下载用于制备氯代硅烷的方法的技术资料

文档序号:3984345

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本发明提供了一种用于以相对于原料流中的硅烷的50%或更高的摩尔产率制备氯代硅烷的方法,至少一种最终产物包含SiH3Cl、SiH2Cl2及其组合。因此,本发明所述的方法通过使包含硅烷和氯化氢的反应混合物与催化剂在足以产生所述最终产物的温度下接...
该专利属于气体产品与化学公司所有,仅供学习研究参考,未经过气体产品与化学公司授权不得商用。

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