一种真空腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔体，涉及真空腔体技术领域，包括真空腔体，真空腔体的一侧通过合页活动铰接有门板，真空腔体的外侧固定连接有第一支撑板，第一支撑板的上侧固定连接有真空泵，真空腔体的内部固定连接有加热板，真空腔体的一侧设置有导热机构，改善了当对产品加热完并取出之后，真空腔体内部的热量会慢慢散发出去，直至温度较低，而这些热量则会被浪费掉，不能有效的进行回收利用的问题，本装置中真空腔体内部的热量可通过散热孔散热出来，而空心块则可对热量进行吸收，同时导热管便会把空心块所吸收的热量传导到储水箱内部的水中，来达到对水进行加热的效果，能有效的回收利用真空腔体内部所产生的热量。回收利用真空腔体内部所产生的热量。回收利用真空腔体内部所产生的热量。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体


[0001]本技术涉及真空腔体
，更具体地说，涉及一种真空腔体。

技术介绍

[0002]真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变。真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在
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270—900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用广泛。
[0003]在现有技术中，当使用真空腔体对产品进行进行加工时，需要保证腔体内为真空，且还会根据产品的加工工艺，来选择对产品进行高温加热，但当对产品加热完并取出之后，真空腔体内部的热量会慢慢散发出去，直至温度较低，而这些热量则会被浪费掉，不能有效的进行回收利用。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种真空腔体，它可有效的解决当对产品加热完并取出之后，真空腔体内部的热量会慢慢散发出去，直至温度较低，而这些热量则会被浪费掉，不能有效的进行回收利用的问题。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0006]一种真空腔体，包括真空腔体，所述真空腔体的一侧通过合页活动铰接有门板，所述真空腔体的外侧固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上侧固定连接有真空泵，所述真空腔体的内部固定连接有加热板，所述真空腔体的一侧设置有导热机构；
[0007]所述导热机构包括固定连接在真空腔体一侧的空心块，所述真空腔体的一侧开设有散热孔，且所述散热孔设置有多个，所述空心块的一侧固定连接有导热管，且所述导热管设置有多个，所述真空腔体的一侧固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板的上侧设置有储水箱，且所述导热管位于储水箱的内部，所述真空腔体的一侧固定连接有气缸，所述气缸的下侧固定连接有挡板，所述空心块的上侧开设有滑槽，且所述挡板滑动连接在滑槽的内部。
[0008]作为本技术的一种优选方案，所述气缸的一侧固定连接有加固杆，且所述加固杆与真空腔体之间固定连接。
[0009]作为本技术的一种优选方案，所述挡板的上侧固定连接有连接杆，且所述连接杆与气缸之间固定连接。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述储水箱的内部固定连接有保护板，且所述保护板位于导热管的一侧。
[0011]作为本技术的一种优选方案，所述储水箱的一侧开设有螺纹槽，所述储水箱位于螺纹槽的内部螺纹连接有螺纹堵块。
[0012]作为本技术的一种优选方案，所述储水箱的内部固定连接有引流板，所述引流板的形状呈三角形。
[0013]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0014]1.本装置中真空腔体内部的热量可通过散热孔散热出来，而空心块则可对热量进行吸收，同时导热管便会把空心块所吸收的热量传导到储水箱内部的水中，来达到对水进行加热的效果，能有效的回收利用真空腔体内部所产生的热量，不易造成资源的浪费。
[0015]2.本装置中储水箱内部的水可通过螺纹槽顺利的排出来，便于人们对加热后的水进行使用，且螺纹槽的内部还可用于螺纹连接螺纹堵块，使得螺纹堵块能稳定在螺纹槽的内部，从而达到堵住螺纹槽的效果，之后也只需旋转螺纹堵块脱离螺纹槽，便可让水顺利的通过螺纹槽排出。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术的剖视结构示意图；
