【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英轴生产，尤其涉及一种半导体用石英轴抛光装置。
技术介绍
1、半导体用石英轴指的是在半导体加工过程中使用的石英材料制成的轴。石英是一种高纯度的硅的晶体形式，它具有良好的热稳定性、化学稳定性和机械强度，因此在半导体工业中被广泛应用。
2、但是，半导体工业中需要用到的石英轴具有多个规格，同时，不同种类的石英轴所要求的抛光工艺也不相同，如果根据不同的抛光需要采用不同的设备进行抛光，将会带来较高的设备制造和使用成本，另外，石英轴抛光时产生的粉尘，或是粉尘和抛光液混合产生的液体，在产生后不及时清理，可能会凝固在石英轴周围，容易影响石英轴抛光的质量。
3、因此，有必要提供一种新的半导体用石英轴抛光装置解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术解决的技术问题是提供一种具有适用于多种规格和工艺、抛光过程稳定性较高、能及时清理粉尘和混合液、操作简捷的半导体用石英轴抛光装置。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术方案具体是这样实现的：
3、本专利技术的提供了一种半导体用石英轴抛光装置，包括：安装机构，所述安装机构上设置有石英轴，所述安装机构上设置有压紧机构，且所述压紧机构与所述石英轴相接触，所述石英轴的两端分别设置有固定机构，所述固定机构上设置有转动机构，且所述转动机构与所述安装机构相连接，所述安装机构上设置有补液机构，且所述补液机构与所述石英轴相接触，所述安装机构上设置有除尘机构。
4、作为本专利技术进一步的方案，所述
5、作为本专利技术进一步的方案，所述压紧机构包括固定安装在所述顶板底部的气缸，所述气缸的输出端上固定安装有固定板，所述固定板的底部设置有抛光板，所述固定板上螺纹安装有两个螺杆，且所述螺杆的底端与所述抛光板的顶部固定连接，所述隔板的顶部设置有定位槽，且所述定位槽的内部设置有防护垫，且所述防护垫的顶部与所述石英轴相接触。
6、作为本专利技术进一步的方案，所述固定机构包括分别设置在所述石英轴两侧的真空吸盘，两个所述真空吸盘相互远离的一侧分别设置有箱体，且所述箱体与所述壳体相连接，所述箱体内设置有真空泵一，且所述真空泵一穿过所述箱体与所述真空吸盘相连通，所述箱体远离所述石英轴的一侧开设有多个排气孔。
7、作为本专利技术进一步的方案，所述转动机构包括分别固定安装在所述壳体两侧的支撑架，所述支撑架的顶部设置有电机，所述电机的输出端上固定安装有齿轮，所述箱体延伸至所述壳体外的一端上设置有多个凸齿，且所述凸齿与所述齿轮相啮合，所述箱体上套设有连接筒，所述连接筒上套设有轴承，且所述轴承与所述壳体相连接。
8、作为本专利技术进一步的方案，所述补液机构包括设置在两个所述竖板之间的储液箱和泵体，所述泵体上设置有抽液管，两个所述竖板上设置有输液管，所述输液管的两端分别延伸至两个所述竖板相互远离的一侧，且所述抽液管的两端分别与所述储液箱和所述输液管相连通，所述输液管上设置有多个支管，且所述支管穿过所述隔板和所述防护垫与所述石英轴相接触。
9、作为本专利技术进一步的方案，所述除尘机构包括开设在所述隔板上的两个漏孔，且两个所述漏孔分别位于所述定位槽的两侧，所述壳体内设置有两个真空泵二，且所述真空泵二的进气端与所述漏孔的底部相连通，所述壳体两侧分别开设有通风口，且所述通风口位于所述轴承的上方。
10、作为本专利技术进一步的方案，所述连接筒和所述电机的两侧分别螺纹安装有螺栓，且所述箱体的两侧和所述支撑架的顶部分别开设有多个螺纹孔与所述螺栓相适配。
11、作为本专利技术进一步的方案，所述固定板的顶部设置有两个螺帽，且所述螺帽螺纹套设在所述螺杆上。
12、作为本专利技术进一步的方案，两个所述竖板上设置有侧开门，所述壳体上设置有双开门，且所述侧开门位于所述双开门和两个所述竖板之间，所述壳体上设置有可视窗，且所述可视窗位于所述双开门的上方，所述壳体的底部设置有多个支撑脚。
