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本发明提供一种ＭＥＭＳ器件及其制造方法，使ＭＥＭＳ器件的工作精度提高。本发明的ＭＥＭＳ器件具备：基板（１０）和形成于该基板（１０）上的ＭＥＭＳ结构体（２０）；其中，该ＭＥＭＳ结构体（２０）具有工作部结构（２２），该工作部结构（２２）具备形成...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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