[0018]图3为本技术另一视角的结构示意图；
[0019]图4为本技术的爆炸结构示意图。
[0020]图中标号说明：
[0021]1、真空腔体；21、门板；22、第一支撑板；23、真空泵；24、加热板；31、散热孔；32、空心块；33、导热管；34、第二支撑板；35、储水箱；36、气缸；37、挡板；38、滑槽；4、加固杆；5、连接杆；6、保护板；7、引流板；81、螺纹槽；82、螺纹堵块。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例：
[0024]请参阅图1
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4，一种真空腔体，包括真空腔体1，真空腔体1的一侧通过合页活动铰接有门板21，真空腔体1的内部可用于放置需要进行加工的产品，而门板21则可用于密封住真空腔体1，从而让真空腔体1的内部不易进入空气，真空腔体1的外侧固定连接有第一支撑板22，第一支撑板22的上侧固定连接有真空泵23，真空腔体1的内部固定连接有加热板24，第一支撑板22可用于支撑真空泵23，而真空泵23位于真空腔体1的外侧，可用于连接真空腔体1，并对真空腔体1进行真空处理，让真空腔体1的内部能保持真空，加热板24则可对真空腔体1的内部进行加热从而产生高温，来便于对产品进行加工，真空腔体1的一侧设置有导热机构，导热机构可把真空腔体1内部的热量引导出去，从而达到对热量进行回收利用的效果，不易造成资源的浪费，真空泵23可根据实际情况选择不同型号，例如：FY
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1H，而加热板24也可根据实际情况选择不同型号，例如：GRB
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01。
[0025]导热机构包括固定连接在真空腔体1一侧的空心块32，真空腔体1的一侧开设有散热孔31，且散热孔31设置有多个，空心块32的一侧固定连接有导热管33，且导热管33设置有
多个，通过开设的散热孔31，可使得真空腔体1内部的热量能通过散热孔31散发出来，而空心块32则位于散热孔31的一侧，且空心块32的材质为岩棉板，岩棉板具有吸热的效果，这使得空心块32能对通过散热孔31散发出来的热量进行吸收，且散热孔31设置有多个，热量的散发效果更好，导热管33则具有很好的热传递性能，能把一端的热量迅速传递到另一端，这使得导热管33能对空心块32所吸收的热量进行导热，且多个导热管33可使得热量的传导效果更好。
[0026]此外，真空腔体1的一侧固定连接有第二支撑板34，第二支撑板34的上侧设置有储水箱35，且导热管33位于储水箱35的内部，第二支撑板34可用于支撑储水箱35，使得储水箱35能稳定在导热管33的外侧，而储水箱35的内部则可用于灌入水源，这使得导热管33能位于储水箱35内部的水源中，这可使得导热管33能把空心块32所吸收的热量传导至水中，来达到加热水源的效果，能有效的回收利用真空腔体1内部所产生的热量，不易造成资源的浪费。
[0027]另外，真空腔体1的一侧固定连接有气缸36，气缸36的下侧固定连接有挡板37，空心块32的上侧开设有滑槽38，且挡板37滑动连接在滑槽38的内部，滑槽38的内部可用于放置挡板37，使得挡板37能有空间移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体，包括真空腔体（1），其特征在于：所述真空腔体（1）的一侧通过合页活动铰接有门板（21），所述真空腔体（1）的外侧固定连接有第一支撑板（22），所述第一支撑板（22）的上侧固定连接有真空泵（23），所述真空腔体（1）的内部固定连接有加热板（24），所述真空腔体（1）的一侧设置有导热机构；所述导热机构包括固定连接在真空腔体（1）一侧的空心块（32），所述真空腔体（1）的一侧开设有散热孔（31），且所述散热孔（31）设置有多个，所述空心块（32）的一侧固定连接有导热管（33），且所述导热管（33）设置有多个，所述真空腔体（1）的一侧固定连接有第二支撑板（34），所述第二支撑板（34）的上侧设置有储水箱（35），且所述导热管（33）位于储水箱（35）的内部，所述真空腔体（1）的一侧固定连接有气缸（36），所述气缸（36）的下侧固定连接有挡板（37），所述空心块（32）的上侧开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨茂，易卓卓，
申请(专利权)人：无锡鑫运达真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：