一种真空腔体的冷却结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体的冷却结构，涉及真空腔体技术领域，包括真空腔体本体，真空腔体本体的外侧固定连接有导热铜片，导热铜片的上侧固定连接有冷却液箱，冷却液箱的一侧开设有安装槽，冷却液箱位于安装槽的内部固定连接有水泵，改善了大部分真空腔体缺少一定的冷却散热装置，导致真空腔体在长时间使用下来容易因过热和高温而出现损坏的问题，本装置中导热铜片可真空腔体本体进行导热，冷却液箱内部的冷却液可被水泵抽取移动至水管的内部，并带走导热铜片的热量，之后冷却液会被散热鳍片进行吸热降温，最后冷却液会移动至冷却液箱内，从而再次对导热铜片进行降温，如此循环往复便可实现对真空腔体本体进行冷却的效果。复便可实现对真空腔体本体进行冷却的效果。复便可实现对真空腔体本体进行冷却的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体的冷却结构


[0001]本技术涉及真空腔体
，更具体地说，涉及一种真空腔体的冷却结构。

技术介绍

[0002]真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变，这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。
[0003]在现有技术中，真空腔体常用于科研院所，高端电子，航空技术，芯片，新能源和材料等场景，而真空腔体在使用时则会产生热量，但大部分真空腔体缺少一定的冷却散热装置，导致真空腔体在长时间使用下来容易因过热和高温而出现损坏，从而降低真空腔体的使用寿命。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种真空腔体的冷却结构，它可有效的解决大部分真空腔体缺少一定的冷却散热装置，导致真空腔体在长时间使用下来容易因过热和高温而出现损坏，从而降低真空腔体的使用寿命的问题。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0006]一种真空腔体的冷却结构，包括真空腔体本体，所述真空腔体本体的外侧固定连接有导热铜片，所述导热铜片的上侧固定连接有冷却液箱，所述冷却液箱的一侧开设有安装槽，所述冷却液箱位于安装槽的内部固定连接有水泵，所述水泵的一侧固定连接有水管，且所述水管贯穿冷却液箱，所述水管的外侧设置有散热鳍片，且所述散热鳍片与真空腔体本体之间固定连接，所述散热鳍片设置有多个，所述散热鳍片的一侧设置有散热风扇，所述散热风扇的上侧设置有可拆卸组件。
[0007]作为本技术的一种优选方案，所述可拆卸组件包括固定连接在散热风扇上侧的第二空心块，所述第二空心块的内部螺纹连接有螺栓，所述散热鳍片的上侧固定连接有第一空心块，且所述螺栓螺纹连接在第一空心块的内部。
[0008]作为本技术的一种优选方案，所述水管的外侧设置有n形限位杆，且所述n形限位杆与真空腔体本体之间固定连接。
[0009]作为本技术的一种优选方案，所述真空腔体本体的外侧固定连接有第二加固杆，且所述散热鳍片设置在第二加固杆的外侧。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述水泵的外侧设置有保护壳，且所述保护壳与冷却液箱之间固定连接。
[0011]作为本技术的一种优选方案，所述水泵的一侧固定连接有第一加固杆，且所述第一加固杆与冷却液箱之间固定连接。
[0012]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0013]1.本装置中导热铜片可真空腔体本体所产生的热量进行导热，而冷却液箱内部的
冷却液便可被水泵抽取移动至水管的内部，冷却液在流动时则会带走导热铜片的热量，当冷却液移动至散热鳍片的一侧时，便会被散热鳍片进行吸热降温，而散热鳍片则可被散热风扇进行风冷降温，之后冷却液会最终移动至冷却液箱的内部，从而再次对导热铜片进行降温，并再次被水泵抽取移动至散热鳍片的一侧，如此循环往复便可实现对真空腔体本体进行冷却散热的效果，使得真空腔体本体不易因过热而出现损坏的现象，从而让真空腔体本体的使用寿命更长。
[0014]2.本装置中第二空心块的内部可用于连接螺栓和散热风扇，使得而螺栓则可通过旋转螺纹连接到第一空心块的内部，来达到连接散热鳍片和散热风扇的效果，使得散热风扇能稳定在散热鳍片的一侧，同时螺栓还可通过旋转脱离第一空心块，来达到分离散热鳍片和散热风扇的效果，便于对散热风扇进行拆卸和维修。
