本发明专利技术涉及真空腔体技术领域，公开了一种真空腔体隔离装置，包括真空腔体、滤板、挡板和真空泵，所述真空腔体的两端开设有通口，所述真空腔体的顶部外端开设分布有孔槽一和孔槽二，所述滤板滑动连接于孔槽一，所述挡板滑动连接于孔槽二，所述挡板设于滤板的内侧端，所述真空泵安装于真空腔体的顶部中间端，所述真空泵的前端一侧连接有抽气管，所述真空泵的前端另一侧连接有排气管，所述真空腔体的底部和前后端均固定安装有加热板，便于自动化控制挡板升降调节密封隔离，使得真空腔体内部中间形成密闭空间，结合真空腔体顶部中间端安装的真空泵可高效的抽吸形成真空，可先行自动化控制关闭过滤净化杂质，避免污染真空腔体，提高了加工的质量。加工的质量。加工的质量。
【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体隔离装置
[0001]本专利技术涉及真空腔体
，具体为一种真空腔体隔离装置。
技术介绍
[0002]真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在
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270—900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用广泛。真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变，这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。目前，现有的真空腔体不便快速自动化的密封隔离形成密闭空间，真空腔体内部无法结合真空泵抽吸降低气压，难以高效加热物料真空操作，加工时会有杂质穿过真空腔体造成污染，加工的质量低。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种真空腔体隔离装置，解决了真空腔体不便快速自动化的密封隔离形成密闭空间，真空腔体内部无法结合真空泵抽吸降低气压，难以高效加热物料真空操作，加工时会有杂质穿过真空腔体造成污染，加工质量低的技术问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种真空腔体隔离装置，包括真空腔体、滤板、挡板和真空泵，所述真空腔体的两端开设有通口，所述真空腔体的顶部外端开设分布有孔槽一和孔槽二，所述滤板滑动连接于孔槽一，所述挡板滑动连接于孔槽二，所述挡板设于滤板的内侧端，所述真空泵安装于真空腔体的顶部中间端，所述真空泵的前端一侧连接有抽气管，所述抽气管贯穿连接于真空腔体的顶部中间，所述真空泵的前端另一侧连接有排气管，所述真空腔体的底部和前后端均固定安装有加热板，所述加热板的顶部电性连接有加热控制装置。
[0007]优选的，所述孔槽一的内侧端粘接有橡胶垫一，所述滤板的底部粘接有硅胶垫，所述滤板的内部固定设有滤网，所述滤板的顶部焊接有盖板一，所述盖板一的长度和宽度大于孔槽一的长度和宽度，使得滤板下降关闭时更加紧固，过滤杂质效果好。
[0008]优选的，所述盖板一的顶部安装有推杆架，所述推杆架的外端底部连接有电动推杆装置，所述电动推杆装置的底部、上端与真空腔体之间焊接分布有垫块和固定块，稳定控制升降调节盖板一。
[0009]优选的，所述孔槽二的底部一周粘接有橡胶垫二，所述挡板的底部粘接有硅胶垫，所述挡板的顶部焊接有盖板二，使得挡板下降关闭时更加密封，避免漏气。
[0010]优选的，所述盖板二的顶部安装有丝杠，所述丝杠的顶部焊接有限位板，安全限
位，避免滑出，所述丝杠的外端通过螺纹连接有内筒，所述内筒的上端焊接有从动齿盘，所述内筒的外端固定设有轴承，所述轴承的两侧焊接有定位块，所述定位块的底部焊接有支撑柱，稳定支撑轴承，所述支撑柱安装于真空腔体的顶部，自动化控制内筒转动使得丝杠通过螺纹的作用升降运动。
[0011]优选的，所述从动齿盘的内侧端啮合连接有主动齿盘，所述主动齿盘的底部安装有驱动轴，所述驱动轴的底部连接有驱动电机，所述驱动电机的底部焊接有底板，所述底板的底部焊接分布有支杆，所述支杆的底部焊接有安装板，所述安装板通过螺栓连接于真空腔体的顶部，稳定支撑驱动电机整体，自动化控制主动齿盘啮合从动齿盘转动，安全可靠。
[0012]优选的，所述真空腔体的前端设有控制面板，所述控制面板电性连接于电动推杆装置、驱动电机、真空泵和加热控制装置，方便智能化启停操控电动推杆装置、驱动电机、真空泵和加热控制装置，所述真空腔体的底部拐角端固定设有底座，稳定支撑真空腔体整体。
[0013]优选的，所述真空泵的前端连接有油箱，所述油箱的顶部连接有气压表，便于直接添加油液启动真空泵，实时监测真空腔体内部气压。
[0014](三)有益效果
