【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及材料科学和工艺领域，尤其涉及一种集成水冷防过热系统的真空钨网炉。
技术介绍
1、真空钨网炉作为一种高温加热设备，工作原理是利用钨丝在电流作用下发热的原理来实现对设备内物质的加热。它具有加热温度高、加热速率快、真空度好等优点，可提供高达3000℃的稳定高温环境。这种设备在材料科学研究中有着非常广泛的应用，可用于稀土金属、钨、钼、铌、钽等高熔点金属的熔炼与析晶研究；用于氧化物、非氧化物陶瓷材料的烧结与相变行为研究；还可用于半导体材料的合成与结构调控。在工业生产中，真空钨网炉也起着举足轻重的作用，例如在航空航天工业中可实现钛合金零件的高温力学性能处理；在工具制造业可实现硬质合金的高温淬火；在电子产业可实现精密电子元件的受控气氛焊接。尤其是在半导体芯片制造中，真空钨网炉是完成晶体生长、热氧化、退火、金属沉积等关键工艺的必要设备。可以说，真空钨网炉推动了材料科学技术的进步，也大大提高了高科技产业的制造水平。
2、但是，长期以来使用的传统真空钨网炉存在着一些问题，制约了其进一步发挥作用。第一，传统真空钨网炉多采用电阻丝作为加热源，长时间工作后电阻丝易断裂和氧化，需要频繁更换，增加了运行成本。第二，电阻丝发热后较难冷却，容易过热损坏，影响寿命。第三，传统设计为整体结构，不便维护保养，也不易实现功能改造。第四，整体加热方式无法精确控制温度分布，难以适应不同材料的处理需求。这些问题亟待通过技术创新来解决。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而
2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
3、一种集成水冷防过热系统的真空钨网炉，包括主体和底座，所述底座上表面的中部固定连接有罐体，所述罐体前端和后端外壁的上部均法兰连接有水冷电极，所述罐体一侧外壁的中部法兰连接有出料口，所述出料口上表面的中部贯通连接有气压表，所述主体前端内壁的下部均固定连接有多个固定杆，所述固定杆杆身的上部均固定连接有固定套；
4、所述主体内底面的后端固定连接有安装架，所述安装架上端和下端的内壁均固定连接有水箱，所述水箱的上表面和一侧外壁均贯通连接有雾化喷头，上端所述水箱的前端贯通连接有流量计，所述水箱后端的中部均贯通连接有进水管，所述罐体的内壁均固定连接有难熔金属钨层，所述水冷电极靠近罐体中心处的一端均贯穿难熔金属钨层至罐体的内部并固定连接有加热钨网；
5、通过上述技术方案，在使用前后通过启动气缸从而推动底座和罐体上升或下降，进而便于工作人员对该真空钨网炉进行清洗，同时通过出料口和水冷电极分别与罐体的各处采用法兰连接，从而保证了该真空钨网炉连接时的稳定性，也便于工作人员拆卸各个部位进而对其进行清洗或更换。
6、本申请提供的某些实施例中，所述固定套的上表面分别设置有安装板和活动板，所述活动板通过螺栓与安装板螺纹连接，所述活动板上表面的中部固定连接有多个气缸，所述气缸的输出端均与底座的下表面固定连接；
7、通过上述技术方案，通过气缸的输出端与底座的下表面固定连接，从而便于该真空钨网炉进行升降罐体。
8、本申请提供的某些实施例中，所述主体后端内壁的上部固定连接有风机，所述风机的吸风端固定连接有吸风管，所述风机的出风端固定连接有出风管，所述出风管的后端与主体贯通连接；
9、通过上述技术方案，通过出风管与主体之间的贯通连接，从而便于该真空钨网炉将主体内部产生的热气排出，进而达到降温的效果。
10、本申请提供的某些实施例中，所述水冷电极下表面的前端贯通连接有进水口，所述水冷电极下表面的后端贯通连接有出水口；
11、通过上述技术方案，通过进水口配合出水口，从而便于对水冷电极的内部形成水循环，进而对水冷电极进行降温。
12、本申请提供的某些实施例中，所述罐体上端的外壁固定连接有顶盖，所述顶盖上表面的前端和后端均固定连接有把手，所述顶盖远离出料口的一侧贯通连接有出气阀，所述顶盖外壁的前端和一侧均固定连接有紧固锁；
13、通过上述技术方案，通过出气阀从而便于该真空钨网炉工作时排出气体，通过紧固锁从而保证了该真空钨网炉工作时的密封性。
14、本申请提供的某些实施例中，所述主体后端上表面的中部固定连接有真空气泵，所述真空气泵的吸风端固定连接有金属波纹管，所述金属波纹管的前端与罐体贯通连接；
15、通过上述技术方案，通过金属波纹管与罐体之间的贯通连接，从而保证该真空钨网炉超高真空度的实现。
16、本申请提供的某些实施例中，所述主体前端外壁的下端开设有观察口，所述主体前端外壁的上端固定连接有显示面板；
17、通过上述技术方案，通过观察口从而便于工作人员观察该真空钨网炉的工作状态。
18、本申请提供的某些实施例中，所述主体下表面的四个拐角处均固定连接有支撑腿，所述支撑腿的下表面均固定连接有自锁万向轮；
19、通过上述技术方案，通过支撑腿配合自锁万向轮，从而便于该真空钨网炉进行移动。
20、本专利技术具有如下有益效果：
21、1、本专利技术提出的真空钨网炉，对比现有的真空钨网炉，该真空钨网炉在实际使用中通过启动水冷电极配合加热钨网对罐体内部待加热的材料进行加温，同时工作人员通过进水口向水冷电极的内部注入冷却水，再通过出水口将冷却水排出，从而形成水循环的效果，进而对水冷电极进行降温，使得水冷电极不会因为过热而受损，并且在使用时通过水箱和进水管配合雾化喷头，从而对该真空钨网炉的主体内部进行洒水降温，进而使得工作人员在该真空钨网炉工作时也可靠近进行检测和维修。
