一种高效型退火炉制造技术

技术编号:38409364 阅读:12 留言:0更新日期:2023-08-07 11:16
本实用新型专利技术公开了一种高效型退火炉,涉及退火炉技术领域。包括操作台,所述操作台顶部设有退火炉本体,所述操作台一侧设有推动装置,所述推动装置顶部内部设有固定装置,所述固定装置包括放置板,所述放置板、第一放置槽、第二放置槽、第二电动推杆、固定板、防滑垫和分隔板,所述推动装置顶部滑动安装有放置板,所述放置板顶部分别开设有第一放置槽和第二放置槽,所述第一放置槽内部对称设有第二电动推杆,所述第二电动推杆一侧焊接固定板,该一种高效型退火炉,能够根据物料的大小,及时的更换不同的放置箱,且能够对放置箱进行有效的固定,避免其在移动过程中容易发生晃动,从而发生偏移,避免了在放置箱内部物料掉落。避免了在放置箱内部物料掉落。避免了在放置箱内部物料掉落。

【技术实现步骤摘要】
一种高效型退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
,具体为一种高效型退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的,目前现有的退火炉由于只有一个送料口,导致物料的上料或下料只能由此处进行,在物料加工完毕后,需要等待物料取出后再放入进料才能继续加工,在换料的过程中,需等待较长的时间,其操作无疑会影响整体加工的效率,给工作人员带来了许多的困扰。
[0003]经检索,中国专利授权号为CN 216815023 U的专利,公开了一种高效型退火炉,结构简单、设计合理,其采用双送料口的设计,可保证物料连续加工,省去换料等待的时间,大大提高了整体的工作效率,使用灵活,实用性强,满足现有市场上的使用需求,但依然存在的问题是,目前常有的退火炉结构简单,不能及时的根据物料的大小,及时的更换不同的放置箱,且不能对放置箱进行有效的固定,导致其在移动过程中容易发生晃动,从而发生偏移,容易在放置箱内部物料过多时掉落,容易造成物料的损坏。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种高效型退火炉,解决了
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:本技术提供了一种高效型退火炉,包括操作台,所述操作台顶部设有退火炉本体,所述操作台一侧设有推动装置,所述推动装置顶部内部设有固定装置,所述固定装置包括放置板,所述放置板、第一放置槽、第二放置槽、第二电动推杆、固定板、防滑垫和分隔板,所述推动装置顶部滑动安装有放置板,所述放置板顶部分别开设有第一放置槽和第二放置槽,所述第一放置槽内部对称设有第二电动推杆,所述第二电动推杆一侧焊接固定板,所述固定板外壁均匀包裹有防滑垫,所述第二放置槽内壁焊接分隔板。
[0006]优选的,所述推动装置包括安装板、第一电动推杆、第一限位槽、第一滑轨和第一滑块,所述操作台外壁焊接安装板,所述安装板顶部设有第一电动推杆,所述第一电动推杆一侧焊接在放置板外壁。
[0007]优选的,所述操作台顶部开设有第一限位槽,所述第一限位槽内壁两侧对称开设有第一滑轨,所述第一滑轨内部滑动安装第一滑块,所述第一滑块焊接在放置板外壁两侧。
[0008]优选的,所述退火炉本体外壁两侧对称设有密封装置,所述密封装置包括第二限位槽、第二滑轨、第二滑块、固定柱、液压缸、液压杆、第三滑轨、第三滑块和密封板,所述退火炉本体顶部两侧对称开设有第二限位槽。
[0009]优选的,所述退火炉本体内壁两侧对称开设有第二滑轨,所述第二滑轨内壁滑动安装有第二滑块,所述第二滑块焊接在密封板外壁,所述退火炉本体外壁对称焊接固定柱。
[0010]优选的,所述固定柱顶部设有液压缸,所述液压缸底部套接液压杆,所述固定柱外壁开设有第三滑轨,所述第三滑轨内壁滑动安装第三滑块,所述第三滑块外壁焊接第二滑块。
[0011]本技术提供了一种高效型退火炉。具备以下有益效果:
[0012]该一种高效型退火炉,通过固定装置的设置,增加了目前常有的退火炉的结构,使其功能上更加的完善,能够根据物料的大小,及时的更换不同的放置箱,且能够对放置箱进行有效的固定,避免其在移动过程中容易发生晃动,从而发生偏移,避免了在放置箱内部物料掉落。
附图说明
[0013]图1为本技术整体的结构示意图;
[0014]图2为本技术推动装置的结构示意图;
[0015]图3为本技术固定装置的结构示意图;
[0016]图4为本技术密封装置的结构示意图。
[0017]图中,1、操作台;2、退火炉本体;3、推动装置;31、安装板;32、第一电动推杆;33、第一限位槽;34、第一滑轨;35、第一滑块;4、固定装置;41、放置板;42、第一放置槽;43、第二放置槽;44、第二电动推杆;45、固定板;46、防滑垫;47、分隔板;5、密封装置;51、第二限位槽;52、第二滑轨;53、第二滑块;54、固定柱;55、液压缸;56、液压杆;57、第三滑轨;58、第三滑块;59、密封板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1