[0015]该真空腔体隔离装置，通过在真空腔体两端滑动连接的挡板，便于自动化控制挡板升降调节密封隔离，使得真空腔体内部中间形成密闭空间，结合真空腔体顶部中间端安装的真空泵，可高效的抽吸形成真空，通过在真空腔体的底部和前后端固定安装的加热板，便于高效的全方位加热真空腔体，加工效率高，通过在真空腔体外端滑动连接的滤板，便于先行自动化控制关闭过滤净化杂质，避免污染真空腔体，提高了加工的质量。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本专利技术的真空腔体孔槽结构示意图；
[0018]图3为本专利技术的左上端局部结构示意图；
[0019]图4为本专利技术的左下端局部结构示意图；
[0020]图5为本专利技术的挡板整体结构示意图；
[0021]图6为本专利技术的挡板正视结构示意图；
[0022]图7为本专利技术的真空泵结构示意图；
[0023]图8为本专利技术的加热板结构示意图。
[0024]图中，真空腔体1、通口11、控制面板12、底座13、滤板2、孔槽一21、橡胶垫一22、盖板一23、电动推杆装置24、推杆架241、垫块242、固定块243、硅胶垫25、滤网26、挡板3、孔槽二31、橡胶垫二32、盖板二33、丝杠34、限位板341、轴承35、内筒351、从动齿盘352、主动齿盘36、驱动电机37、底板371、支杆372、安装板373、驱动轴374、支撑柱38、定位块381、真空泵4、油箱41、气压表42、抽气管43、排气管44、加热板5、加热控制装置51。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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图8，本专利技术实施例提供一种技术方案：一种真空腔体隔离装置，包括真空腔体1、滤板2、挡板3和真空泵4，真空腔体1的两端开设有通口11，真空腔体1的顶部外端开设分布有孔槽一21和孔槽二31，滤板2滑动连接于孔槽一21，挡板3滑动连接于孔槽二31，挡板3设于滤板2的内侧端，真空泵4安装于真空腔体1的顶部中间端，真空泵4的前端一侧连接有抽气管43，抽气管43贯穿连接于真空腔体1的顶部中间，真空泵4的前端另一侧连接有排气管44，真空腔体1的底部和前后端均固定安装有加热板5，加热板5的顶部电性连接有加热控制装置51，方便直接控制加热板5全方位加热真空腔体1的底部和前后端。
[0027]进一步改进地，孔槽一21的内侧端粘接有橡胶垫一22，滤板2的底部粘接有硅胶垫25，硅胶垫25与橡胶垫一22之间接触使得滤板2下降关闭时更加紧固，滤板2的内部固定设有滤网26，过滤杂质效果好，滤板2的顶部焊接有盖板一23，盖板一23的长度和宽度大于孔槽一21的长度和宽度，限位遮盖于真空腔体1的顶部左端。
[0028]进一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空腔体隔离装置，包括真空腔体(1)、滤板(2)、挡板(3)和真空泵(4)，其特征在于：所述真空腔体(1)的两端开设有通口(11)，所述真空腔体(1)的顶部外端开设分布有孔槽一(21)和孔槽二(31)，所述滤板(2)滑动连接于孔槽一(21)，所述挡板(3)滑动连接于孔槽二(31)，所述挡板(3)设于滤板(2)的内侧端，所述真空泵(4)安装于真空腔体(1)的顶部中间端，所述真空泵(4)的前端一侧连接有抽气管(43)，所述抽气管(43)贯穿连接于真空腔体(1)的顶部中间，所述真空泵(4)的前端另一侧连接有排气管(44)，所述真空腔体(1)的底部和前后端均固定安装有加热板(5)，所述加热板(5)的顶部电性连接有加热控制装置(51)。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体隔离装置，其特征在于：所述孔槽一(21)的内侧端粘接有橡胶垫一(22)，所述滤板(2)的底部粘接有硅胶垫(25)，所述滤板(2)的内部固定设有滤网(26)，所述滤板(2)的顶部焊接有盖板一(23)，所述盖板一(23)的长度和宽度大于孔槽一(21)的长度和宽度。3.根据权利要求2所述的一种真空腔体隔离装置，其特征在于：所述盖板一(23)的顶部安装有推杆架(241)，所述推杆架(241)的外端底部连接有电动推杆装置(24)，所述电动推杆装置(24)的底部、上端与真空腔体(1)之间焊接分布有垫块(242)和固定块(243)。4.根据权利要求1所述的一种真空腔体隔离装置，其特征在于：所述孔槽二(31)的底部一周粘接有橡胶垫二(32)，所述挡板(3)的底...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨茂，易卓卓，
申请(专利权)人：无锡鑫运达真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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