存储器系统、存储器测试系统及其测试方法技术方案

本发明专利技术公开了一种存储器系统、存储器测试系统及其测试方法。该存储器测试系统包括：存储器器件；测试器，该测试器产生时钟信号和用于测试存储器器件的测试信号；以及光分路模块。光分路模块包括电－光信号转换单元，该电－光信号转换单元将时钟信号和测试信号中的每个转换成光信号，以将时钟信号和测试信号输出为光时钟信号和光测试信号。光分路单元还包括光信号分路单元和光－电信号转换单元，该光信号分路单元将光时钟信号和光测试信号中的每个分路成ｎ个信号（ｎ为至少２），该光－电信号转换单元接收分路的光时钟信号和分路的光测试信号，以将分路的光时钟信号和分路的光测试信号转换成存储器器件中使用的电信号。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及一种半导体器件，并且更具体而言，涉及一种存储器系统和存储器测 试系统，通过对施加到存储器的时钟信号进行光分路，该存储器系统和存储器测试系统具 有高可靠性并且以高速执行功能。该申请还涉及使用光分路来测试存储器系统和存储器测 试系统的方法以及使用该测试方法来制造产品的方法。
技术介绍
在执行存储器测试中，为了使制造工艺流水线化并且降低存储器的单位成本，减 少测试时间和成本是重要的。因此，已经对能够减少测试时间和成本的各种方法进行了研 究。为了减少成本并且加快制造工艺，所公开的实施例包括同时对多个存储器执行稳定的 测试操作。
技术实现思路
在一个实施例中，公开了一种存储器测试系统。该存储器测试系统包括存储器器 件；测试器，该测试器产生时钟信号和用于测试存储器器件的测试信号；以及光分路模块。 光分路模块包括电_光信号转换单元，该电_光信号转换单元将时钟信号和测试信号中的 每个转换成光信号，以将时钟信号和测试信号输出为光时钟信号和光测试信号。光分路单 元还包括光信号分路单元和光_电信号转换单元，该光信号分路单元将光时钟信号和光测 试信号中的每个分路成n个信号(n为至少2)，该光-电信号转换单元接收分路的光时钟信 号和分路的光测试信号，以将分路的光时钟信号和分路的光测试信号转换成存储器件中使 用的电信号。 根据另一实施例，公开了一种测试多个集成电路器件的方法。该方法包括产生用 于测试集成电路器件的时钟信号和测试信号；将时钟信号和测试信号转换成光信号，并且 将时钟信号和测试信号输出为光时钟信号和光测试信号；分路光时钟信号；分路光测试信 号；接收分路的光信号，并且将分路的光信号中的每个重新转换成电信号；以及通过使用 重新转换的时钟信号和测试信号同时对多个集成电路器件执行测试。 根据另一实施例，公开了一种存储器系统。该存储器系统包括至少一个存储器器 件；以及存储器控制器，该存储器控制器产生时钟信号和用于控制至少一个存储器器件的 控制信号。该存储器系统还包括光分路模块。该光分路模块包括电-光信号转换单元，该 电_光信号转换单元将时钟信号和控制信号中的每个转换成光信号，并且将时钟信号和控 制信号输出为光时钟信号和光控制信号；以及光信号分路单元，该光信号分路单元将光时 钟信号和光控制信号分路成n个信号(n为2或更大)。存储器系统还包括光_电信号转换 单元，该光_电信号转换单元接收分路的光时钟信号和光控制信号，并且将分路的光时钟信号和光控制信号转换成在至少一个存储器器件中使用的电信号。 根据又一实施例，公开了一种制造存储器器件的方法。该方法包括将存储器器件 形成为包括至少一个其他存储器器件的晶片或封装的一部分；以及测试该存储器器件。在 一个实施例中，使用一个或多个电-光转换器、将光信号分路成两个或更多个分路的光信 号的一个或多个光分路器以及一个或多个光_电转换器，对存储器器件和至少一个其他存 储器器件执行测试。附图说明 通过下面结合附图进行的详细描述，将更清楚地理解示例性实施例，其中 图1是示出根据一个实施例的示例性存储器测试系统的框图； 图2是用于说明分路电信号的图示； 图3A和3B是用于说明由于电信号的分路而导致信号失真的曲线图； 图4是根据一个实施例的测试存储器的示例性方法的流程图； 图5A示出根据一个实施例的示例性光分路器，以及图5B描述了示出通过测试存储器测试系统的方法被进行光分路的时钟信号的波形的曲线图； 图6示出根据一个实施例的示例性计算机系统； 图7示出根据一个实施例的示例性存储器系统；以及 图8是使用所公开的测试方法来制造器件的示例性方法的流程图。 应该注意的是，这些附图旨在示出特定示例实施例中使用的方法、结构和/或材料的一般特性并且旨在补充以下提供的书面描述。然而，这些附图不是按比例绘制的，并且可以不精确反映任何给定实施例的精确结构或性能特性，并且应该不被理解为限定或限制由示例实施例所涵盖的值或特性的范围。