一种基于芯片良率监测用调节装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于芯片良率监测用调节装置及方法，具体包括，基座，所述基座左侧活动连接有抽拉箱体，所述基座顶部右侧固定连接有处理座，所述基座顶部中间活动连接有收纳箱座，所述金属撑架顶部左侧固定连接有调节装置，本发明专利技术涉及良率监测调节技术领域。该基于芯片良率监测用调节装置及方法，通过螺杆通电旋转与套接筒相互作用，限定导向逐渐被扭转作用而往上运动，限定导向起到导向的辅助作用，通时安置板可以根据旋转至放置壳体上方，以便于调节件对放置壳体内部的芯片工件进行吸收，调节件将芯片工件而吸收至芯片方盘处，完成芯片的各方位调节，从而使设备具有自动便捷调整的作用，促进工作的加工效率。促进工作的加工效率。促进工作的加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于芯片良率监测用调节装置及方法


[0001]本专利技术涉及良率监测调节
，具体为一种基于芯片良率监测用调节装置及方法。

技术介绍

[0002]集成电路或称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种将电路小型化的方式，主要包括半导体设备，也包括被动组件等，并时常制造在半导体晶圆表面，质量和可靠性在一定程度上可以说是IC产品的生命，好的品质，长久的耐力往往就是一颗优秀IC产品的竞争力所在，芯片良率在在整个半导体制造过程中具有相当重要的地位，芯片良率监测调节技术必不可少。
[0003]现有技术中，主要是利用工程师通常采用专用软件从测试日志中提取测试数据然后使用EXCEL、JMP等数据分析软件分析良率数据，但是良品率需要根据实际操作情况以及经验进行判断，操作易容易存在漏判或者误判的情况，且难以第一时间得知遗漏情况，导致某些芯片良率不够精准，造成良品反馈率监测调节分析易出纰漏。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种基于芯片良率监测用调节装置，具体包括，
[0006]基座，所述基座左侧活动连接有抽拉箱体，所述基座顶部右侧固定连接有处理座，所述基座顶部中间活动连接有收纳箱座；
[0007]收纳箱座，该收纳箱座具有预警芯片，以及设置在收纳箱座顶部活动连接的监测装置，通过监测装置的设置，进而通过显示屏将传输的数据进行监测，从而达到自动实时监测的效果和作用，同时防止调节螺杆晃动过大而出现脱落等情况，起到自动防护的效果，实现稳定安全的加工环境，所述抽拉箱体内部活动连接有金属撑架，所述金属撑架顶部左侧固定连接有调节装置，通过调节装置的设置，避免因为调节螺杆处理时晃动过大而出现脱落等情况，起到自动防护的效果，实现稳定安全的加工环境，所述调节装置顶部左侧固定安装有调节件,所述调节件底部固定连接有芯片方盘，所述芯片方盘具有收集垫；
[0008]所述调节装置包括：
[0009]下位清理装置，所述清理装置轴心处固定连接有螺杆，该螺杆具有垫层件，以及设置在所述螺杆外表面固定安装的套接筒，所述套接筒与螺杆之间活动连接有限定导向，所述螺杆顶端固定连接有安置板。
[0010]进一步的，所述抽拉箱体贯穿基座并延伸至螺杆处，所述螺杆通过安置板与调节件相连通，通过监测装置的设置，进而通过显示屏将传输的数据进行监测，从而达到自动实时监测的效果和作用，同时防止调节螺杆晃动过大而出现脱落等情况，起到自动防护的效果，所述芯片方盘上设置有均匀分布的收集垫，所述监测装置内部设置有传送带。
[0011]进一步的，所述螺杆的直径比套接筒的直径小，所述安置板右下角固定连接有调
节件，所述套接筒与套接筒之间的槽体相对应，所述清理装置还包括作用盘，所述作用盘顶部活动连接有斜板，所述斜板背面固定连接有贴合板，所述贴合板背面固定连接有圆弧件，所述圆弧件底部中间固定连接有金属撑体，斜板通过贴合板和圆弧件作用圆弧件运动，圆弧件从上方而位移至下方，圆弧件往下位移产生倾斜力，所述金属撑体底端固定连接有组装件，所述组装件外表面活动连接有爪子，所述爪子以金属撑体的中心轴线为参考而均匀分布，所述爪子为棉绒材质，所述组装件与金属撑体之间的夹角为九十度设计，所述圆弧件通过金属撑体与组装件相连通，所述金属撑体位于圆弧件正下方，所述组装件为圆形片状设计。
