成膜装置及其检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及成膜装置及其检查方法，提供高精度地检测来自成膜装置的大气箱的泄漏的技术。使用如下的成膜装置，所述成膜装置具备：大气箱，其配置在真空腔室内，且内部被保持为大气环境；第一供给部件，其向位于大气箱的多个部位的、大气箱的内部的大气泄漏的泄漏部位的候补中的一个部位供给氦气；第二供给部件，其向多个部位中的未被供给氦气的部位供给与氦气不同的气体；以及判定部件，其判定是否从被第一供给部件供给氦气且被第二供给部件供给不同的气体的大气箱检测到泄漏的氦气。不同的气体的大气箱检测到泄漏的氦气。不同的气体的大气箱检测到泄漏的氦气。

【技术实现步骤摘要】
成膜装置及其检查方法


[0001]本专利技术涉及成膜装置及其检查方法。

技术介绍

[0002]有机EL显示装置、液晶显示装置等平板显示装置正在被使用。例如，有机EL显示装置包含多层结构的有机EL元件，所述多层结构的有机EL元件在两个相对的电极之间形成有具有产生发光的有机物层即发光层的功能层。有机EL元件的功能层、电极层通过在成膜装置的腔室内隔着掩模使成膜材料附着于玻璃等基板而形成。若在该成膜时在腔室空间内存在杂质，则产生成膜不良的可能性提高，有可能会产生面板的不良情况。因此，在成膜时，成膜装置的腔室内部被排气成真空。
[0003]在这样的腔室的内部，有时会配置内部空间被保持为大气环境的被称为大气箱的构造物。大气箱的内部空间与腔室的外侧连通。在大气箱与腔室的外侧之间配置有信号线、管等，用于信息、物质的交换。内部为大气环境的大气箱和需要排气成真空的腔室空间以保持气密的方式隔开。
[0004]作为利用大气箱的装置的一例，存在串联型的成膜装置。串联型的成膜装置为多个腔室自始至终地真空连结且基板一边在腔室之间移动一边进行成膜的装置。通过在串联型的成膜装置设置多个成膜腔室，从而在基板上依次进行成膜，能够制作多层构造的有机EL元件。在这样的串联型成膜装置的腔室内部配备有用于使基板移动的输送辊。并且，在腔室内部的大气箱收纳有用于驱动输送辊的电动机等驱动机构。驱动机构经由信号线从腔室外部接收电力、控制信号，并经由插通到在大气箱开设的孔中的轴而向输送辊传递动力。
[0005]为了保持大气箱与腔室之间的气密，利用密封构件、润滑脂将轴插通孔密封，但存在由于时效变化等而产生泄漏并使气密性降低的情况。该泄漏有可能会降低成膜时的腔室内的真空度而产生成膜不良。因此，在装置的维护时，需要检测是否未从设置于大气箱的孔产生泄漏。
[0006]若在大气箱中成为泄漏产生部位的候补的开口(例如插通轴的孔)为一个，则能够使用氦探测器等现有的装置来检测泄漏。但是，当在大气箱存在多个开口的情况下，即使能够检测出从大气箱产生了泄漏，也难以检测出在哪个开口产生了泄漏。
[0007]在专利文献1(日本特开2019
‑
512158号公报)中，在利用氦探测器检测泄漏时，在泄漏产生部位的候补存在多个的情况下，选择性地向多个部位中的一个部位供给氦气。由此，能够逐个检查泄漏产生部位的候补。
[0008]在先技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1：日本特开2019
‑
512158号公报

