一种半导体废气处理的酸碱中和装置，在一废气洗涤塔的一反应腔室内设一自动吸入器的喷嘴，且自动吸入器连接一清水供应端及一中和液供应端，以供应清水及中和液至自动吸入器混合成一混合液，并排流至喷嘴，以喷洒至反应腔室内，而使混合液与反应腔室内的废气反应，并流入废气洗涤塔的一循环水槽内，且中和液供应端连接循环水槽，于循环水槽内的混合液酸碱值超过一预设范围时，中和液供应端能供应中和液至循环水槽内，以中和循环水槽内的混合液，据以提升洗涤塔及其周边设备的耐久使用寿命，并提升维修上的便利性与安全性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体废气处理的酸碱中和装置，特别是一种针对半导体废气洗 涤塔内洗涤用混合液的酸碱值进行控管及调整的装置技术。
技术介绍
现有技术中用于半导体光电产业的废气净化设备，主要以湿式废气洗涤塔为主， 该湿式废气洗涤塔的种类，概可分为二类，包括填充式洗涤塔与喷雾式洗涤塔。其中，该喷雾式洗涤塔为一密闭结构体，具有一进气端、一出气端及一排放口，且 喷雾式洗涤塔内具有相通的一上层反应腔室及一下层循环水槽，该反应腔室连通该进气端 与出气端，该循环水槽连通该排放口，且该反应腔室内设有一个或多个喷嘴，净化废气用的 中和液可经由该喷嘴雾化喷出，并充满于该反应腔室内；如此，当废气自进气端进入喷雾式 洗涤塔的反应腔室内时，会接触该雾化的中和液，而使废气中的粉尘或有害物质溶入该雾 化的中和液中，据以分离出污水、污泥与净化的气体，该净化的气体由出气端向外界排放， 该污水或污泥会随着中和液落入下方的循环水槽内，该循环水槽内的中和液接受过滤而可 供继续使用，过滤后的中和液经由排放口排出，经回收而送至反应腔室内，以重复过滤废 气。上述中和液的酸碱值，依据该中和液所欲过滤的废气的酸碱值来决定，且该废气 的酸碱值依据半导体的制程而定；因此，当所欲过滤的废气呈酸性时，提供碱性中和液，当 所欲过滤的废气呈碱性时，提供酸性中和液。惟，上述喷雾式洗涤塔的循环水槽内的中和液，会受到不同半导体制程的废气的 影响，而变成酸性或碱性液体，于该中和液重复使用一段时间后，会导致该中和液的酸碱值 过高的问题，造成该中和液腐蚀洗涤塔及其周边设备的零件的现象，缩短洗涤塔及其周边 设备的使用寿命，同时也会造成维修上的困难与危险，亟需加以改善。
技术实现思路
为克服上述现有技术中所揭的问题，本专利技术的目的旨在提供一种半导体废气处理 的酸碱中和装置，尤其是一种能够自动侦测、控管及调整半导体废气洗涤塔内的洗涤用混 合液的酸碱值者，以提升该洗涤塔及其周边设备的耐久使用寿命，并提升维修上的便利性 与安全性。为实现上述的目的，本专利技术半导体废气处理的酸碱中和装置，包括一自动吸入器，连接一喷嘴，且该喷嘴延伸至一废气洗涤塔内，该废气洗涤塔内具 相通的一上层反应腔室及一下层循环水槽，且该喷嘴座落于该反应腔室内；一清水供应端，连接该自动吸入器，以供应清水至该自动吸入器；一中和液供应端，连接该自动吸入器，以供应中和液至该自动吸入器，该中和液供 应端并连接该循环水槽，且该自动吸入器内的该清水与该中和液混合形成一混合液，并排 流至该喷嘴；及一氮气供应端，连接该喷嘴，以供应氮气加压该混合液呈雾状喷洒至该反应腔室 内，而使该混合液与该反应腔室内的废气反应，并流入该循环水槽内，该中和液供应端间隔 定量供应中和液至该循环水槽内，以中和该循环水槽内的混合液，且该中和液供应端于该 循环水槽内的混合液的酸碱值超过一预设范围时，持续加量供应中和液至该循环水槽内， 以中和该循环水槽内的混合液。据此，该中和液供应端能够间隔定量供应中和液至该循环水槽内，以平衡混合液 的酸碱值，并于混合液的酸碱值过高时，持续供应大量中和液至该循环水槽内与混合液进 行酸碱中和，以达到自动侦测、控管及调整半导体废气洗涤塔内混合液的酸碱值的目的，进 而提升该洗涤塔及其周边设备的耐久使用寿命，并提升维修上的便利性与安全性。此外，本专利技术更加包含一酸碱值控制器，该酸碱值的预设范围设定于该控制器内；一酸碱值侦测器，连接该控制器，且该侦测器具一延伸至该循环水槽内的侦测元 件，以侦测该循环水槽内混合液的酸碱值，并提供至控制器，而与该酸碱值的预设范围进行 比对；一第一阀体，串接于该清水供应端与该自动吸入器之间，并接受该控制器控制，而 启、闭清水供应至该自动吸入器；一第二阀体，串接于该中和液供应端与该自动吸入器之间，并接受该控制器控制， 而启、闭中和液供应至该自动吸入器；及一第三阀体，串接于该中和液供应端与该循环水槽之间，并接受该控制器控制，而 启、闭中和液供应至该循环水槽。