[0012]进一步的，所述监测装置包括传送外壳，所述传送外壳内腔活动连接有弓形件，所述弓形件顶部固定连接有放置壳体，所述弓形件左侧和右侧均固定连接有强力弹簧，强力弹簧起到缓冲的作用，避免接触力过大而影响质量，辅助板件往靠近螺杆的方向位移，辅助板件自身的槽体套接至螺杆外侧，所述弓形件右侧活动连接有T型腔座，所述弓形件左侧活动连接有辅助板件，所述T型腔座远离弓形件的一侧活动连接有摆动体，所述摆动体内腔活动连接有挤压件，所述挤压件后端固定连接横推杆，所述挤压件具有主轴和卡条，摆动体逐渐插接至挤压件内部，挤压件对横推杆进行挤压，横推杆发生一定的摆动，横推杆与挤压件主轴相连通，横推杆影响挤压件发生扭转，挤压件扭转而插接至T型腔座处的锁孔内，所述强力弹簧数量共有两个，且强力弹簧以弓形件的中心轴线而均匀对称，所述辅助板件内部开设有与螺杆相对应的槽体，所述横推杆和摆动体以及挤压件均位于处理座内部，所述辅助板件的长度规格尺寸比T型腔座的长度规格长，所述摆动体数量共有四个，且摆动体为金属不锈钢材质。
[0013]一种基于芯片良率监测用调节方法，包括以下步骤：
[0014]第一步：使用时，首先检查本专利技术的安装固定以及安全防护，启动伺服电机，螺杆中的一端与电机的一端固定连接，螺杆通电发生一定的旋转，监测装置内部含有传送带，监测装置中的放置壳体内部放置芯片，将抽拉箱体推动至基座内部，监测装置内部传送带运输作用使其上方的放置壳体由后往前运输，放置壳体沿着传送外壳的内腔滑动，从而使设备具有自动调节的基础，以及奠定自动检测的良好条件，为后续的调节处理奠定基础。
[0015]第二步：当需要对芯片传输的数据进行操作处理时，由于放置壳体被传动带作用而位移，放置壳体带动弓形件同步位移，弓形件移动至T型腔座的位置时，强力弹簧与T型腔座和横推杆相接触，T型腔座被作用而往外侧推动，T型腔座推动摆动体往远离传送外壳的方向位移，摆动体逐渐插接至挤压件内部，挤压件对横推杆进行挤压，横推杆发生一定的摆动，横推杆与挤压件主轴相连通，横推杆影响挤压件发生扭转，挤压件扭转而插接至T型腔座处的锁孔内，挤压件与T型腔座接触，T型腔座内部含有处理件，T型腔座与挤压件相接触从传送的数据信息被收集，并且数据信息指令被传输至处理座内部，通过处理座内部的中央处理器而将数据信号反馈至显示屏上，进而通过显示屏将传输的数据进行监测，从而达到自动实时监测的效果和作用。
[0016]第三步：当需要对芯片工件进行收集时，螺杆通电逆时针旋转，螺杆与套接筒内部的旋转纹理相互匹配，且螺杆与套接筒之间设置有相对应的套接筒，螺杆通电旋转与套接筒相互作用，并且螺杆对限定导向进行挤压，限定导向逐渐被扭转作用而往上运动，限定导向起到导向的辅助作用，通时安置板可以根据旋转至放置壳体上方，以便于调节件对放置
壳体内部的芯片工件进行吸收，调节件上设置有吸盘，调节件将芯片工件而吸收至芯片方盘处，完成芯片的各方位调节，从而使设备具有自动便捷调整的作用，促进工作的加工效率。
[0017]第四步：当需要对螺杆的偏转位移尺寸进行限定防护的时候，弓形件位移的时候，弓形件与辅助板件相接触，辅助板件被弓形件位移力挤压而运动，强力弹簧起到缓冲的作用，避免接触力过大而影响质量，辅助板件往靠近螺杆的方向位移，辅助板件自身的槽体套接至螺杆外侧，辅助板件形成一定程度上的运动范围限定，避免因为调节螺杆处理时晃动过大而出现脱落等情况，起到自动防护的效果，实现稳定安全的加工环境。
[0018]第五步：当需要对监测装置传输时可能遗漏的芯片进行收集处理时，芯片工件从放置壳体处遗漏掉入至传送外壳内侧，传送外壳左本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于芯片良率监测用调节装置，具体包括，基座(1)，所述基座(1)左侧活动连接有抽拉箱体(2)，所述基座(1)顶部右侧固定连接有处理座(3)，所述基座(1)顶部中间活动连接有收纳箱座(5)；收纳箱座(5)，该收纳箱座(5)具有预警芯片，以及设置在收纳箱座(5)顶部活动连接的监测装置(4)，所述抽拉箱体(2)内部活动连接有金属撑架(6)，所述金属撑架(6)顶部左侧固定连接有调节装置(7)，所述调节装置(7)顶部左侧固定安装有调节件(8),所述调节件(8)底部固定连接有芯片方盘(9)，所述芯片方盘(9)具有收集垫，其特征在于：所述调节装置(7)包括：下位清理装置(71)，所述清理装置(71)轴心处固定连接有螺杆(72)，该螺杆(72)具有垫层件，以及设置在所述螺杆(72)外表面固定安装的套接筒(73)，所述套接筒(73)与螺杆(72)之间活动连接有限定导向(74)，所述螺杆(72)顶端固定连接有安置板(75)。