一种真空腔体密封用门阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体密封用门阀，涉及真空腔体技术领域，包括真空腔体本体，真空腔体本体的外侧固定连接有连接块，连接块的上侧通过合页活动铰接有门盖板，门盖板的外侧固定连接有第二空心块，第二空心块的内部螺纹连接有螺纹杆，改善了真空腔体在使用时需要进行高温烘烤，这会导致密封圈容易因高温而出现形变，且密封圈均与真空腔体之间固定连接，导致密封圈在形变之后难以进行更换的问题，本装置中人们可拉动连接杆带动卡块移出卡槽的内部，此时滑块便不会被卡块限位住，从而能从第一放置槽的内部滑出，这时人们便可对连接环和密封圈进行拆卸和更换，更加方便进行更换，适用于密封圈因高温而出现形变损坏的情况下

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体密封用门阀


[0001]本技术涉及真空腔体
，更具体地说，涉及一种真空腔体密封用门阀
。

技术介绍

[0002]真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变，这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空
。
产品的特点有改善的机台定位的静态
、
动态响应，抽气时间
、
稳定时间缩短等等
。
[0003]在现有技术中，真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源
。
为实现超高真空，要对腔体进行
150—250℃
的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出，真空腔体在使用时，需要盖上门板，并通过密封圈来进行密封，从而保证真空腔体的真空，但由于真空腔体在使用时需要进行高温烘烤，这会导致密封圈容易因高温而出现形变和密封差，且大部分密封圈均与真空腔体之间固定连接，导致密封圈在形变之后难以进行更换
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种真空腔体密封用门阀，它可有效的解决真空腔体在使用时需要进行高温烘烤，这会导致密封圈容易因高温而出现形变和密封差，且大部分密封圈均与真空腔体之间固定连接，导致密封圈在形变之后难以进行更换的问题
。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0006]一种真空腔体密封用门阀，包括真空腔体本体，所述真空腔体本体的外侧固定连接有连接块，所述连接块的上侧通过合页活动铰接有门盖板，所述门盖板的外侧固定连接有第二空心块，所述第二空心块的内部螺纹连接有螺纹杆，所述真空腔体本体的外侧固定连接有第一空心块，且所述螺纹杆螺纹连接在第一空心块的内部，所述真空腔体本体的上侧设置有连接环，所述连接环的上侧固定连接有密封圈，所述连接环的下侧设置有卡接机构；
[0007]所述卡接机构包括固定连接在连接环下侧的滑块，所述真空腔体本体的上侧开设有第一放置槽，且所述滑块滑动连接在第一放置槽的内部，所述滑块的一侧开设有卡槽，所述滑块位于卡槽的内部设置有卡块，所述真空腔体本体的内部开设有第二放置槽，且所述第二放置槽与第一放置槽相连通，且所述卡块滑动连接在第二放置槽的内部，所述真空腔体本体位于第二放置槽的内部固定连接有第一弹簧，且所述第一弹簧与卡块之间固定连接，所述卡块的一侧设置有解卡组件
。
[0008]作为本技术的一种优选方案，所述解卡组件包括固定连接在卡块一侧的连接杆，所述真空腔体本体的外侧开设有第一空心槽，且所述第一空心槽与第二放置槽相连通，所述连接杆滑动连接在第一空心槽的内部
。
[0009]作为本技术的一种优选方案，所述真空腔体本体的内部开设有限位槽，且所
述限位槽与第二放置槽相连通，所述卡块的上侧固定连接有限位环，且所述限位环滑动连接在限位槽的内部
。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述真空腔体本体的内部开设有第二空心槽，且所述第二空心槽与第一放置槽相连通，所述真空腔体本体位于第二空心槽的内部固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的上侧设置有挤压板，且所述挤压板与滑块之间固定连接
。
[0011]作为本技术的一种优选方案，所述连接环的外侧固定连接有导向杆，所述真空腔体本体的外侧固定连接有第三空心块，且所述导向杆滑动连接在第三空心块的内部
