【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测，具体是一种伯努利石英吸盘检测装置。
技术介绍
1、伯努利吸盘是一种适用于搬运厚度薄且及其精密和脆弱工件(如硅片)的吸盘，通常与机械手配合使用。通常的，伯努利吸盘是在吸盘上设置进气口，接入高压缩空气，向吸盘下表面吹气，吸盘工作面产生均匀且薄的强气流，此时工件如硅片上表面的气体流速大于其下部的气体流速，利用流体速度越快压强越小的原理，硅片的上下两侧会产生压力差，从而在硅片的底部能够形成向上的托举力，进而使得硅片吸附在吸盘本体的底部，也即利用大气压力差将硅片吸附起来。
2、上述吸盘由于是用于吸附厚度薄且及其精密和脆弱工件，故对其吸附性能的检测尤为重要，操作人员在生产前对吸盘只做吸盘外观检查，无法对吸盘的吸力进行检查；工作中，吸盘吸力不足会导致工件掉落损坏，而停止工作后，再从机械手上取下吸盘进行检查和更换，会花费大量时间，费时费力；另外，在实际使用过程中有些工件表面有时会沾有大量水，这更加考验吸盘吸附性能，亟需对此进行检测；为此，我们设计一种伯努利石英吸盘检测装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种伯努利石英吸盘检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种伯努利石英吸盘检测装置，包括底部四角设有支腿的检测台，检测台顶部固定设有两个互相平行的竖板，两个竖板之间设有水箱，所述水箱顶部开口设计，水箱与检测台顶面固定连接，两个竖板互相靠近的侧面对称开设有
4、作为本专利技术的优选方案：所述夹持机构包括固定座、l形夹持爪、第一转杆、第二转杆、第一转柄和第二转柄，固定设置于顶板底部的固定座内转动设有第一转杆和第二转杆，所述固定座内设有供第一转杆两端和第二转杆两端分别嵌入的内腔，第一转杆和第二转杆位于内腔内的部分表面设有外螺纹，所述内腔内滑动设有与其相适应的滑套，滑套套设于对应第一转杆和第二转杆上，滑套内设有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述固定座底部开设有与内腔一一对应的滑槽，所述滑槽与内腔连通，滑槽内滑动设有与其相适应的l形夹持爪，l形夹持爪顶端与对应滑套底部固定连接，l形夹持爪底端伸至固定座下方，所述第一转杆的右端伸至固定座外部并连接有第一转柄，所述第二转杆的前端伸至固定座外部并连接有第二转柄，所述第一转柄和第二转柄均与固定座外侧表面转动连接。
5、作为本专利技术再进一步的优选方案：所述调节机构包括电机、凸轮、弹簧和竖杆，所述支架板内侧顶壁固定连接有两个竖杆，竖杆另一端与竖板顶面固定连接，所述顶板左右两端伸至对应一侧支架板内侧，所述竖杆滑动贯穿顶板设置，竖杆上套设有弹簧，弹簧的底端与竖板顶面固定连接、顶端与顶板底面固定连接，所述竖板顶面通过支座固定设有电机，电机的输出轴连接有凸轮，所述凸轮位于同一侧的两个竖杆之间。
6、作为本专利技术再进一步的优选方案：所述承载盒的尺寸大小小于水箱顶部开口的尺寸大小。
7、作为本专利技术再进一步的优选方案：所述第一转杆长度方向与第二转杆长度方向垂直，第二转杆位于第一转杆正上方。
8、作为本专利技术再进一步的优选方案：四个所述内腔各自均不连通，所述第一转杆两端和第二转杆两端均与对应内腔内壁转动连接。
9、作为本专利技术再进一步的优选方案：所述凸轮抵接于顶板的底面，凸轮与竖板顶面不接触。
10、作为本专利技术再进一步的优选方案：所述安装框为“口”字形结构，支架板为“u”字形结构。
11、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
12、1.本专利技术首次使用时，水箱内装有水，承载盒内放置有工件盘，但承载盒位于水箱上方；接着，通过夹持机构固定住待检测吸盘，并将软管与伯努利接头连接，然后启动电推杆，电推杆带动安装框连同承载盒上升，使得工件盘向上移动，直到工件盘顶面与吸盘底部抵接，随后启动气泵，将外界气体输送至吸盘底部出气口，模拟吸盘正常工作，此时令电推杆收缩，带动承载盒与工件盘分离，观察此时工件盘是否被吸住，若否，则说明吸盘不合格，若是，则进行后续检测操作；本装置中夹持机构模拟工作中与吸盘配合的机械手，可以快速的将吸盘夹持固定住，并开始检测吸盘性能，同时取下的方便，避免从机械手上取下吸盘进行检查和更换，会花费大量时间，费时费力，提高工作效率。
