【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机械超小型压阻式压力传感器，其特征在于：它包括具有沉积于第一氧化层上的第一硅层的第一绝缘体上硅晶片、膜片，所述膜片包括具有第二硅层的第二绝缘体上硅晶片，所述膜片通过第二硅层与第一硅层面对面的结合而与第一绝缘体上硅晶片键合在一起，所述膜片上开设有一或多个开口，所述一或多个开口使第二硅层暴露出一部分，在一或多个开口中具有一或多个压电电阻器，所述第一硅层和第二硅层中开设一沟槽，所述沟槽的深度终止于第一氧化层，该沟槽限定压阻式压力传感器的边界。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：漆斌，
申请(专利权)人：苏州亘科医疗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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