一种用于FAB车间的扶手载车制造技术

本申请涉及半导体辅助设备技术领域，公开了一种用于FAB车间的扶手载车，应用于晶圆运载，包括：车身主体以及设于车身主体上的扶手组件；扶手组件包括第一扶手杆、第二扶手杆以及连接第二扶手杆的握持横杆，第一扶手杆对称设于车身主体的一端，第二扶手杆通过偏心挤压机构套设在第一扶手杆内，且第二扶手杆相对于第一扶手杆的套设长度通过偏心挤压机构调节；偏心挤压机构包括卡箍、凸轮件以及与凸轮件通过转轴连接的压块，卡箍套设在第一扶手杆的一端，凸轮件设于卡箍上且驱动压块压紧第二扶手杆或与第二扶手杆保持有距离。本申请提高了晶圆运载的便捷性和安全性。圆运载的便捷性和安全性。圆运载的便捷性和安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于FAB车间的扶手载车


[0001]本申请涉及半导体辅助设备
，具体涉及一种用于FAB车间的扶手载车。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。在晶圆制造车间中，传统晶圆载车的扶手都是固定高度及角度的，难以满足不同身高人员的使用需求，身高较高者，脚容易踢到推车底部，长期以往容易造成人员受伤，甚至有造成推车侧翻、晶圆摔碎等风险，从而导致不必要的损失，这种情况需要改变。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本申请提供一种用于FAB车间的扶手载车，使得扶手载车的扶手高度可调，以提高晶圆运载的便捷性和安全性。
[0004]为实现以上目的，采用的技术方案为：
[0005]一种用于FAB车间的扶手载车，应用于晶圆运载，包括：
[0006]车身主体以及设于所述车身主体上的扶手组件；
[0007]所述扶手组件包括第一扶手杆、第二扶手杆以及连接所述第二扶手杆的握持横杆，所述第一扶手杆对称设于所述车身主体的一端，所述第二扶手杆通过偏心挤压机构套设在所述第一扶手杆内，且所述第二扶手杆相对于所述第一扶手杆的套设长度通过所述偏心挤压机构调节；
[0008]所述偏心挤压机构包括卡箍、凸轮件以及与所述凸轮件通过转轴连接的压块，所述卡箍套设在所述第一扶手杆的一端，所述凸轮件设于所述卡箍上且驱动所述压块压紧所述第二扶手杆或与所述第二扶手杆保持有距离。
[0009]本申请进一步设置为：所述凸轮件包括支撑座、转接在所述支撑座上的凸轮以及与所述凸轮一体连接的挤压手柄，所述支撑座一体连接在所述卡箍上，所述压块通过所述转轴与所述凸轮活动连接，且所述转轴相对于所述凸轮呈偏心设置。
[0010]本申请进一步设置为：所述转轴设于所述压块的一端且与所述压块固定连接，所述压块的另一端一体连接有呈球状体结构设置的压紧球头。
[0011]本申请进一步设置为：所述第二扶手杆设有延展至所述第二扶手杆两端的锁位凹槽，所述压紧球头与所述锁位凹槽过盈连接或所述压紧球头与所述锁位凹槽保持有距离。
[0012]本申请进一步设置为：所述压紧球头的外表面均匀排列有硅胶颗粒。
[0013]本申请进一步设置为：所述车身主体包括承载底板和设于所述承载底板上的防护框架，所述承载底板的一端一体连接有受力座，所述第一扶手杆通过棘轮合页与所述受力座限位转接。
[0014]本申请进一步设置为：所述承载底板背离所述防护框架的一侧设有若干个行走
轮，若干个所述行走轮对称排列在所述承载底板的顶角。
[0015]本申请进一步设置为：所述承载底板上呈矩阵排列有若干个用于固定晶圆载具的固定座，在所述承载底板上且位于所述固定座的中心处设有与所述晶圆载具相配合的对位槽。
[0016]本申请进一步设置为：所述握持横杆上设有防护纹或套设有防滑胶套。
[0017]本申请进一步设置为：所述第一扶手杆、所述第二扶手杆以及所述握持横杆由金属铝合金材料或金属碳钢材料制成。
[0018]综上所述，与现有技术相比，本申请公开了一种用于FAB车间的扶手载车，通过扶手组件拖拽、控制和驱动车身主体，其中，扶手组件的第二扶手杆套设在第一扶手杆内，且第二扶手杆通过偏心挤压机构套设在第一扶手杆内，用于调节第二扶手杆相对于第一扶手杆的套设长度，偏心挤压机构包括卡箍、凸轮件以及与凸轮件通过转轴连接的压块，凸轮件设于卡箍上且驱动压块压紧第二扶手杆或与第二扶手杆保持有距离，即通过上述设置，使得扶手载车的扶手高度可调，提高了晶圆运载的便捷性和安全性。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本实施例的第一种用于FAB车间的扶手载车的结构示意图；
[0021]图2是本实施例的第二种用于FAB车间的扶手载车的结构示意图；
[0022]图3是图2的A处放大图；
[0023]图4是本实施例的偏心挤压机构的剖面结构示意图；
[0024]图5是本实施例的承载底板的俯视结构示意图。
[0025]附图标记：1、车身主体；11、承载底板；12、防护框架；13、受力座；14、行走轮；15、固定座；16、对位槽；2、扶手组件；3、第一扶手杆；4、第二扶手杆；41、锁位凹槽；5、握持横杆；6、偏心挤压机构；7、卡箍；8、凸轮件；81、支撑座；82、凸轮；83、挤压手柄；9、压块；91、转轴；92、压紧球头；93、硅胶颗粒。
具体实施方式
[0026]这里将详细的对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0027]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性地包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本申请不同实施例中具
有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。
[0028]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0029]在后续的描述中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或者“单元”的后缀仅为了有利于本申请的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或者“单元”可以混合地使用。
[0030]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]以下将通过具体实施例对本申请所示的技术方案进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优先顺序的限定。
[0032]如
技术介绍
中所述，现有技术的晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于FAB车间的扶手载车，应用于晶圆运载，其特征在于，包括：车身主体以及设于所述车身主体上的扶手组件；所述扶手组件包括第一扶手杆、第二扶手杆以及连接所述第二扶手杆的握持横杆，所述第一扶手杆对称设于所述车身主体的一端，所述第二扶手杆通过偏心挤压机构套设在所述第一扶手杆内，且所述第二扶手杆相对于所述第一扶手杆的套设长度通过所述偏心挤压机构调节；所述偏心挤压机构包括卡箍、凸轮件以及与所述凸轮件通过转轴连接的压块，所述卡箍套设在所述第一扶手杆的一端，所述凸轮件设于所述卡箍上且驱动所述压块压紧所述第二扶手杆或与所述第二扶手杆保持有距离。2.如权利要求1所述的用于FAB车间的扶手载车，其特征在于，所述凸轮件包括支撑座、转接在所述支撑座上的凸轮以及与所述凸轮一体连接的挤压手柄，所述支撑座一体连接在所述卡箍上，所述压块通过所述转轴与所述凸轮活动连接，且所述转轴相对于所述凸轮呈偏心设置。3.如权利要求2所述的用于FAB车间的扶手载车，其特征在于，所述转轴设于所述压块的一端且与所述压块固定连接，所述压块的另一端一体连接有呈球状体结构设置的压紧球头。4.如权利要求3所述的用于FAB车间的扶手载车，其特征在于，所述第二扶手杆设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭兴传，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：