【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
具有光学功能的微机械传感器或致动器组件，其中，所述微机械传感器或致动器组件具有衬底和光学元件，所述光学元件能够相对于所述衬底进行偏转，所述衬底的表面和所述可偏转元件的表面由透明的盖密封，其特征在于， 所述盖（２２，２１）的光学主轴不垂 直于所述衬底（１）的所述表面。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：亚历山大沃尔特尔，希尔奥森德尔，哈拉尔德希恩克，
申请(专利权)人：弗兰霍菲尔运输应用研究公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。