例如，为了清楚起见，可以减小或夸大相对尺寸和定位组件和/或结构元件。在各种附图中使用类似或相同的附图标记旨在表示存在类似或相同的元件或特征。具体实施例方式现在，将参照附图来更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例可以以许多不同 形式来实现，并且应该不被理解为限于本文阐述的实施例。而是，提供这些实施例，使得该 公开将是彻底和完全的，并且将把示例实施例的构思传达给本领域的普通技术人员。 应该理解的是，当元件被称作"连接"或"耦合"到另一元件时，它可以直接连接或 耦合到另一元件或者可以存在中间元件。相反地，当元件被称作"直接连接"或"直接耦合" 到另一元件时，不存在中间元件。如本文所使用的，术语"和/或"包括一个或多个相关所 列项的任意和全部组合。 应该理解的是，虽然在本文中可以使用术语"第一"、"第二"等描述各种元件、组 件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分应该不受这些术语限制。 这些术语仅用来将一个元件、组件、区域、层或部分与另一元件、组件、区域、层或部分区分 开。因此，除非另外指出，否则在不脱离示例实施例的教导的情况下，以下讨论的第一元件、 第一组件、第一区域、第一层或第一部分可以被称为第二元件、第二组件、第二区域、第二层 或第二部分。6 本文所使用的术语仅出于描述特定实施例的目的，并不意图限制示例实施例。如 本文所使用的，除非上下文清楚指出，否则单数形式也意图包括复数形式。还应该理解的 是，术语"包括"在本说明书中使用时指出存在所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或组 件，但是不排除存在或添加一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们 的组。 除非另外定义，否则本文所使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与示例实施例所属领域的普通技术人员通常所理解的含义相同的含义。还应该理解的是，诸如通用字典中所定义的术语应该被理解为具有与相关领域背景下它们的含义相一致的含义，并 且除非在本文中特别定义，否则将不被以理想或过度正式的含义理解。 图1是示出根据一个实施例的示例性存储器测试系统100的框图。 参照图1，存储器测试系统100可以包括测试器120、光分路模块140和一个或多 个存储器器件(例如，第一存储器器件MEM1和第二存储器器件MEM2)的组。虽然特别地针 对图1具体示出了对存储器的测试，但是在本文中针对使用光分路方法进行测试而描述的 系统和方法也可以应用于测试形成在衬底上或包括在封装中的其他半导体或集成电路器 件。例如，该测试能够应用于控制器、数字信号处理器或其他集成电路。 测试器120产生并输出时钟信号CLK和测试信号XTET1至XTETn-l，这些信号被施 加到第一存储器器件MEM1和第二存储器器件MEM2，用于测试第一存储器器件MEM1和第二 存储器器件MEM2。测试信号XTET1至XTETn-l可以包括存储器单元数据、地址信号、命令信 号等，并且可以通过一个或多个线来发送。例如，XTETl至XTETn-l中的每个测试信号可以 在一个线上发送，或者如果测试信号具有不止l比特，则可以在两个或更多个线上(例如， 并行)发送它。 在图1所描述的实施例中，时钟信号CLK的反转信号/CLK以及时钟信号CLK也从 测试器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种存储器测试系统，包括：存储器器件；测试器，所述测试器产生时钟信号和用于测试所述存储器器件的测试信号；以及光分路模块，所述光分路模块包括电－光信号转换单元、光信号分路单元以及光－电信号转换单元，所述电－光信号转换单元将所述时钟信号和所述测试信号中的每个转换成光信号，以将所述时钟信号和所述测试信号输出为光时钟信号和光测试信号，所述光信号分路单元将所述光时钟信号和所述光测试信号中的每个分路成ｎ个信号，ｎ为至少２个，所述光－电信号转换单元接收分路的光时钟信号和分路的光测试信号，以将所述分路的光时钟信号和所述分路的光测试信号转换成所述存储器件中使用的电信号。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：赵秀行，宋基在，徐成东，河镜虎，金圣九，金永今，赵寅成，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]