下载一种用于FAB车间的扶手载车的技术资料

文档序号:38980803

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本申请涉及半导体辅助设备技术领域,公开了一种用于FAB车间的扶手载车,应用于晶圆运载,包括:车身主体以及设于车身主体上的扶手组件;扶手组件包括第一扶手杆、第二扶手杆以及连接第二扶手杆的握持横杆,第一扶手杆对称设于车身主体的一端,第二扶手杆通...
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