[0015]3.本装置中n形限位杆可用于限位加固住水管，使得水管在真空腔体本体的外侧更加稳定，不易出现移动和脱离的现象，且n形限位杆设置有多个，使得n形限位杆对水管的限位加固效果更好，第二加固杆可对多个散热鳍片起到加固效果，使得散热鳍片在真空腔体本体的外侧更加牢固，不易出现断裂和形变的现象，从而使用寿命更长。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术的剖视结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中A处的放大结构示意图；
[0019]图4为本技术实施例中水管的结构示意图。
[0020]图中标号说明：
[0021]1、真空腔体本体；21、导热铜片；22、冷却液箱；23、安装槽；24、水泵；25、水管；26、散热鳍片；27、散热风扇；31、第一空心块；32、第二空心块；33、螺栓；4、n形限位杆；5、第一加固杆；6、保护壳；7、第二加固杆。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例：
[0024]请参阅图1
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4，一种真空腔体的冷却结构，包括真空腔体本体1，真空腔体本体1的外侧固定连接有导热铜片21，导热铜片21的上侧固定连接有冷却液箱22，真空腔体本体1在使用时会发热，而导热铜片21则可对真空腔体本体1进行导热，从而对真空腔体本体1进行冷却散热，冷却液箱22以及水管25的内部可用于放置冷却液，这使得冷却液能对导热之后的导热铜片21进行散热，并通过流动带走导热铜片21的热量，从而让导热铜片21能持续对真空腔体本体1进行冷却导热。
[0025]此外，冷却液箱22的一侧开设有安装槽23，冷却液箱22位于安装槽23的内部固定连接有水泵24，水泵24的一侧固定连接有水管25，且水管25贯穿冷却液箱22，通过开设的安
装槽23，可用于安装水泵24，而水泵24则可对冷却液箱22内部的冷却液进行抽取，从而让冷却液能进行流到，并带走导热铜片21的热量，水管25的内部可用于流动冷却液，使得水泵24能把冷却液通过水管25进行输送，待输送一周之后便可再次流到冷却液箱22的内部，进而再次对导热铜片21进行冷却。
[0026]另外，水管25的外侧设置有散热鳍片26，且散热鳍片26与真空腔体本体1之间固定连接，散热鳍片26设置有多个，散热鳍片26的一侧设置有散热风扇27，散热鳍片26设置有多个，且散热鳍片26设置在水管25的外侧，便可对水管25内部的冷却液进行吸热，从而达到对冷却液进行降温的效果，这使得冷却液在通过水管25流动一周之后，便能再次对导热铜片21进行冷却，如此循环往复，便能达到对真空腔体本体1进行冷却的效果，而散热风扇27则可对吸热之后的散热鳍片26进行散热，使得散热鳍片26能持续对冷却液进行吸热，散热风扇27的上侧设置有可拆卸组件。
[0027]具体的，可拆卸组件包括固定连接在散热风扇27上侧的第二空心块32，第二空心块32的内部螺纹连接有螺栓33，散热鳍片26的上侧固定连接有第一空心块31，且螺栓33螺纹连接在第一空心块31的内部，第二空心块32的内部可用于连接螺栓33和散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体的冷却结构，包括真空腔体本体（1），其特征在于：所述真空腔体本体（1）的外侧固定连接有导热铜片（21），所述导热铜片（21）的上侧固定连接有冷却液箱（22），所述冷却液箱（22）的一侧开设有安装槽（23），所述冷却液箱（22）位于安装槽（23）的内部固定连接有水泵（24），所述水泵（24）的一侧固定连接有水管（25），且所述水管（25）贯穿冷却液箱（22），所述水管（25）的外侧设置有散热鳍片（26），且所述散热鳍片（26）与真空腔体本体（1）之间固定连接，所述散热鳍片（26）设置有多个，所述散热鳍片（26）的一侧设置有散热风扇（27），所述散热风扇（27）的上侧设置有可拆卸组件。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体的冷却结构，其特征在于：所述可拆卸组件包括固定连接在散热风扇（27）上侧的第二空心块（32），所述第二空心块（32）的内部螺纹连接有螺栓（...

【专利技术属性】
技术研发人员：易卓卓，杨茂，
申请(专利权)人：无锡鑫运达真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：