用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，气体注射器设置在腔壁的上端，承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。本发明专利技术在工艺腔室内增加了支撑架，并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑，支撑栓采用点接触，且比较分散，同时，支撑点也不局限于边缘，因而玻璃放在支撑栓上后，热传递慢且传递量小，玻璃表面温差小，因此，镀膜时，玻璃的镀层较为均匀，色差小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于非晶硅薄膜太阳能电池行业领域，具体涉及一种用于半导体太阳能镀 膜的工艺腔室。
技术介绍
非晶硅薄膜太阳能电池主要由前电极(Front ZnO)、PIN结和背电极(Back ZnO) 薄膜层构成，镀膜工艺是首先将玻璃放在加热室内加热，然后通过机械手将加热好的玻璃 放置到工艺腔室内镀膜。现有的工艺腔室包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器，其中 气体注射器固定在腔壁的顶上，负载架固定在腔壁的侧面上用于放置玻璃，承受器执行向 上移动命令，一方面支撑玻璃同时也给玻璃加热，工艺气体注射器开始喷射。当加热的玻璃 从加热室移到工艺腔室时，玻璃的边缘直接与负载架接触，因而，玻璃的边缘会因快速的热 传导而导致温度降低，使整个玻璃的温度存在温差，导致在镀膜时，玻璃的镀层不均勻，色 差严重。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种镀层效果 好，色差降低的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是一种用于半导体太阳能镀膜的 工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，所述的气体注射器设置在腔壁的上 端，所述的承受器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，所述的气体注射器设置在腔壁的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，
申请(专利权)人：江苏综艺光伏有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]