4,本技术实施例提供一种技术方案:一种高效型退火炉,包括操作台1,所述操作台1顶部设有退火炉本体2,所述操作台1一侧设有推动装置3,所述推动装置3顶部内部设有固定装置4,所述固定装置4包括放置板41,所述放置板41、第一放置槽42、第二放置槽43、第二电动推杆44、固定板45、防滑垫46和分隔板47,所述推动装置3顶部滑动安装有放置板41,所述放置板41顶部分别开设有第一放置槽42和第二放置槽43,所述第一放置槽42内部对称设有第二电动推杆44,所述第二电动推杆44一侧焊接固定板45,所述固定板45外壁均匀包裹有防滑垫46,所述第二放置槽43内壁焊接分隔板47。
[0020]通过第一放置槽42内部的第二电动推杆44推动第二放置槽43内部的固定板45向中间靠拢,有效地对第二放置槽43内部的放置箱进行固定,避免其在移动过程中容易发生晃动,从而发生偏移,避免了在放置箱内部物料掉落。
[0021]所述推动装置3包括安装板31、第一电动推杆32、第一限位槽33、第一滑轨34和第一滑块35,所述操作台1外壁焊接安装板31,所述安装板31顶部设有第一电动推杆32,所述第一电动推杆32一侧焊接在放置板41外壁,所述操作台1顶部开设有第一限位槽33,所述第一限位槽33内壁两侧对称开设有第一滑轨34,所述第一滑轨34内部滑动安装第一滑块35,
所述第一滑块35焊接在放置板41外壁两侧。
[0022]通过第一电动推杆32推动一侧的放置板41外壁第一限位槽33内部滑动,从而有效地对放置板41的位置进行调整,以及通过第一滑轨34和第一滑块35的组合设置,减少了放置板41与第一限位槽33之间的磨损。
[0023]所述退火炉本体2外壁两侧对称设有密封装置5,所述密封装置5包括第二限位槽51、第二滑轨52、第二滑块53、固定柱54、液压缸55、液压杆56、第三滑轨57、第三滑块58和密封板59,所述退火炉本体2顶部两侧对称开设有第二限位槽51,所述退火炉本体2内壁两侧对称开设有第二滑轨52,所述第二滑轨52内壁滑动安装有第二滑块53,所述第二滑块53焊接在密封板59外壁,所述退火炉本体2外壁对称焊接固定柱54。
[0024]通过第二限位槽51、第二滑轨52和第二滑块53的组合设置,方便密封板59更好地安装在退火炉本体2外壁两侧。
[0025]所述固定柱54顶部设有液压缸55,所本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效型退火炉,包括操作台(1),其特征在于:所述操作台(1)顶部设有退火炉本体(2),所述操作台(1)一侧设有推动装置(3),所述推动装置(3)顶部内部设有固定装置(4),所述固定装置(4)包括放置板(41),所述放置板(41)、第一放置槽(42)、第二放置槽(43)、第二电动推杆(44)、固定板(45)、防滑垫(46)和分隔板(47),所述推动装置(3)顶部滑动安装有放置板(41),所述放置板(41)顶部分别开设有第一放置槽(42)和第二放置槽(43),所述第一放置槽(42)内部对称设有第二电动推杆(44),所述第二电动推杆(44)一侧焊接固定板(45),所述固定板(45)外壁均匀包裹有防滑垫(46),所述第二放置槽(43)内壁焊接分隔板(47)。2.根据权利要求1所述的一种高效型退火炉,其特征在于:所述推动装置(3)包括安装板(31)、第一电动推杆(32)、第一限位槽(33)、第一滑轨(34)和第一滑块(35),所述操作台(1)外壁焊接安装板(31),所述安装板(31)顶部设有第一电动推杆(32),所述第一电动推杆(32)一侧焊接在放置板(41)外壁。3.根据权利要求2所述的一种高效型退火炉,其特征在于:所述操作台(1)顶部开设有第一限...

【专利技术属性】
技术研发人员:倪许庆王万云
申请(专利权)人:安徽展未铝业科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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