技术实现思路

[0011]专利技术要解决的课题
[0012]但是，在专利文献1中，即使选择性地向某一个泄漏产生候补部位供给氦气，由于随着时间的经过而氦气扩散，因此，氦气也会从其他泄漏产生候补部位漏出。其结果是，有可能无法得知泄漏的产生部位。
[0013]本专利技术是鉴于上述课题而做出的，其目的在于提供高精度地检测来自成膜装置的大气箱的泄漏的技术。
[0014]用于解决课题的方案
[0015]本专利技术采用以下的结构。即，一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：
[0016]大气箱，所述大气箱配置在真空腔室内，且内部被保持为大气环境；
[0017]第一供给部件，所述第一供给部件向位于所述大气箱的多个部位的、所述大气箱的内部的大气泄漏的泄漏部位的候补中的一个部位供给氦气；
[0018]第二供给部件，所述第二供给部件向所述多个部位中的未被供给氦气的部位供给与氦气不同的气体；以及
[0019]判定部件，所述判定部件判定是否从被所述第一供给部件供给氦气且被所述第二供给部件供给所述不同的气体的所述大气箱检测到泄漏的氦气。
[0020]另外，本专利技术采用以下的结构。即，一种成膜装置的检查方法，其特征在于，所述成膜装置的检查方法具有：
[0021]第一供给步骤，在所述第一供给步骤中，向位于大气箱的多个部位的、所述大气箱的内部的大气泄漏的泄漏部位的候补中的一个部位供给氦气，所述大气箱配置在真空腔室内，且内部被保持为大气环境；
[0022]第二供给步骤，在所述第二供给步骤中，向所述多个部位中的未被供给氦气的部位供给与氦气不同的气体；以及
[0023]判定步骤，在所述判定步骤中，判定是否从被所述第一供给步骤供给氦气且被所述第二供给步骤供给所述不同的气体的所述大气箱检测到泄漏的氦气。
[0024]专利技术效果
[0025]根据本专利技术，能够提供高精度地检测来自成膜装置的大气箱的泄漏的技术。
附图说明
[0026]图1是示出成膜装置的结构的示意性的俯视图。
[0027]图2是说明基板载台对基板的支承的图。
[0028]图3是说明基板载台和掩模的安装的图。
[0029]图4是示出具有旋转台的腔室的结构的示意性的剖视图。
[0030]图5是示出具有旋转台的腔室的结构的示意性的俯视图。
[0031]图6是示出旋转台旋转后的腔室的结构的示意性的俯视图。
[0032]图7是说明旋转台的旋转速度控制的图表。
[0033]图8是说明输送体的腔室之间的移动及旋转的图。
[0034]图9是说明基板载台和掩模的搬入搬出的剖视图。
[0035]图10是说明基板载台和掩模的搬入搬出的剖视图的后续图。
[0036]图11是说明基板载台和掩模的搬入搬出的剖视图的后续图。
[0037]图12是示出大气箱的内部结构的剖视图。
[0038]图13是示出氦探测器的配置的示意性的剖视图。
[0039]图14是说明基于氦探测器的泄漏检测的步骤的图。
[0040]图15是说明基于氦探测器的泄漏检测的步骤的图的后续图。
[0041]图16是示出氦探测器的另一配置的示意性的剖视图。
[0042]图17是说明基于氦探测器的泄漏检测的步骤的另一个图。
[0043]图18是示出氦探测器的另一配置的示意性的剖视图。
[0044]图19是说明基于氦探测器的泄漏检测的步骤的另一个图。
[0045]图20是说明电子器件的结构的图。
[0046]附图标记说明
[0047]201：大气箱、250：管、275：插通孔、500：成膜装置、531：载台分离室、550：控制部。
具体实施方式
[0048]以下，对本专利技术的实施方式进行详细说明。但是，以下的实施方式只不过是例示性地示出本专利技术的优选的结构，并不将本专利技术的范围限定于这些结构。另外，对于以下的说明中的装置的硬件结构及软件结构、处理流程、制造条件、尺寸、材质、形状等而言，只要没有特别特定的记载，就不意图将本专利技术的范围仅限定于此。
[0049]本专利技术在通过蒸镀、溅射而在基板等成膜对象物的表面形成成膜材料的薄膜的成膜装置中，在检测配置在真空腔室内的大气箱的泄漏时是优选的。本专利技术可以作为成膜装置、成膜装置的检查装置或成膜装置的检查方法来掌握。另外，本专利技术也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：大气箱，所述大气箱配置在真空腔室内，且内部被保持为大气环境；第一供给部件，所述第一供给部件向位于所述大气箱的多个部位的、所述大气箱的内部的大气泄漏的泄漏部位的候补中的一个部位供给氦气；第二供给部件，所述第二供给部件向所述多个部位中的未被供给氦气的部位供给与氦气不同的气体；以及判定部件，所述判定部件判定是否从被所述第一供给部件供给氦气且被所述第二供给部件供给所述不同的气体的所述大气箱检测到泄漏的氦气。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述大气箱内置有驱动部件，所述驱动部件对配置在所述真空腔室的内部的机构进行驱动。3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，配置在所述真空腔室的内部的机构包含成膜源输送部件、载台输送部件以及掩模输送部件中的至少任一个，所述成膜源输送部件移动用于在基板上形成薄膜的成膜源，所述载台输送部件对保持所述基板的基板载台进行输送，所述掩模输送部件对为了形成所述薄膜而配置在所述基板与所述成膜源之间的掩模进行输送。4.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，所述泄漏部位的候补为用于从所述大气箱的内部贯通...

【专利技术属性】
技术研发人员：相泽雄树，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：