其中，所述清水供应端与该自动吸入器之间串接一调整阀，以调整供应清水至该自动吸 入器的流量。所述中和液供应端与该自动吸入器之间串接一隔膜阀，以调整供应中和液至该自 动吸入器的流量。然而，为能明确且充分揭露本专利技术，并予列举出较佳实施例，请配合参照图式而详 细说明如后述附图说明图1揭示出本专利技术较佳实施例的配置示意图；图2揭示出图1的实施状态图。附图标记说明1-废气洗涤塔；11-反应腔室；12-循环水槽；13-进气端；14-出气端；15-排放 口 ；161,162-隔板；17-下水孔；2-自动吸入器；21-喷嘴；210、30、401、402_水管；3-清 水供应端；31-第一阀体；310、410、420、50_气管；32-调整阀；33、44、52_手阀；34、45_流 量计；35,46,53-感测器；36,47-逆止阀；4-中和液供应端；41-第二阀体；42-第三阀体； 43-隔膜阀；5-氮气供应端；51-第四电磁阀；6-控制器；7-酸碱值侦测器；70、80_信号导 线；71-侦测元件；8-高压空气供应端；81-第一电磁阀；82-第二电磁阀；83-第三电磁阀； 9、91-混合液。具体实施例方式请参阅图1所示，揭示出本专利技术较佳实施例的配置示意图，说明本专利技术半导体废 气处理的酸碱中和装置，包括一自动吸入器2、一清水供应端3、一中和液供应端4及一氮气 供应端5 ；该自动吸入器2利用一水管210连接一喷嘴21，且该喷嘴21延伸至一废气洗涤 塔1内，该废气洗涤塔1内设有相通的一上层反应腔室11及一下层循环水槽12，且该喷嘴 21座落于该反应腔室11内；该清水供应端3利用一水管30连接该自动吸入器2，能够供应 清水至自动吸入器2，该中和液供应端4利用二水管401、402分别连接该自动吸入器2及该 循环水槽12，能够分别供应中和液至自动吸入器2及循环水槽12，该氮气供应端5利用一 气管50连接该喷嘴21。本专利技术半导体废气处理的酸碱中和装置更加包含一酸碱值控制器6、一酸碱值侦 测器7、一第一阀体31、一第二阀体41及一第三阀体42 (如图1所示)；该控制器6在本实 施上可为一可程式控制器(PLC)，且控制器6内部设定有一酸碱值的预设范围，该酸碱值侦 测器7利用一信号导线70连接该控制器6，且该侦测器7具一延伸至该循环水槽12内的酸 碱值侦测元件71，该侦测元件71能提供酸碱值侦测信号至控制器6，而与该酸碱值的预设 范围进行比对。该第一阀体31串接于该清水供应端3与该自动吸入器2之间的水管30上(如图 1所示)，且第一阀体31利用一气管310连接一高压空气供应端8，并于该第一阀体31与 高压空气供应端8之间的气管310上设一第一电磁阀81，且第一电磁阀81利用一信号导 线80连接控制器6，该控制器6可藉由控制第一电磁阀81，以驱动高压空气供应端8的高 压空气启、闭第一阀体31，进而启、闭清水供应至该自动吸入器2。该第二阀体41串接于该中和液供应端4与该自动吸入器2之间的水管401上(如 图1所示)，且第二阀体41利用一气管410连接该高压空气供应端8，并于该第二阀体41 与高压空气供应端8之间的气管410上设一第二电磁阀82，且第二电磁阀82利用该信号导 线80连接控制器6，该控制器6可本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种半导体废气处理的酸碱中和装置，其特征在于，包括：一自动吸入器，连接一喷嘴，且该喷嘴延伸至一废气洗涤塔内，该废气洗涤塔内具相通的一上层反应腔室及一下层循环水槽，且该喷嘴座落于该反应腔室内；一清水供应端，连接该自动吸入器，以供应清水至该自动吸入器；一中和液供应端，连接该自动吸入器，以供应中和液至该自动吸入器，该中和液供应端并连接该循环水槽，且该自动吸入器内的该清水与该中和液混合形成一混合液，并排流至该喷嘴；及一氮气供应端，连接该喷嘴，以供应氮气加压该混合液呈雾状喷洒至该反应腔室内，而使该混合液与该反应腔室内的废气反应，并流入该循环水槽内，且该中和液供应端于该循环水槽内的混合液的酸碱值超过一预设范围时，供应中和液至该循环水槽内，以中和该循环水槽内的混合液。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：冯五良，
申请(专利权)人：东服企业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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