一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，包括底座、循环机构和过滤机构，所述底座的顶端设置有退火炉，且退火炉的顶端安装有气罐，所述气罐的外壁套设有隔热套，所述循环机构均焊接在气罐的外壁两端，且气罐的底端焊接有回流管，所述过滤机构螺钉连接在回流管的底端。该一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，通过设置的循环机构，这样便于在退火炉运行时，通过两端循环机构中的气泵将气罐中的氮气保护气抽入抽气管中，并输送到退火炉中，利用氮气保护气从而有效的防止退火炉中的构件氧化，通过固定螺母可以方便将抽气管与气罐进行拼接安装，同时通过两端抽气管的设计可以快速的对退火炉中进行充气。快速的对退火炉中进行充气。快速的对退火炉中进行充气。

【技术实现步骤摘要】
一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构


[0001]本技术涉及退火炉相关
，具体为一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉中包含有气氛循环结构，从而有效的防止构件氧化，故此亟需一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构。
[0003]目前使用的退火卧式炉的炉内气氛循环结构，循环结构中的氮气保护气在回收时没有过滤措施的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，以解决上述
技术介绍
中提出的目前使用的退火卧式炉的炉内气氛循环结构，循环结构中的氮气保护气在回收时没有过滤措施的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，包括底座、循环机构和过滤机构，所述底座的顶端设置有退火炉，且退火炉的顶端安装有气罐，所述气罐的外壁套设有隔热套，所述循环机构均焊接在气罐的外壁两端，且气罐的底端焊接有回流管，所述过滤机构螺钉连接在回流管的底端。
[0006]优选的，所述隔热套的内壁与气罐的外壁紧密贴合，且隔热套的内壁尺寸与气罐的外壁尺寸吻合。
[0007]优选的，所述循环机构包括连接座、固定螺母、抽气管和气泵，所述连接座均焊接在气罐的外壁两端，所述连接座的外壁螺钉连接有固定螺母，且固定螺母的外壁螺钉连接有抽气管，所述抽气管的底端安装有气泵。
[0008]优选的，所述抽气管通过固定螺母与连接座螺纹连接，且固定螺母的内壁与连接座的外壁均为螺纹状设置。
[0009]优选的，所述过滤机构包括过滤管、连接管和回流斗，所述过滤管焊接在气罐的底端，所述过滤管的底端焊接有连接管，且过滤管的底端螺钉连接有回流斗。
[0010]优选的，所述过滤管通过连接管与回流管螺纹连接，且连接管的外壁与回流管的内壁均为螺纹状设置。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、该一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，通过设置的循环机构，这样便于在退火炉运行时，通过两端循环机构中的气泵将气罐中的氮气保护气抽入抽气管中，并输送到
退火炉中，利用氮气保护气从而有效的防止退火炉中的构件氧化，通过固定螺母可以方便将抽气管与气罐进行拼接安装，同时通过两端抽气管的设计可以快速的对退火炉中进行充气。
[0013]2、该一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，通过设置的过滤机构，这样便于在退火炉中的氮气进行回收时，氮气经过过滤管，因过滤管内填充有活性炭类的过滤材质，可以对炉内燃烧产生的有害气体进行过滤，从而将氮气回流至气罐内，从而对回流气体进行净化，实现气氛循环。
附图说明
[0014]图1为本技术剖视图；
[0015]图2为本技术过滤机构零件图；
[0016]图3为本技术循环机构零件图。
[0017]图中1、底座；2、退火炉；3、气罐；4、隔热套；5、循环机构；501、连接座；502、固定螺母；503、抽气管；504、气泵；6、回流管；7、过滤机构；701、过滤管；702、连接管；703、回流斗。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，包括底座1、循环机构5和过滤机构7，底座1的顶端设置有退火炉2，且退火炉2的顶端安装有气罐3，气罐3的外壁套设有隔热套4，隔热套4的内壁与气罐3的外壁紧密贴合，且隔热套4的内壁尺寸与气罐3的外壁尺寸吻合，循环机构5均焊接在气罐3的外壁两端，循环机构5包括连接座501、固定螺母502、抽气管503和气泵504，连接座501均焊接在气罐3的外壁两端，连接座501的外壁螺钉连接有固定螺母502，且固定螺母502的外壁螺钉连接有抽气管503，抽气管503的底端安装有气泵504，抽气管503通过固定螺母502与连接座501螺纹连接，且固定螺母502的内壁与连接座501的外壁均为螺纹状设置，且气罐3的底端焊接有回流管6，通过设置的循环机构5，这样便于在退火炉2运行时，通过两端循环机构5中的气泵504将气罐3中的氮气保护气抽入抽气管503中，并输送到退火炉2中，利用氮气保护气从而有效的防止退火炉2中的构件氧化，通过固定螺母502可以方便将抽气管503与气罐3进行拼接安装，同时通过两端抽气管503的设计可以快速的对退火炉2中进行充气；
[0020]过滤机构7螺钉连接在回流管6的底端，过滤机构7包括过滤管701、连接管702和回流斗703，过滤管701焊接在气罐3的底端，过滤管701的底端焊接有连接管702，且过滤管701的底端螺钉连接有回流斗703，过滤管701通过连接管702与回流管6螺纹连接，且连接管702的外壁与回流管6的内壁均为螺纹状设置，通过设置的过滤机构7，这样便于在退火炉2中的氮气进行回收时，氮气经过过滤管701，因过滤管701内填充有活性炭类的过滤材质，可以对炉内燃烧产生的有害气体进行过滤，从而将氮气回流至气罐3内，从而对回流气体进行净化，实现气氛循环。
[0021]工作原理：在安装时，首先将循环机构5中的抽气管503通过固定螺母502与气罐3外壁两端的连接座501进行固定安装，通过两端循环机构5中的气泵504将气罐3中的氮气保护气抽入抽气管503中，并输送到退火炉2中，利用氮气保护气从而有效的防止退火炉2中的构件氧化，在退火炉2中的氮气进行回收时，氮气经过过滤机构7中的过滤管701，因过滤管701内填充有活性炭类的过滤材质，可以对炉内燃烧产生的有害气体进行过滤，从而将氮气回流至气罐3内，从而对回流气体进行净化，实现气氛循环，同时通过过滤管701的可拆卸设计可以方便对过滤管701进行更换，这样就完成了一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构的操作流程。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，其特征在于，包括底座(1)、循环机构(5)和过滤机构(7)，所述底座(1)的顶端设置有退火炉(2)，且退火炉(2)的顶端安装有气罐(3)，所述气罐(3)的外壁套设有隔热套(4)，所述循环机构(5)均焊接在气罐(3)的外壁两端，且气罐(3)的底端焊接有回流管(6)，所述过滤机构(7)螺钉连接在回流管(6)的底端。2.根据权利要求1所述的一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，其特征在于：所述隔热套(4)的内壁与气罐(3)的外壁紧密贴合，且隔热套(4)的内壁尺寸与气罐(3)的外壁尺寸吻合。3.根据权利要求1所述的一种退火卧式炉的炉内气氛循环结构，其特征在于：所述循环机构(5)包括连接座(501)、固定螺母(502)、抽气管(503)和气泵(504)，所述连接座(501)均焊接在气罐(3)的外壁两端，所述连接座(501)的外壁螺钉连接有固定螺母(502)，且固定螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：张上荣，万金汇，
申请(专利权)人：上海钜晶精密仪器制造有限公司，
类型：新型
国别省市：