一种真空腔体组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体组件，包括：真空箱和循环降温机构，真空箱的内部安装有真空内胆，真空箱的内部除去真空内胆的空间为降温腔；循环降温机构包括连接管、导风盘、回风板和导风管，导风管安装在真空内胆的外壁上且导风管的另一端与真空箱内壁固定连接，真空箱的内部开设有回风腔且回风腔与导风管连通。本实用新型专利技术在真空箱的内部设置乐乐循环降温机构，带动真空箱内部空气进行循环流通，并在流通的过程中将真空腔内的热量从导热板表面导出，并在真空箱内循环流通，减少外部空气灰尘进入造成的一系列问题，同时还能够通过降温架来对循环流通的空气进行降温，使其能够达到更好的降温效果，避免外部空气对散热造成的影响。响。响。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体组件


[0001]本技术涉及真空腔体
，更具体为一种真空腔体组件。

技术介绍

[0002]真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。
[0003]目前，现有的真空腔腔体组件，在使用时散热效果相对较差，在长时间的使用过程中容易导致内部温度过高，散热方式大多是将外部空气导入进行降温，外部空气温度会随着气温发生变化，外部温度升高后会对降温效果造成很大影响，且不便于对热量进行收集，造成了热能浪费。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空腔体组件，解决了现有的真空腔腔体组件，在使用时散热效果相对较差，在长时间的使用过程中容易导致内部温度过高，散热方式大多是将外部空气导入进行降温，外部空气温度会随着气温发生变化，外部温度升高后会对降温效果造成很大影响，且不便于对热量进行收集，造成了热能浪费的问题，满足实际使用需本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体组件，包括：真空箱（1）和循环降温机构，其特征在于：所述真空箱（1）的内部安装有真空内胆（7），真空箱（1）的内部除去真空内胆（7）的空间为降温腔；所述循环降温机构包括连接管（12）、导风盘（3）、回风板（2）和导风管（9），所述导风管（9）安装在真空内胆（7）的外壁上且导风管（9）的另一端与真空箱（1）内壁固定连接，所述真空箱（1）的内部开设有回风腔（10）且回风腔（10）与导风管（9）连通，所述连接管（12）安装在真空内胆（7）的背面中部且连接管（12）的另一端与真空箱（1）的内壁连接，所述导风盘（3）安装在真空箱（1）的背部，所述回风板（2）安装在导风盘（3）的外壁上且呈十字型分布，回风板（2）的端部与回风腔（10）相连通。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体组件，其特征在于：所述真空内胆（7）的内部 设置有真空腔（5）和导热腔（6...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨茂，易卓卓，
申请(专利权)人：无锡鑫运达真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：