抑振邦定设备制造技术

本实用新型专利技术属于邦定技术领域，公开了一种抑振邦定设备，抑振邦定设备包括机台、主动驱动装置和抑振驱动装置，主动驱动装置和抑振驱动装置均固定于机台上，主动驱动装置上设置有邦定头，抑振驱动装置上设置有配重件。本实用新型专利技术提供的抑振邦定设备，在主动驱动装置驱动邦定头移动作业的过程中，抑振驱动装置驱动配重件沿邦定头移动相反的方向移动，以抑制邦定头的移动对机台带来的振动，进而提高邦定精度，且抑振驱动装置驱动及配重件不会大幅度的增加机台重量，利于设备行业发展。利于设备行业发展。利于设备行业发展。

【技术实现步骤摘要】
抑振邦定设备


[0001]本技术涉及邦定
，尤其涉及一种抑振邦定设备。

技术介绍

[0002]目前，在芯片邦定制程中，单邦定头的芯片邦定设备每小时产出需求高，导致邦定头沿水平方向的加速度往往会达到8g以上，因此设备会产生一个很大的冲量，从而使设备的机台产生很大的振动，对机台上的视觉系统及邦定系统均产生很大的影响，降低邦定设备的邦定精度。
[0003]现有技术主要是通过加重机台的重量和刚性以抵消掉高加减速带来的冲量，但机台过重，设备的成本及自重会增加，且对安装地基及运输等要求高，不利于设备行业发展。因此，亟需一种抑振邦定设备以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种抑振邦定设备，能有效抑制机台振动。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]提供一种抑振邦定设备，包括：
[0007]机台；
[0008]主动驱动装置，固定于所述机台上，所述主动驱动装置上设置有邦定头，所述主动驱动装置用于驱动所述邦定头沿第一水平方向移动；<br/>[0009]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.抑振邦定设备，其特征在于，包括：机台(100)；主动驱动装置(200)，固定于所述机台(100)上，所述主动驱动装置(200)上设置有邦定头(210)，所述主动驱动装置(200)用于驱动所述邦定头(210)沿第一水平方向移动；抑振驱动装置(300)，固定于所述机台(100)上，所述抑振驱动装置(300)上设置有配重件(310)，所述抑振驱动装置(300)用于驱动所述配重件(310)沿所述邦定头(210)移动相反的方向移动以抑制所述邦定头(210)移动对所述机台(100)带来的振动。2.根据权利要求1所述的抑振邦定设备，其特征在于，所述机台(100)包括：工作台(110)；第一基座(120)，固定于所述工作台(110)上；第二基座(130)，固定于所述工作台(110)上，所述第二基座(130)与第一基座(120)沿所述第一水平方向间隔设置，所述第二基座(130)上设置所述抑振驱动装置(300)；安装梁(140)，固定于所述第一基座(120)和所述第二基座(130)上，所述安装梁(140)上设置所述主动驱动装置(200)。3.根据权利要求2所述的抑振邦定设备，其特征在于，所述机台(100)还包括：第三基座(150)，间隔设置于所述第二基座(130)沿第二水平方向的一侧；加固座(160)，所述加固座(160)的第一端固定于所述第三基座(150)上，所述加固座(160)的第二端固定于所述第二基座(130)上。4.根据权利要求3所述的抑振邦定设备，其特征在于，所述第二基座(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖伟，钟履泉，农志坚，
申请(专利权)人：正泰智能制造装备深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：