13、本专利技术提供了一种半导体用石英轴抛光装置，有益效果在于：通过将所述固定机构与所述转动机构相连接，能够在将所述石英轴进行固定的同时，还能不影响对其进行抛光，有利于提高装置的实用性，通过设置所述壳体并以所述侧板为一侧边，能够增加装置连接的稳定性，并且能够降低装置的制造成本，同时通过设置所述隔板能够将抛光区域与粉尘收集区域进行隔离，便于收集和清理抛光产生的粉尘，通过设置所述真空吸盘和所述真空泵一对所述石英轴进行固定并通过多个所述排气孔将空气排出，能够增加所述石英轴固定的牢固性，也便于快速拆卸和固定，通过在所述定位槽内设置所述防护垫，能够避免所述石英轴与所述定位槽的内壁直接接触，进而影响抛光的精度，通过设置所述连接筒能够将所述箱体与所述壳体进行连接，并且能够根据所述石英轴的不同大小进行调节，并且所述轴承的设置能够提升装置转动抛光时的流畅性和稳定性，通过设置所述补液机构并设置多个所述支管将抛光液分别添加所述石英轴的多个位置，能够将抛光液均匀地涂抹至所述石英轴的表面，有利于提升抛光的效果和精度，通过在所述除尘机构内设置所述真空泵二，能够将抛光产生的粉尘或液体排出至所述隔板的下方，并通过收集袋进行收集处理，通过设置所述螺栓，再额外开设多个相适配的所述螺纹孔能够适用于对不同规格的所述石英轴进行固定，有利于提升装置的适应性，通过设置所述螺帽将所述螺杆与所述固定板进行固定，便于拆装所述抛光板，也方便根据不同的所述石英轴的加工工艺要求更换适配的所述抛光板，通过设置所述可视窗能够在抛光的过程中及时查看所述石英轴的抛光情况，并且设置所述双开门和所述侧开门便于对所述储液箱补充抛光液以及便于收集粉尘。
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1.一种半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述安装机构(1)包括设置在所述石英轴(2)一侧的侧板(11)，所述侧板(11)上固定安装有壳体(12)，且所述石英轴(2)位于所述壳体(12)内，所述壳体(12)的上方设置有顶板(13)，且所述顶板(13)与所述侧板(11)固定连接，所述壳体(12)内固定安装有隔板(14)，所述隔板(14)的底部固定安装有两个竖板(15)，且所述竖板(15)的底部与所述壳体(12)的底部内壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述压紧机构(3)包括固定安装在所述顶板(13)底部的气缸(31)，所述气缸(31)的输出端上固定安装有固定板(32)，所述固定板(32)的底部设置有抛光板(33)，所述固定板(32)上螺纹安装有两个螺杆(34)，且所述螺杆(34)的底端与所述抛光板(33)的顶部固定连接，所述隔板(14)的顶部设置有定位槽(35)，且所述定位槽(35)的内部设置有防护垫(36)，且所述防护垫(36)的顶部与所述石英轴(
4.根据权利要求3所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述固定机构(4)包括分别设置在所述石英轴(2)两侧的真空吸盘(41)，两个所述真空吸盘(41)相互远离的一侧分别设置有箱体(42)，且所述箱体(42)与所述壳体(12)相连接，所述箱体(42)内设置有真空泵一(43)，且所述真空泵一(43)穿过所述箱体(42)与所述真空吸盘(41)相连通，所述箱体(42)远离所述石英轴(2)的一侧开设有多个排气孔(44)。
5.根据权利要求4所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述转动机构(5)包括分别固定安装在所述壳体(12)两侧的支撑架(51)，所述支撑架(51)的顶部设置有电机(52)，所述电机(52)的输出端上固定安装有齿轮(53)，所述箱体(42)延伸至所述壳体(12)外的一端上设置有多个凸齿(54)，且所述凸齿(54)与所述齿轮(53)相啮合，所述箱体(42)上套设有连接筒(55)，所述连接筒(55)上套设有轴承(56)，且所述轴承(56)与所述壳体(12)相连接。
6.根据权利要求3所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述补液机构(6)包括设置在两个所述竖板(15)之间的储液箱(61)和泵体(62)，所述泵体(62)上设置有抽液管(63)，两个所述竖板(15)上设置有输液管(64)，所述输液管(64)的两端分别延伸至两个所述竖板(15)相互远离的一侧，且所述抽液管(63)的两端分别与所述储液箱(61)和所述输液管(64)相连通，所述输液管(64)上设置有多个支管(65)，且所述支管(65)穿过所述隔板(14)和所述防护垫(36)与所述石英轴(2)相接触。
