（57）的下表面固定连接有打磨电机（58），所述打磨电机（58）的输出端固定连接有打磨盘（59）。
4.根据权利要求3所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：除与打磨电机（58）连接的连接盘（57）外，其余所述连接盘（57）下表面固定连接有安装轴（50），安装轴（50）的外壁固定连接有气缸（501），所述气缸（501）的伸缩端固定连接有摩擦片（502）。
5.根据权利要求2所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述支撑板（3）的上表面固定连接有电机架（31），所述电机架（31）的下表面固定连接有驱动电机（32），所述驱动电机（32）的输出端固定连接有主动齿轮，所述主
6.根据权利要求5所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述齿盘（33）的下表面中部固定连接有安装箱（43），所述安装箱（43）的底部固定连接有第二电机（42），所述第二电机（42）的输出端延伸至安装箱（43）内，且第二电机（42）的输出端固定连接有啮合斜齿盘（421），所述安装箱（43）侧壁转动贯穿有调节螺纹杆（46），所述调节螺纹杆（46）置于安装箱（43）内部的一端固定连接有斜齿轮（461），所述斜齿轮（461）与啮合斜齿盘（421）啮合设置。
7.根据权利要求6所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述调节螺纹杆（46）的外壁螺纹套接有滑动块（45），所述齿盘（33）的下表面固定连接有导向限位板（331），所述滑动块（45）的顶部滑动连接在导向限位板（331）内，所述滑动块（45）一侧固定连接有导向块（44），导向块（44）滑动套接在所述调节竖杆（41）的外壁。
8.根据权利要求1所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述底座平台（1）的上表面固定连接有工件放置平台（12），所述立柱（11）一侧设置有夹紧组件（2），所述夹紧组件（2）包括移动板（26），所述立柱（11）的侧壁固定连接有导轨（13），所述移动板（26）滑动连接在导轨（13）上，所述立柱（11）顶部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有第一螺纹杆（27），所述第一螺纹杆（27）转动贯穿移动板（26）。
9.根据权利要求8所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述移动板（26）一侧固定连接有安装板（21），所述安装板（21）远离移动板（26）的一侧设有夹紧槽，所述夹紧槽内转动连接有双向螺纹杆（23），所述双向螺纹杆（23）的一端延伸至安装板（21）的外部，且固定连接有调节转盘（24）。
10.根据权利要求9所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述双向螺纹杆（23）的外壁套设有延伸杆（22），所述延伸杆（22）置于双向螺纹杆（23）外部的一端与夹紧槽内壁滑动连接，所述延伸杆（22）远离安装板（21）的一端固定连接有夹紧盘（25）。
...【技术特征摘要】
1.一种石英双层管加工装置，包括底座平台（1），其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述转动杆（53）远离收纳槽（52）的一端转动连接有轮架（55），所述轮架（55）的中部转动连接有贴紧轮（56）。
3.根据权利要求2所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：多个所述连接架（51）的底部均固定连接有连接盘（57），其中一个连接盘（57）的下表面固定连接有打磨电机（58），所述打磨电机（58）的输出端固定连接有打磨盘（59）。
4.根据权利要求3所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：除与打磨电机（58）连接的连接盘（57）外，其余所述连接盘（57）下表面固定连接有安装轴（50），安装轴（50）的外壁固定连接有气缸（501），所述气缸（501）的伸缩端固定连接有摩擦片（502）。
5.根据权利要求2所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述支撑板（3）的上表面固定连接有电机架（31），所述电机架（31）的下表面固定连接有驱动电机（32），所述驱动电机（32）的输出端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮与齿盘（33）啮合。
6.根据权利要求5所述的一种石英双层管加工装置，其特征在于：所述齿盘（33）的下表面中部固定连接有安装箱（43），所述安装箱（43）的底部固定连接有第二电机（42），所述第二电机（42）的输出端延伸至安装箱（43）内，且第二电机（42）的输出端固定连接有啮合斜齿盘（421），所述安装箱（43）侧壁转动贯穿有调节螺纹杆（46），所述调节螺纹杆（46）置于安装箱（43）内部的一端固定连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱亚东，王光余，徐业宇，
申请(专利权)人：合肥赛默科思半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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