抑振邦定设备制造技术

本实用新型专利技术属于邦定技术领域，公开了一种抑振邦定设备，抑振邦定设备包括机台、主动驱动装置和抑振驱动装置，主动驱动装置和抑振驱动装置均固定于机台上，主动驱动装置上设置有邦定头，抑振驱动装置上设置有配重件。本实用新型专利技术提供的抑振邦定设备，在主动驱动装置驱动邦定头移动作业的过程中，抑振驱动装置驱动配重件沿邦定头移动相反的方向移动，以抑制邦定头的移动对机台带来的振动，进而提高邦定精度，且抑振驱动装置驱动及配重件不会大幅度的增加机台重量，利于设备行业发展。利于设备行业发展。利于设备行业发展。

【技术实现步骤摘要】
抑振邦定设备


[0001]本技术涉及邦定
，尤其涉及一种抑振邦定设备。

技术介绍

[0002]目前，在芯片邦定制程中，单邦定头的芯片邦定设备每小时产出需求高，导致邦定头沿水平方向的加速度往往会达到8g以上，因此设备会产生一个很大的冲量，从而使设备的机台产生很大的振动，对机台上的视觉系统及邦定系统均产生很大的影响，降低邦定设备的邦定精度。
[0003]现有技术主要是通过加重机台的重量和刚性以抵消掉高加减速带来的冲量，但机台过重，设备的成本及自重会增加，且对安装地基及运输等要求高，不利于设备行业发展。因此，亟需一种抑振邦定设备以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种抑振邦定设备，能有效抑制机台振动。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]提供一种抑振邦定设备，包括：
[0007]机台；
[0008]主动驱动装置，固定于所述机台上，所述主动驱动装置上设置有邦定头，所述主动驱动装置用于驱动所述邦定头沿第一水平方向移动；
[0009]抑振驱动装置，固定于所述机台上，所述抑振驱动装置上设置有配重件，所述抑振驱动装置用于驱动所述配重件沿所述邦定头移动相反的方向移动，以抑制所述邦定头的移动对所述机台带来的振动。
[0010]可选地，所述机台包括：
[0011]工作台；
[0012]第一基座，固定于所述工作台上；
[0013]第二基座，固定于所述工作台上，所述第二基座与第一基座沿所述第一水平方向间隔设置，所述第二基座上设置所述抑振驱动装置；
[0014]安装梁，固定于所述第一基座和所述第二基座上，所述安装梁上设置所述主动驱动装置。
[0015]可选地，所述机台还包括：
[0016]第三基座，间隔设置于所述第二基座沿第二水平方向的一侧；
[0017]加固座，所述加固座的第一端固定于所述第三基座上，所述加固座的第二端固定于所述第二基座上。
[0018]可选地，所述第二基座包括：
[0019]支撑板，沿竖直方向延伸设置，所述支撑板的第一端固定于所述工作台上，所述支撑板包括相互垂直设置的第一边和第二边；
[0020]安装台，设置于所述支撑板的第二端，所述安装台上设置所述抑振驱动装置。
[0021]可选地，所述安装台朝向所述第三基座的一侧边缘设置有安装槽，所述安装槽包括第一水平面和第一竖直面，所述加固座朝向所述工作台的表面与所述第一水平面贴合设置，所述加固座的第二端端面与所述第一竖直面贴合设置。
[0022]可选地，所述安装梁上设置有多个减重槽。
[0023]可选地，所述主动驱动装置和所述抑振驱动装置沿所述第一水平方向间隔设置。
[0024]可选地，所述机台的底部设置有多个地脚螺栓和多个万向轮。
[0025]可选地，所述配重件设置有多个且可拆卸的设置于所述抑振驱动装置上。
[0026]可选地，多个所述配重件沿竖直方向叠摞于所述抑振驱动装置上。
[0027]有益效果：
[0028]本技术提供的抑振邦定设备，在主动驱动装置驱动邦定头移动作业的过程中，抑振驱动装置驱动配重件沿邦定头移动相反的方向移动，以抑制邦定头的移动对机台带来的振动，进而提高邦定精度。此外，抑振驱动装置驱动及配重件不会大幅度的增加机台重量，利于设备行业发展。
附图说明
[0029]图1是本技术提供的抑振邦定设备的结构示意图；
[0030]图2是本技术提供的机台的部分结构示意图；
[0031]图3是本技术提供的抑振邦定设备的部分结构一视角结构示意图；
[0032]图4是本技术提供的第二基座的结构示意图；
[0033]图5是本技术提供的抑振邦定设备的部分结构另一视角结构示意图。
[0034]图中：
[0035]100、机台；110、工作台；120、第一基座；130、第二基座；131、支撑板；1311、第一边；1312、第二边；132、安装台；1321、安装槽；13211、第一水平面；13212、第一竖直面；140、安装梁；141、减重槽；150、第三基座；160、加固座；
[0036]200、主动驱动装置；210、邦定头；220、连接板；
[0037]300、抑振驱动装置；310、配重件；
[0038]410、地脚螺栓；420、万向轮；
[0039]510、第一位置传感器；520、第二位置传感器。
具体实施方式
[0040]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0041]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0042]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0043]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0044]参照图1所示，本实施例提供了一种抑振邦定设备，抑振邦定设备包括机台100、主动驱动装置200和抑振驱动装置300。其中，主动驱动装置200和抑振驱动装置300均固定于机台100上，主动驱动装置200上设置有邦定头210，主动驱动装置200用于驱动邦定头210沿第一水平方向移动；抑振驱动装置300上设置有配重件310，抑振驱动装置300用于驱动配重件310沿邦定头210移动相反的方向移动以抑制邦定头210移动对机台100带来的振动。其中，图1中的a方向为第一水平方向。
[0045]在本实施例中，在主动驱动装置200驱动邦定头210移动作业的过程中，抑振驱动装置300驱动配重件310沿邦定头210移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.抑振邦定设备，其特征在于，包括：机台(100)；主动驱动装置(200)，固定于所述机台(100)上，所述主动驱动装置(200)上设置有邦定头(210)，所述主动驱动装置(200)用于驱动所述邦定头(210)沿第一水平方向移动；抑振驱动装置(300)，固定于所述机台(100)上，所述抑振驱动装置(300)上设置有配重件(310)，所述抑振驱动装置(300)用于驱动所述配重件(310)沿所述邦定头(210)移动相反的方向移动以抑制所述邦定头(210)移动对所述机台(100)带来的振动。2.根据权利要求1所述的抑振邦定设备，其特征在于，所述机台(100)包括：工作台(110)；第一基座(120)，固定于所述工作台(110)上；第二基座(130)，固定于所述工作台(110)上，所述第二基座(130)与第一基座(120)沿所述第一水平方向间隔设置，所述第二基座(130)上设置所述抑振驱动装置(300)；安装梁(140)，固定于所述第一基座(120)和所述第二基座(130)上，所述安装梁(140)上设置所述主动驱动装置(200)。3.根据权利要求2所述的抑振邦定设备，其特征在于，所述机台(100)还包括：第三基座(150)，间隔设置于所述第二基座(130)沿第二水平方向的一侧；加固座(160)，所述加固座(160)的第一端固定于所述第三基座(150)上，所述加固座(160)的第二端固定于所述第二基座(130)上。4.根据权利要求3所述的抑振邦定设备，其特征在于，所述第二基座(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖伟，钟履泉，农志坚，
申请(专利权)人：正泰智能制造装备深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：