7.根据权利要求5所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述除尘机构(7)包括开设在所述隔板(14)上的两个漏孔(71)，且两个所述漏孔(71)分别位于所述定位槽(35)的两侧，所述壳体(12)内设置有两个真空泵二(72)，且所述真空泵二(72)的进气端与所述漏孔(71)的底部相连通，所述壳体(12)两侧分别开设有通风口(73)，且所述通风口(73)位于所述轴承(56)的上方。
8.根据权利要求5所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述连接筒(55)和所述电机(52)的两侧分别螺纹安装有螺栓(57)，且所述箱体(42)的两侧和所述支撑架(51)的顶部分别开设有多个螺纹孔与所述螺栓(57)相适配。
9.根据权利要求3所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述固定板(32)的顶部设置有两个螺帽，且所述螺帽螺纹套设在所述螺杆(34)上。
10.根据权利要求2所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，两个所述竖板(15)上设置有侧开门，所述壳体(12)上设置有双开门，且所述侧开门位于所述双开门和两个所述竖板(15)之间，所述壳体(12)上设置有可视窗，且所述可视窗位于所述双开门的上方，所述壳体(12)的底部设置有多个支撑脚。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述安装机构(1)包括设置在所述石英轴(2)一侧的侧板(11)，所述侧板(11)上固定安装有壳体(12)，且所述石英轴(2)位于所述壳体(12)内，所述壳体(12)的上方设置有顶板(13)，且所述顶板(13)与所述侧板(11)固定连接，所述壳体(12)内固定安装有隔板(14)，所述隔板(14)的底部固定安装有两个竖板(15)，且所述竖板(15)的底部与所述壳体(12)的底部内壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述压紧机构(3)包括固定安装在所述顶板(13)底部的气缸(31)，所述气缸(31)的输出端上固定安装有固定板(32)，所述固定板(32)的底部设置有抛光板(33)，所述固定板(32)上螺纹安装有两个螺杆(34)，且所述螺杆(34)的底端与所述抛光板(33)的顶部固定连接，所述隔板(14)的顶部设置有定位槽(35)，且所述定位槽(35)的内部设置有防护垫(36)，且所述防护垫(36)的顶部与所述石英轴(2)相接触。
4.根据权利要求3所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述固定机构(4)包括分别设置在所述石英轴(2)两侧的真空吸盘(41)，两个所述真空吸盘(41)相互远离的一侧分别设置有箱体(42)，且所述箱体(42)与所述壳体(12)相连接，所述箱体(42)内设置有真空泵一(43)，且所述真空泵一(43)穿过所述箱体(42)与所述真空吸盘(41)相连通，所述箱体(42)远离所述石英轴(2)的一侧开设有多个排气孔(44)。
5.根据权利要求4所述的半导体用石英轴抛光装置，其特征在于，所述转动机构(5)包括分别固定安装在所述壳体(12)两侧的支撑架(51)，所述支撑架(51)的顶部设置有电机(52)，所述电机(52)的输出端上固定安装有齿轮(53)，所述箱体(42)延伸至所述壳体(12)外的一端上设置有多个凸齿(54)，且所述凸齿(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪日记，安华伟，王光余，
申请(专利权)人：合肥赛默科思半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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