一种酸性和碱性废气处理装置制造方法及图纸

本申请公开了一种酸性和碱性废气处理装置，处理腔主体包括仅上部互相连通的左腔和右腔，所述左腔具有第一水箱，所述右腔具有第二水箱；所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；所述第一极性液体和所述第二极性液体的酸碱性相反。该装置能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体净化
，更具体地说，涉及一种酸性和碱性废气处理装置。
技术介绍
在半导体、面板显示器、LED、太阳能和MEMS微机电等制造领域中，生产过程中都会产生废气，以半导体制造为例，清洗制程设备生产过程中排放的气体，由于其排放量较大，因此现有的处理方式为：通过中央排气管道直接输送到后端中央处理塔进行处理。但是，清洗制程设备排出气体多为酸性气体(如氢氟酸或硫酸)或碱性气体(如氨气)，在排气管道中，酸性或碱性气体互相接触混合会产生化学反应，例如氟化氢气体和氨气相遇就会发生化合反应，生成氟化铵固体，这种固体形状的副产物会附着在管道内壁而堵塞管道，影响处理气体的容量，甚至还会形成安全隐患。现有的气体处理装置,由于尺寸体积的原因，并不适应在寸土寸金的无尘室工厂中安装使用，并且不能同时去除清洗制程设备排出的酸性和碱性废气，而是必须分为两种设备来分别处理酸性和碱性废气。因此，如何有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道，是目前的一个亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种酸性和碱性废气处理装置，能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。本技术提供的上述酸性和碱性废气处理装置，包括：处理腔主体；所述处理腔主体包括仅上部互相连通的左腔和右腔，所述左腔的下部具有第一水箱，所述右腔的下部具有第二水箱；所述左腔的上部设置有废气进气口，所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体。优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第二液气分离单元的外部还连接有排气风机。优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一级填充料单元和所述第二级填充料单元的外形均为圆柱形。优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一级填充料单元和所述第二级填充料单元里面的填充料均为聚丙烯圆球。优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述聚丙烯圆球的直径范围为10毫米至20毫米。优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一极性液体为氢氧化钠溶液，且所述第二极性液体为硫酸。优选的，在上述酸性和碱性废气处理装置中，所述第一极性液体为硫酸，且所述第二极性液体为氢氧化钠溶液。从上述技术方案可以看出，本技术所提供的上述酸性和碱性废气处理装置，由于所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体，因此能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的示意图；图2为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的工作过程示意图。具体实施方式本技术的核心思想在于提供一种酸性和碱性废气处理装置，能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置如图1所示，图1为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的示意图。该酸性和碱性废气处理装置包括：处理腔主体1；所述处理腔主体1包括仅上部互相连通的左腔和右腔，也就是说，图中的左腔和右腔之间是分隔开的，仅仅靠近顶部的位置可以连通，气体可以从这个位置通过，所述左腔的下部具有第一水箱2，所述右腔的下部具有第二水箱3，这两个水箱也是互相分隔开的，互相不受影响，用于盛放不同类型的液体；所述左腔的上部设置有废气进气口4，用于使清洗制程设备排出的废气流入该装置内部，所述第一水箱2的上方安装有第一级填充料单元5，所述第一级填充料单元5的周围设置有向所述第一级填充料单元5喷淋第一极性液体的第一喷淋单元6，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元7；所述第二水箱3的上方安装有第二级填充料单元8，所述第二级填充料单元8的周围设置有向所述第二级填充料单元8喷淋第二极性液体的第二喷淋单元9，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元10；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体。上述装置的工作过程如图2所示，图2为本申请实施例提供的第一种酸性和碱性废气处理装置的工作过程示意图。气体从进入装置后，首先从第一级填充料单元5的底部进入，经过第一喷淋单元6的喷淋之后，被其中的一种极性液体吸收，并落入第一水箱2中，未被吸收的气体再从第一级填充料单元5的顶部经过第一液气分离单元7之后，到达第二级填充料单元8的底部，此时经过第二喷淋单元9的喷淋，喷出的第二极性液体吸收掉另一种极性的气体，并落入第二水箱3中，经过两次的喷淋过程，就能够将废气中的酸性和碱性气体都吸收完毕，处理之后的气体再穿过第二液气分离单元10之后，就符合环保标准，并被排放到外界。从上述技术方案可以看出，本申请实施例所提供的上述第一种酸性和碱性废气处理装置，由于所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体，因此能够有效地处理清洗制程设备生产过程中排放的大量酸性或碱性废气，避免生成固体颗粒物堵塞排气管道。本申请实施例提供的第二种酸性和碱性废气处理装置，是在上述第一种酸性和碱性废气处理装置的基础上，还包括如下技术特征：继续参考图1，所述第二液气分离单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种酸性和碱性废气处理装置，其特征在于，包括：处理腔主体；所述处理腔主体包括仅上部互相连通的左腔和右腔，所述左腔的下部具有第一水箱，所述右腔的下部具有第二水箱；所述左腔的上部设置有废气进气口，所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体。

【技术特征摘要】
1.一种酸性和碱性废气处理装置，其特征在于，包括：处理腔主体；所述处理腔主体包括仅上部互相连通的左腔和右腔，所述左腔的下部具有第一水箱，所述右腔的下部具有第二水箱；所述左腔的上部设置有废气进气口，所述第一水箱的上方安装有第一级填充料单元，所述第一级填充料单元的周围设置有向所述第一级填充料单元喷淋第一极性液体的第一喷淋单元，所述左腔和所述右腔的上部互相连通的位置设置有第一液气分离单元；所述第二水箱的上方安装有第二级填充料单元，所述第二级填充料单元的周围设置有向所述第二级填充料单元喷淋第二极性液体的第二喷淋单元，所述右腔与外界连通的位置设置有第二液气分离单元；其中，所述第一极性液体和所述第二极性液体为酸碱性相反的液体。2.根据权利要求1所述的酸性和碱性废气处理装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，姚翔，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31