。
[0012]作为本技术的一种优选方案，所述连接杆的一侧固定连接有固定块，且所述固定块的直径大于连接杆的直径
。
[0013]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0014]1.
本装置中人们可拉动连接杆带动卡块移出卡槽的内部，此时滑块便不会被卡块限位住，从而能从第一放置槽的内部滑出，这时人们便可对连接环和密封圈进行拆卸和更换，更加方便进行更换，适用于密封圈因高温而出现形变损坏的情况下
。
[0015]2.
本装置中第二空心槽的内部可用于放置第二弹簧，而挤压板则可被滑块带动进行移动，并挤压第二弹簧进行收缩，当人们拉动连接杆让卡块脱离滑块的时候，第二弹簧便能自动把滑块向上弹起，不需人们一直拉着连接杆，也能对连接环进行拆卸，更加方便简单
。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中
A
处的放大结构示意图；
[0018]图3为本技术的第一剖视结构示意图；
[0019]图4为本技术的第二剖视结构示意图；
[0020]图5为本技术图4中
B
处的放大结构示意图
。
[0021]图中标号说明：
[0022]1、
真空腔体本体；
21、
连接块；
22、
门盖板；
23、
连接环；
24、
密封圈；
25、
第一空心块；
26、
第二空心块；
27、
螺纹杆；
31、
第一放置槽；
32、
滑块；
33、
卡槽；
34、
卡块；
35、
第二放置槽；
36、
第一弹簧；
41、
第一空心槽；
42、
连接杆；
51、
限位槽；
52、
限位环；
61、
第二空心槽；
62、
第二弹簧；
63、
挤压板；
71、
第三空心块；
72、
导向杆；
8、
固定块
。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述
。
显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0024]实施例：
[0025]请参阅图1‑5，一种真空腔体密封用门阀，包括真空腔体本体1，真空腔体本体1的外侧固定连接有连接块
21
，连接块
21
的上侧通过合页活动铰接有门盖板
22
，连接块
21
可用于连接连接块
21
和门盖板
22
，使得门盖板
22
能在真空腔体本体1的上侧进行旋转，同时还可
使得连接块
21
和门盖板
22
之间能够顺利的放置连接环
23
和密封圈
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种真空腔体密封用门阀，包括真空腔体本体（1），其特征在于：所述真空腔体本体（1）的外侧固定连接有连接块（
21
），所述连接块（
21
）的上侧通过合页活动铰接有门盖板（
22
），所述门盖板（
22
）的外侧固定连接有第二空心块（
26
），所述第二空心块（
26
）的内部螺纹连接有螺纹杆（
27
），所述真空腔体本体（1）的外侧固定连接有第一空心块（
25
），且所述螺纹杆（
27
）螺纹连接在第一空心块（
25
）的内部，所述真空腔体本体（1）的上侧设置有连接环（
23
），所述连接环（
23
）的上侧固定连接有密封圈（
24
），所述连接环（
23
）的下侧设置有卡接机构；所述卡接机构包括固定连接在连接环（
23
）下侧的滑块（
32
），所述真空腔体本体（1）的上侧开设有第一放置槽（
31
），且所述滑块（
32
）滑动连接在第一放置槽（
31
）的内部，所述滑块（
32
）的一侧开设有卡槽（
33
），所述滑块（
32
）位于卡槽（
33
）的内部设置有卡块（
34
），所述真空腔体本体（1）的内部开设有第二放置槽（
35
），且所述第二放置槽（
35
）与第一放置槽（
31
）相连通，且所述卡块（
34
）滑动连接在第二放置槽（
35
）的内部，所述真空腔体本体（1）位于第二放置槽（
35
）的内部固定连接有第一弹簧（
36
），且所述第一弹簧（
36
）与卡块（
34
）之间固定连接，所述卡块（
34
）的一侧设置有解卡组件
。2.
根据权利要求1所述的一种真空腔体密封用门阀，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：易卓卓，杨茂，
申请(专利权)人：无锡鑫运达真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：