【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种集成的蒸气和液体相反应剂分配设备，该设备具 有多个容器和多个载体或惰性气体供应/蒸气或液体相反应剂输送歧管，以用于连续分配例如前体的蒸气或液体相反应剂，从而在半导体 材料和器件的制造中沉积材料。
技术介绍
用于半导体和制药工业的高纯度化学品需要特殊包装以便在保存过程中保持其纯度。与空气和/或空气中的湿气进行反应的化学品尤 其如此。这种高纯度化学品通常在例如发泡器或安瓿的容器中供应。现代化学蒸气沉积和原子层沉积工具利用发泡器(bubbler)或安 瓿来将前体化学品输送到沉积腔室。这些发泡器或安瓿通过将载体气体经过高纯度前体化学品的容器并将前体蒸气和气体一起承栽到沉积腔室来操作。集成电路具有减小的尺寸，内部部件或结构的尺寸也是如此。在 尺寸减小时，对于更纯化学品的需要相应地增加以便减小杂质对薄膜 质量和器件性能的影响。因此供应商必须能够不仅制造高纯度化学 品，而且还必须能够使其在保持高纯度的容器内输送。前体化学品以及安瓿和阀构造材料的物理性能决定可使用的最大 许可输送温度。使其难以处理和输送的某些前体化学品性能包括例如 其与空气中的湿气和氧的放热...
【技术保护点】
一种集成的蒸气相反应剂分配设备，包括： 多个容器，每个容器包括构造成形成内部容器隔室的顶壁构件、侧壁构件和底壁构件，以便保持源化学品高达填充高度，并且另外限定填充高度以上的内部气体容积；顶壁构件的一部分具有载体气体供应入口开口，载体气 体可经由其中供应到填充高度以上的所述内部气体容积，以便造成所述源化学品的蒸气变得携带在所述载体气体内，从而产生蒸气相反应剂；以及顶壁构件的一部分具有蒸气相反应剂出口开口，所述蒸气相反应剂可经由其中从所述容器分配； 多个载体气体供应／蒸 气相反应剂输送歧管，每个所述载体气体供应／蒸气相反应剂输送歧管互连；每个容器连接到至少一...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：D·萨里加尼斯，C·A·霍弗，M·J·克劳斯，E·普赖尔，S·彻斯特斯，R·斯波恩，
申请(专利权)人：普莱克斯技术有限公司，
类型：发明
国别省市：US
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