本公开提供了一种发光二极管的处理装置和方法，属于光电子制造技术领域。该处理装置包括：箱体以及均位于箱体内的第一移动机构、第二移动机构、第三移动机构、升降载台和扩膜机构；第一移动机构用于驱动承载发光二极管的白膜、第二移动机构用于驱动蓝膜、第三移动机构用于驱动升降载台在倒膜区域和扩膜区域移动；升降载台用于在白膜和蓝膜均位于倒膜区域时，从蓝膜下方顶升蓝膜，使蓝膜与白膜上的发光二极管远离白膜的表面贴合；还用于在蓝膜和蓝膜上的发光二极管位于扩膜区域时，顶升蓝膜至扩膜机构所在位置进行扩膜。本公开实施例能改善晶圆裂片后倒膜和扩膜周期长，且易使晶粒在蓝膜上歪斜的问题。在蓝膜上歪斜的问题。在蓝膜上歪斜的问题。
【技术实现步骤摘要】
发光二极管的处理装置和方法
[0001]本公开涉及光电子制造
，特别涉及一种发光二极管的处理装置和方法。
技术介绍
[0002]发光二极管(英文：Light Emitting Diode，简称：LED)作为光电子产业中极具影响力的新产品，具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。
[0003]相关技术中，制作好的晶圆通常会通过裂片的方式形成晶粒，裂片后的晶粒附着在白膜上，而白膜的扩展性较差，因此还会在倒膜机上将粘附在白膜上的晶粒转移至蓝膜上，转移至蓝膜的过程为倒膜。在倒膜后，还会在扩膜机上对蓝膜进行拉伸，以将晶粒的间距扩展至一定倍数，该过程为扩膜。
[0004]由于倒膜和扩膜分别在不同的设备上进行，倒膜后附着在蓝膜上晶粒需要人工移动到扩膜机上，过程繁琐，且周期较长。同时，倒膜过程会加热，转移过程中，蓝膜因热胀冷缩而收缩，导致蓝膜上晶粒会出现排列歪斜的问题。
技术实现思路
[0005]本公开实施例提供了一种发光二极管的处理装置和方法，能改善晶圆裂片后倒膜和扩膜周期长，且易使晶粒在蓝膜上歪斜的问题。所述技术方案如下：
[0006]一方面，本公开实施例提供了一种发光二极管的处理装置，所述处理装置包括：箱体以及均位于所述箱体内的第一移动机构、第二移动机构、第三移动机构、升降载台和扩膜机构；所述箱体内具有并排的倒膜区域和扩膜区域；所述第一移动机构、所述第二移动机构和所述第三移动机构沿竖直方向依次分布，且所述第一移动机构位于所述第二移动机构上方，所述第一移动机构用于驱动承载发光二极管的白膜在所述倒膜区域和所述扩膜区域移动，所述第二移动机构用于驱动蓝膜在所述倒膜区域和所述扩膜区域移动，所述第三移动机构用于驱动升降载台在所述倒膜区域和所述扩膜区域移动；所述扩膜机构位于所述扩膜区域；所述升降载台用于在所述白膜和所述蓝膜均位于所述倒膜区域时，从所述蓝膜下方顶升所述蓝膜，使所述蓝膜与所述白膜上的发光二极管远离所述白膜的表面贴合；还用于在所述蓝膜和所述蓝膜上的发光二极管位于所述扩膜区域时，顶升所述蓝膜至所述扩膜机构所在位置进行扩膜。
[0007]可选地，所述第一移动机构和所述第二移动机构均包括：伸缩组件、载具和两个轨道，两个所述轨道平行间隔分布，所述载具搭接在两个所述轨道上，所述伸缩组件用于驱动所述载具沿所述轨道移动。
[0008]可选地，所述伸缩组件包括直线电机和机械臂，所述直线电机与所述机械臂相连，所述直线电机的运动方向与所述轨道的长度方向一致，所述机械臂可操控地与所述载具相连或分离。
[0009]可选地，所述箱体上设有两个第一送料口和两个第二送料口，两个所述第一送料
口位于所述箱体相对的两侧壁上，两个所述第一送料口分别与所述第一移动机构的轨道的两端相对；两个所述第二送料口位于所述箱体相对的两侧壁上，两个所述第二送料口分别与所述第二移动机构的轨道的两端相对。
[0010]可选地，所述第二移动机构的载具为环状结构，所述蓝膜贴合所述环状结构的端面且覆盖所述环状结构的通孔，所述扩膜机构包括扩膜环，所述扩膜环的外径小于所述环状结构的内径。
[0011]可选地，所述升降载台包括伸缩件、承载台和加热件，所述伸缩件的一端与所述承载台连接，所述伸缩件的另一端与所述第三移动机构连接，所述加热件位于所述承载台中。
[0012]可选地，所述加热件包括电热丝，所述承载台的内部具有空腔，所述电热丝位于所述承载台的空腔内。
[0013]可选地，所述升降载台还包括真空盘，所述真空盘位于所述承载台远离所述伸缩件的端面。
[0014]可选地，所述第三移动机构包括驱动电机、滚珠丝杠和滑块，所述驱动电机的输出端与所述滚珠丝杠同轴连接，所述滑块套装在所述滚珠丝杠外，且与所述滚珠丝杠螺纹连接。
[0015]另一方面，本公开实施例还提供了一种发光二极管的处理方法，所述处理方法采用如前文所述的处理装置执行，包括：将承载有发光二极管的白膜安装在所述第一移动机构上；将蓝膜安装在所述第二移动机构上；控制所述第一移动机构驱动所述白膜、控制所述第二移动机构驱动所述蓝膜、控制所述第三移动机构驱动所述升降载台移动至所述倒膜区域；控制所述升降载台顶升所述蓝膜，使所述蓝膜与所述发光二极管远离所述白膜的表面接触，以进行倒膜；控制所述升降载台回收，并控制所述第二移动机构驱动所述蓝膜、控制所述第三移动机构驱动所述升降载台移动至所述扩膜区域；控制所述升降载台顶升所述蓝膜，使所述蓝膜移动至所述扩膜机构所在位置，以进行扩膜。