13、2.本专利技术中后续操作为使用调节机构，使用时，为了提高本装置检测吸盘吸附性能的能力，当夹持机构夹持住吸盘，且吸盘吸附住工件盘时，启动两个电机，电机驱动对应凸轮旋转，由于凸轮的特性以及两个凸轮抵接于顶板底面左右两端，同时配合弹簧对顶板向下的拉力，可知在凸轮旋转的过程中，顶板会不断上下移动，且移动幅度较小，即可实现顶板的震动目的，进而使顶板下方的吸盘和工件盘一同震动，观察工件盘是否发生位移，伸至掉落，进而判断吸盘的吸附能力的强弱。
14、3.本专利技术还设有其他检测功能，即当工件盘表面沾水时，吸盘的吸附能力检测，具体过程如下：在吸盘吸附工件盘前，令电推杆收缩，带动承载盒进入水箱内，由于承载盒设有多个通孔，水可浸没工件盘，再次令电推杆伸长，直到工件盘再次与吸盘底部抵接，此时工件盘表面粘有大量水，继续上述吸附性能检测操作过程，对其进行进一步的吸附能力的检测，本装置检测能力强，适用性高，值得推广。
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1.一种伯努利石英吸盘检测装置，包括底部四角设有支腿的检测台(1)；其特征在于：所述检测台(1)顶部设有两个互相平行的竖板(2)，两个竖板(2)之间设有水箱(13)，所述水箱(13)顶部开口设计，水箱(13)与检测台(1)顶面固定连接，两个竖板(2)互相靠近的侧面对称开设有凹槽(16)，所述凹槽(16)内下侧面设有电推杆(14)，电推杆(14)的伸长端设有滑块(15)，滑块(15)与凹槽(16)内侧壁滑动连接，两个滑动(15)之间连接有安装框(9)，安装框(9)底部连接有承载盒(12)，承载盒(12)顶部开口设计，所述承载盒(12)的外侧表面均贯穿开设有多个通孔，承载盒(12)内放置有工件盘(3)，所述竖板(2)顶部设有支架板(5)，两个所述支架板(5)之设有顶板(6)，所述支架板(5)内侧设有调节机构，顶板(6)底部通过夹持机构夹持有吸盘，吸盘包括位于吸盘本体上方的安装支架(20)和位于吸盘本体外侧表面的伯努利接头(21)，所述检测台(1)顶部右端设有气泵(11)，气泵(11)的出气端连接有导气管(10)，导气管(10)另一端连接有软管(8)，导气管(10)与相邻的竖板(2)表
2.根据权利要求1所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述夹持机构包括固定座(7)、L形夹持爪(17)、第一转杆(25)、第二转杆(27)、第一转柄(19)和第二转柄(18)，固定设置于顶板(6)底部的固定座(7)内转动设有第一转杆(25)和第二转杆(27)，所述固定座(7)内设有供第一转杆(25)两端和第二转杆(27)两端分别嵌入的内腔(26)，第一转杆(25)和第二转杆(27)位于内腔(26)内的部分表面设有外螺纹，所述内腔(26)内滑动设有与其相适应的滑套(28)，滑套(28)套设于对应第一转杆(25)和第二转杆(27)上，滑套(28)内设有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述固定座(7)底部开设有与内腔(26)一一对应的滑槽，所述滑槽与内腔(26)连通，滑槽内滑动设有与其相适应的L形夹持爪(17)，所述第一转杆(25)的右端伸至固定座(7)外部并连接有第一转柄(19)，所述第二转杆(27)的前端伸至固定座(7)外部并连接有第二转柄(18)。
3.根据权利要求2所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述调节机构包括电机(4)、凸轮(23)、弹簧(22)和竖杆(24)，所述支架板(5)内侧顶壁固定连接有两个竖杆(24)，竖杆(24)另一端与竖板(2)顶面固定连接，所述顶板(6)左右两端伸至对应一侧支架板(5)内侧，所述竖杆(24)滑动贯穿顶板(6)设置，竖杆(24)上套设有弹簧(22)，弹簧(22)的底端与竖板(2)顶面固定连接、顶端与顶板(6)底面固定连接，所述竖板(2)顶面通过支座固定设有电机(4)，电机(4)的输出轴连接有凸轮(23)，所述凸轮(23)位于同一侧的两个竖杆(24)之间。
