【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种柔性MEMS减阻蒙皮,其特征在于:柔性MEMS减阻蒙皮主要由衬底(1)、绝缘层(2)、表层(3)、金属电极和引线构成,蒙皮上表面是表层(3),下表面是衬底(1),表层(3)是采用柔性材料制备的柔性材料薄膜,其上开孔,形成微凹坑(6)阵列,表层(3)下方,在每个微凹坑(6)的底部有包括电解阳极(4)和电解阴极(5)的交错排列微细平面梳状电极,阳极引线端子(7)和阴极引线端子(8)通过内部连线分别与每个微凹坑(6)内的电解阳极(4)和电解阴极(5)导通,电解电极、引线端子及其之间的内部连线均附着在绝缘层(2)上,绝缘层(2)下方是衬底(1),衬底(1)是柔性材料制备的柔性材料薄膜,在对应于阳极引线端子(7)和阴极引线端子(8)的部位,衬底(1)和绝缘层(2)被去除,阳极引线端子(7)和阴极引线端子(8)暴露于蒙皮下表面,是连接外部供电导线的焊接部位。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈旭鹏,李勇,朱效谷,黄伟峰,
申请(专利权)人:清华大学,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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