2.根据权利要求1所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述抽拉箱体(2)贯穿基座(1)并延伸至螺杆(72)处，所述螺杆(72)通过安置板(75)与调节件(8)相连通，所述芯片方盘(9)上设置有均匀分布的收集垫，所述监测装置(4)内部设置有传送带。3.根据权利要求1所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述螺杆(72)的直径比套接筒(73)的直径小，所述安置板(75)右下角固定连接有调节件(8)，所述套接筒(73)与套接筒(73)之间的槽体相对应。4.根据权利要求1所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述清理装置(71)还包括作用盘(710)，所述作用盘(710)顶部活动连接有斜板(711)，所述斜板(711)背面固定连接有贴合板(712)，所述贴合板(712)背面固定连接有圆弧件(713)，所述圆弧件(713)底部中间固定连接有金属撑体(714)，所述金属撑体(714)底端固定连接有组装件(715)，所述组装件(715)外表面活动连接有爪子(716)。5.根据权利要求4所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述爪子(716)以金属撑体(714)的中心轴线为参考而均匀分布，所述爪子(716)为棉绒材质，所述组装件(715)与金属撑体(714)之间的夹角为九十度设计。6.根据权利要求4所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述圆弧件(713)通过金属撑体(714)与组装件(715)相连通，所述金属撑体(714)位于圆弧件(713)正下方，所述组装件(715)为圆形片状设计。7.根据权利要求1所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述监测装置(4)包括传送外壳(41)，所述传送外壳(41)内腔活动连接有弓形件(43)，所述弓形件(43)顶部固定连接有放置壳体(42)，所述弓形件(43)左侧和右侧均固定连接有强力弹簧(44)，所述弓形件(43)右侧活动连接有T型腔座(45)，所述弓形件(43)左侧活动连接有辅助板件(49)，所述T型腔座(45)远离弓形件(43)的一侧活动连接有摆动体(46)，所述摆动体(46)内腔活动连接有挤压件(47)，所述挤压件(47)后端固定连接横推杆(48)。8.根据权利要求7所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述挤压件(47)具有主轴和卡条，所述强力弹簧(44)数量共有两个，且强力弹簧(44)以弓形件(43)的中心轴线而均匀对称，所述辅助板件(49)内部开设有与螺杆(72)相对应的槽体。9.根据权利要求7所述的一种基于芯片良率监测用调节装置，其特征在于：所述横推杆(48)和摆动体(46)以及挤压件(47)均位于处理座(3)内部，所述辅助板件(49)的长度规格
尺寸比T型腔座(45)的长度规格长，所述摆动体(46)数量共有四个，且摆动体(46)为金属不锈钢材质。10.一种基于芯片良率监测用调节方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步：使用时，首先检查本发明的安装固定以及安全防护，启动伺服电机，螺杆(72)中的一端与电机的一端固定连接，螺杆(72)通电发生一定的旋转，监测装置(4)内部含有传送带，监测装置(4)中的放置壳体(42)内部放置芯片，将抽拉箱体(2)推动至基座(1)内部，监测装置(4)内部传送带运输作用使其上方的放置壳体(42)由后往前运输，放...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘曹峰，韩勋，
申请(专利权)人：江苏振宁半导体研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：