【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微电子机械系统器件，其特征在于，具备：基板和形成于该基板上的微电子机械系统结构体；其中，该微电子机械系统结构体具有工作部结构，该工作部结构具备支撑部和可动部，所述支撑部形成于前述基板上，所述可动部从该支撑部延伸设置并构成为在前述基板上可以动作；该工作部结构在前述可动部上具有剖面极小部，该剖面极小部其与从前述工作部结构的前述支撑部朝向前述可动部的方向正交的剖面的面积比前述可动部的剖面面积小，且该剖面极小部由在前述工作部结构的平面图案中设置的边界图案形状形成。
【技术特征摘要】
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