换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备技术方案

本发明专利技术提供一种换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备，换热水箱包含用于容纳循环液的水箱腔体，在该方法中，获取对应密封状态的水箱腔体内的气体的第一压强；以及获取水箱腔体的底部的循环液的第二压强；根据第一压强和第二压强，确定水箱腔体所容纳的循环液的液位。由此，考虑到在半导体温控设备工作的过程中，水箱腔体是处于密闭空间环境的，腔体中气体的第一压强是近似等于液面压强，由此确定水箱腔体的液面与底部之间的压强差，进而能较精准地推算出水箱腔体中实时的循环液的液位，实现了对水箱内液位的连续测量。实现了对水箱内液位的连续测量。实现了对水箱内液位的连续测量。

【技术实现步骤摘要】
换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备


[0001]本专利技术涉及集成电路制造
，尤其涉及一种换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备。

技术介绍

[0002]刻蚀工艺是半导体晶圆加工中最为重要的工艺之一，在晶圆刻蚀工艺中，需要维持加工腔内环境温度的恒定，所以需要使用专用的温控装置。温控装置用于在晶圆加工台内部通入恒温的循环液，以带走刻蚀过程中产生的热量。
[0003]目前，随着制程的发展，刻蚀等工艺的温度需求达到
‑
120～200℃，水箱内液位检测常用的液位传感器受到使用限制温度、狭小密闭空间、防止泄露、维修保养等影响均不能完全满足使用要求。但是，非接触式液位传感器受到水箱空间、液体绝缘等影响也不适用，光钎液位传感器可以作为液位报警开关使用，但不能连续输出液位信号。
[0004]针对上述问题，目前业界暂未提出较佳的解决方案。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备，用以解决现有技术中光钎液位传感器仅用于液位警报而无法连续测量液位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种换热水箱的液位测量方法，其特征在于，换热水箱包含用于容纳循环液的水箱腔体，该方法包括：获取对应密封状态的水箱腔体内的气体的第一压强；获取所述水箱腔体的底部的循环液的第二压强；根据所述第一压强和所述第二压强，确定所述水箱腔体所容纳的循环液的液位。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：获取所述水箱腔体所容纳的循环液的循环液温度；其中，所述根据所述第一压强和所述第二压强，确定所述水箱腔体所容纳的循环液的液位，包括：根据所述第一压强、所述第二压强和所述循环液温度，确定所述水箱腔体所容纳的循环液的液位。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一压强、所述第二压强和所述循环液温度，确定所述水箱腔体所容纳的循环液的液位，包括：确定与所述循环液温度相对应的循环液密度；根据所述循环液密度、所述第一压强和所述第二压强，确定所述水箱腔体中循环液的液位。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述确定与所述循环液温度相对应的循环液密度，包括：获取所述水箱腔体所容纳的循环液的循环液类型；确定与所述循环液类型相匹配的密度计算公式；其中，所述密度计算公式包含循环液密度变量和循环液温度变量；根据所确定的密度计算公式和所述循环液温度，确定循环液密度。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述获取所述水箱腔体所容纳的循环液的循环液类型，包括：获取用户输入信息；根据所述用户输入信息，确定所述水箱腔体所容纳的循环液的循环液类型。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：芮守祯，曹小康，何茂栋，董春辉，冯涛，耿海东，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：