用于制备氯代硅烷的方法技术

本发明专利技术提供了一种用于以相对于原料流中的硅烷的５０％或更高的摩尔产率制备氯代硅烷的方法，至少一种最终产物包含ＳｉＨ３Ｃｌ、ＳｉＨ２Ｃｌ２及其组合。因此，本发明专利技术所述的方法通过使包含硅烷和氯化氢的反应混合物与催化剂在足以产生所述最终产物的温度下接触足够长的时间而提供包括所述一种或多种氯代硅烷的最终产物。

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用本申请要求2009年4月15日提交的美国临时申请61/169414号的优先权。
技术介绍
本专利技术描述了用于制备氯化的硅烷或氯代硅烷例如，举例来说，单氯硅烷或二氯 硅烷的方法。具有低氯含量的硅烷是用于生产含有_SiH3或-SiH2-部分的功能化硅烷的理 想前体。功能化硅烷的性质已经证明是可以通过其取代基的变化高度可调的，且在例如沉 积可用于制备微电子器件的二氧化硅或氮化硅薄膜方面找到不断增长的应用。虽然单氯硅烷这种氯代硅烷通过三氯硅烷的歧化反应(反应式1、2)作为硅烷工 业合成的中间体大规模地产生，但由于硅烷生产的高度集成性质和硅烷相对于单氯硅烷具 有更大的商业需要，它很少被分离。2SiCl3H o SiH2Cl2 + SiCl4 (反应式 l)2SiH2Cl2 ^ SiH3Cl + SiCl3H (反应式 2)尽管单氯硅烷可以通过二氯硅烷的歧化反应或者硅烷与更高级氯代硅烷(例如， SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2)的勻化反应(conproportionation)制备，但已经确认这些反应的 平衡常数不利于单氯硅烷，且为了通过这一方法有效地产生单氯硅烷，与硅烷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制备包含选自单氯硅烷、二氯硅烷及其组合中的至少一种的最终产物的方法，该方法包括：提供硅烷和氯化氢的反应混合物；和使该反应混合物与催化剂在一定的温度下接触一定的时间而提供所述最终产物，其中所述催化剂包含选自分子筛、含ＡｌＣｌ↓［３］的二氧化硅载体、含Ａｌ↓［ｎ］Ｃｌ↓［（３ｎ＋１）］，其中ｎ≥１的离子液体及其组合中的至少一种。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：RK阿加瓦尔，JF勒曼，CG科埃，DJ泰姆佩尔，
申请(专利权)人：气体产品与化学公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]