4.根据权利要求3所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述承载盒(12)的尺寸大小小于水箱(13)顶部开口的尺寸大小。
5.根据权利要求4所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述第一转杆(25)长度方向与第二转杆(27)长度方向垂直，第二转杆(27)位于第一转杆(25)正上方。
6.根据权利要求5所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：四个所述内腔(26)各自均不连通，所述第一转杆(25)两端和第二转杆(27)两端均与对应内腔(26)内壁转动连接。
7.根据权利要求6所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述凸轮(23)抵接于顶板(6)的底面，凸轮(23)与竖板(2)顶面不接触。
8.根据权利要求7所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述L形夹持爪(17)顶端与对应滑套(28)底部固定连接，L形夹持爪(17)底端伸至固定座(7)下方。
9.根据权利要求2所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述第一转柄(19)和第二转柄(18)均与固定座(7)外侧表面转动连接。
10.根据权利要求9所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述安装框(9)为“口”字形结构，支架板(5)为“U”字形结构。
...【技术特征摘要】
1.一种伯努利石英吸盘检测装置，包括底部四角设有支腿的检测台(1)；其特征在于：所述检测台(1)顶部设有两个互相平行的竖板(2)，两个竖板(2)之间设有水箱(13)，所述水箱(13)顶部开口设计，水箱(13)与检测台(1)顶面固定连接，两个竖板(2)互相靠近的侧面对称开设有凹槽(16)，所述凹槽(16)内下侧面设有电推杆(14)，电推杆(14)的伸长端设有滑块(15)，滑块(15)与凹槽(16)内侧壁滑动连接，两个滑动(15)之间连接有安装框(9)，安装框(9)底部连接有承载盒(12)，承载盒(12)顶部开口设计，所述承载盒(12)的外侧表面均贯穿开设有多个通孔，承载盒(12)内放置有工件盘(3)，所述竖板(2)顶部设有支架板(5)，两个所述支架板(5)之设有顶板(6)，所述支架板(5)内侧设有调节机构，顶板(6)底部通过夹持机构夹持有吸盘，吸盘包括位于吸盘本体上方的安装支架(20)和位于吸盘本体外侧表面的伯努利接头(21)，所述检测台(1)顶部右端设有气泵(11)，气泵(11)的出气端连接有导气管(10)，导气管(10)另一端连接有软管(8)，导气管(10)与相邻的竖板(2)表面固定连接，所述软管(8)另一端与伯努利接头(21)连接。
2.根据权利要求1所述的一种伯努利石英吸盘检测装置，其特征在于：所述夹持机构包括固定座(7)、l形夹持爪(17)、第一转杆(25)、第二转杆(27)、第一转柄(19)和第二转柄(18)，固定设置于顶板(6)底部的固定座(7)内转动设有第一转杆(25)和第二转杆(27)，所述固定座(7)内设有供第一转杆(25)两端和第二转杆(27)两端分别嵌入的内腔(26)，第一转杆(25)和第二转杆(27)位于内腔(26)内的部分表面设有外螺纹，所述内腔(26)内滑动设有与其相适应的滑套(28)，滑套(28)套设于对应第一转杆(25)和第二转杆(27)上，滑套(28)内设有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述固定座(7)底部开设有与内腔(26)一一对应的滑槽，所述滑槽与内腔(26)连通，滑槽内滑动设有与其相适应的l形夹持爪(17)，所述第一转杆(25)的右端伸至固定座(7...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐业宇，高盼，许理，
申请(专利权)人：合肥赛默科思半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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