22、2、本专利技术提出的真空钨网炉，对比现有的真空钨网炉，该真空钨网炉在使用前后通过启动气缸从而推动底座和罐体上升或下降，进而便于工作人员对该真空钨网炉进行清洗，同时通过出料口和水冷电极分别与罐体的各处采用法兰连接，从而保证了该真空钨网炉连接时的稳定性，也便于工作人员拆卸各个部位进而对其进行清洗或更换。
23、3、本专利技术提出的真空钨网炉，对比现有的真空钨网炉，该真空钨网炉设计合理，结构紧凑，在使用时通过风机配合吸风管和出风管，从而便于该真空钨网炉将工作时产生的热气排出，同时通过流量计可以便于工作人员了解该真空钨网炉的水流大小，进一步提高了该真空钨网炉的实用性，值得大力推广。
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1.一种集成水冷防过热系统的真空钨网炉，包括主体(1)和底座(2)，其特征在于：所述底座(2)上表面的中部固定连接有罐体(7)，所述罐体(7)前端和后端外壁的上部均法兰连接有水冷电极(8)，所述罐体(7)一侧外壁的中部法兰连接有出料口(9)，所述出料口(9)上表面的中部贯通连接有气压表(12)，所述主体(1)前端内壁的下部均固定连接有多个固定杆(16)，所述固定杆(16)杆身的上部均固定连接有固定套(17)；
2.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述固定套(17)的上表面分别设置有安装板(18)和活动板(19)，所述活动板(19)通过螺栓与安装板(18)螺纹连接，所述活动板(19)上表面的中部固定连接有多个气缸(20)，所述气缸(20)的输出端均与底座(2)的下表面固定连接。
3.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述主体(1)后端内壁的上部固定连接有风机(26)，所述风机(26)的吸风端固定连接有吸风管(27)，所述风机(26)的出风端固定连接有出风管(28)，所述出风管(28)的后端与主体(
4.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述水冷电极(8)下表面的前端贯通连接有进水口(32)，所述水冷电极(8)下表面的后端贯通连接有出水口(33)。
5.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述罐体(7)上端的外壁固定连接有顶盖(13)，所述顶盖(13)上表面的前端和后端均固定连接有把手(14)，所述顶盖(13)远离出料口(9)的一侧贯通连接有出气阀(15)，所述顶盖(13)外壁的前端和一侧均固定连接有紧固锁(31)。
6.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述主体(1)后端上表面的中部固定连接有真空气泵(10)，所述真空气泵(10)的吸风端固定连接有金属波纹管(11)，所述金属波纹管(11)的前端与罐体(7)贯通连接。
7.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述主体(1)前端外壁的下端开设有观察口(5)，所述主体(1)前端外壁的上端固定连接有显示面板(6)。
8.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述主体(1)下表面的四个拐角处均固定连接有支撑腿(3)，所述支撑腿(3)的下表面均固定连接有自锁万向轮(4)。
...【技术特征摘要】
1.一种集成水冷防过热系统的真空钨网炉，包括主体(1)和底座(2)，其特征在于：所述底座(2)上表面的中部固定连接有罐体(7)，所述罐体(7)前端和后端外壁的上部均法兰连接有水冷电极(8)，所述罐体(7)一侧外壁的中部法兰连接有出料口(9)，所述出料口(9)上表面的中部贯通连接有气压表(12)，所述主体(1)前端内壁的下部均固定连接有多个固定杆(16)，所述固定杆(16)杆身的上部均固定连接有固定套(17)；
2.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述固定套(17)的上表面分别设置有安装板(18)和活动板(19)，所述活动板(19)通过螺栓与安装板(18)螺纹连接，所述活动板(19)上表面的中部固定连接有多个气缸(20)，所述气缸(20)的输出端均与底座(2)的下表面固定连接。
3.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨网炉，其特征在于：所述主体(1)后端内壁的上部固定连接有风机(26)，所述风机(26)的吸风端固定连接有吸风管(27)，所述风机(26)的出风端固定连接有出风管(28)，所述出风管(28)的后端与主体(1)贯通连接。
4.根据权利要求1所述的集成水冷防过热系统的真空钨...
【专利技术属性】
技术研发人员：张上荣，万金汇，肖鹏程，李帅帅，
申请(专利权)人：上海钜晶精密仪器制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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