[0016]本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
[0017]本公开实施例提供的处理装置包括箱体、第一移动机构、第二移动机构、第三移动机构、升降载台和扩膜机构，第一移动机构位于第二移动机构上方。其中，第一移动机构用于驱动白膜在倒膜区域和扩膜区域移动，第二移动机构用于驱动蓝膜在倒膜区域和扩膜区域移动，第三移动机构则用于驱动升降载台在倒膜区域和扩膜区域移动。
[0018]在第一移动机构驱动白膜、第二移动机构驱动蓝膜、第三移动机构驱动升降载台移动至箱体的倒膜区域时，此时升降载台可以顶升蓝膜，使蓝膜与发光二极管远离白膜的表面贴合，从而完成倒膜作业。在第二移动机构驱动蓝膜移动至扩膜区域时，第三移动机构驱动升降载台移动至扩膜区域，且升降载台顶升蓝膜至扩膜机构所在位置，从而进行扩膜作业。
[0019]相比于相关技术中倒膜和扩膜分别通过两个设备单独执行，本公开实施例通过移动机构控制发光二极管移动至箱体中不同区域，并在不同区域通过升降载台和扩膜机构，连续地完成了倒膜和扩膜作业，以大幅简化晶圆裂片后倒膜和扩膜的制程，缩短处理周期。由于倒膜和扩膜作业在同一个设备中完成，倒膜后能第一时间扩膜，避免发光二极管倒膜后，在转移过程中，蓝膜因热胀冷缩而收缩，导致蓝膜上晶粒会出现排列歪斜的问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1是本公开实施例提供的一种发光二极管的处理装置的结构示意图；
[0022]图2是本公开实施例提供的一种环状结构的结构示意图；
[0023]图3是本公开实施例提供的一种发光二极管的处理方法的流程图。
[0024]图中各标记说明如下：
[0025]10、箱体；11、第一送料口；12、第二送料口；
[0026]21、第一移动机构；22、第二移动机构；201、载具；202、轨道；203、直线电机；204、机械臂；
[0027]30、第三移动机构；31、驱动电机；32、滚珠丝杠；
[0028]40、升降载台；41、伸缩件；42、承载台；43、加热件；
[0029]50、扩膜机构；
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种发光二极管的处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：箱体(10)以及均位于所述箱体(10)内的第一移动机构(21)、第二移动机构(22)、第三移动机构(30)、升降载台(40)和扩膜机构(50)；所述箱体(10)内具有并排的倒膜区域和扩膜区域；所述第一移动机构(21)、所述第二移动机构(22)和所述第三移动机构(30)沿竖直方向依次分布，且所述第一移动机构(21)位于所述第二移动机构(22)上方，所述第一移动机构(21)用于驱动承载发光二极管的白膜在所述倒膜区域和所述扩膜区域移动，所述第二移动机构(22)用于驱动蓝膜在所述倒膜区域和所述扩膜区域移动，所述第三移动机构(30)用于驱动升降载台(40)在所述倒膜区域和所述扩膜区域移动；所述扩膜机构(50)位于所述扩膜区域；所述升降载台(40)用于在所述白膜和所述蓝膜均位于所述倒膜区域时，从所述蓝膜下方顶升所述蓝膜，使所述蓝膜与所述白膜上的发光二极管远离所述白膜的表面贴合；还用于在所述蓝膜和所述蓝膜上的发光二极管位于所述扩膜区域时，顶升所述蓝膜至所述扩膜机构(50)所在位置进行扩膜。2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述第一移动机构(21)和所述第二移动机构(22)均包括：伸缩组件、载具(201)和两个轨道(202)，两个所述轨道(202)平行间隔分布，所述载具(201)搭接在两个所述轨道(202)上，所述伸缩组件用于驱动所述载具(201)沿所述轨道(202)移动。3.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于，所述伸缩组件包括直线电机(203)和机械臂(204)，所述直线电机(203)与所述机械臂(204)相连，所述直线电机(203)的运动方向与所述轨道(202)的长度方向一致，所述机械臂(204)可操控地与所述载具(201)相连或分离。4.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于，所述箱体(10)上设有两个第一送料口(11)和两个第二送料口(12)，两个所述第一送料口(11)位于所述箱体(10)相对的两侧壁上，两个所述第一送料口(11)分别与所述第一移动机构(21)的轨道的两端相对；两个所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐波，李俊生，汪如，汤淼，马玮辰，管成龙，汪洋，
申请(专利权)人：华灿光电浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：
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