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固体摄像元件及其制造方法、摄像设备技术

技术编号:3950688 阅读:137 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
固体摄像元件及其制造方法、摄像设备。该固体摄像元件包括:半导体层,具有光电二极管,在光电二极管中进行光电转换;硅氧化物膜,在至少具有光电二极管的区域中通过使用等离子法而在半导体层上形成;膜,形成于硅氧化物膜之上,具有负固定电荷。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固体摄像元件,包括:半导体层,具有光电二极管,在所述光电二极管中进行光电转换;硅氧化物膜,在至少具有所述光电二极管的区域中通过使用等离子而形成在所述半导体层上;以及膜,形成于所述硅氧化物膜之上,并具有负固定电荷。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:押山到桧山晋
申请(专利权)人:索尼公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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