本申请属于晶圆加工技术领域，公开了一种用于晶圆加工的回料装置，包括底座，底座的顶端一侧固定安装有壳体，壳体的内部设置有转动机构，壳体的顶端设置有放置板，放置板的顶端设置有清洁刷，底座的顶端另一侧固定连接有外壳，外壳的顶部正面设置有擦拭板；外壳的内部设置有旋转擦拭组件，旋转擦拭组件包括螺纹杆、套环、连接环、调节环和旋钮，外壳的顶端对称开设有两个滑槽，滑槽的内部滑动连接有限位杆。在对晶圆表面清洗后，转动旋钮通过旋转擦拭组件内部连接结构之间的相互配合，使擦拭板转动至晶圆的上方，然后对晶圆的表面进行擦拭，无需取出晶圆，从而避免晶圆表面再次吸附灰尘，造成二次污染的情况发生。造成二次污染的情况发生。造成二次污染的情况发生。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工的回料装置
[0001]本申请涉及晶圆加工
，更具体地说，涉及一种用于晶圆加工的回料装置。
技术介绍
[0002]回料也称为再生料，是生产中的废弃料或使用后的陈旧料，经过重新加工后形成的材料，晶圆回料工艺是指将用过的晶圆经过刻蚀、研磨、清洗、抛光等一系列工艺二次加工，去除杂质缺陷，将晶圆表面回复初始状态达到循环再利用的目的，而回料装置主要包括刻蚀装置、清洗装置等。
[0003]晶圆在经过研磨后，需要对其表面进行清洗、擦拭，而现有的一些清洗装置结构简单仅具有清洗功能，清洗后还需要将晶圆取出再擦拭，在取出的过程中，由于晶圆表面附着大量的水珠，很可能会再次吸附灰尘，造成晶圆表面二次污染。
[0004]为了解决上述问题，本申请提供一种用于晶圆加工的回料装置。
技术实现思路
[0005]本申请提供的一种用于晶圆加工的回料装置采用如下的技术方案：
[0006]一种用于晶圆加工的回料装置，包括底座，所述底座的顶端一侧固定安装有壳体，所述壳体的内部设置有转动机构，所述壳体的顶端设置有放置板，所述放置板的顶端设置有清洁刷，所述底座的顶端另一侧固定连接有外壳，所述外壳的顶部正面设置有擦拭板；
[0007]所述外壳的内部设置有旋转擦拭组件，所述旋转擦拭组件包括螺纹杆、套环、连接环、调节环和旋钮，所述外壳的顶端对称开设有两个滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有限位杆。
[0008]进一步的，所述螺纹杆的底端与外壳的底部内壁转动连接，所述螺纹杆的顶端延伸至外壳的顶端，且固定连接在旋钮的底端。
[0009]通过上述技术方案，转动旋钮可以带动螺纹杆同轴转动，用于驱动旋转擦拭组件。
[0010]进一步的，所述调节环的底端与限位杆的顶端固定连接，所述连接环的顶端对称开设有插槽，所述限位杆的底端滑动穿插连接在插槽的内部。
[0011]通过上述技术方案，当连接环移动至外壳顶部时，两侧的限位杆可以插入到连接环的两侧，将连接环固定，然后转动调节环，可以带动连接环转动。
[0012]进一步的，所述连接环的内壁与套环的外壁转动连接，所述套环套设在螺纹杆的顶部。
[0013]通过上述技术方案，套环的内部开设有与螺纹杆相适配的螺纹孔，因此套环会随着螺纹杆的转动而沿着外壁上下移动。
[0014]进一步的，所述连接环的一侧固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆的底端与清洁刷的顶端固定连接，所述外壳的一侧开设有T型槽口，所述第一连接杆的一端臂杆滑动连接在T型槽口的内部。
[0015]通过上述技术方案，清洁刷通过第一连接杆与连接环相连接，当连接环转动时，可
以带动清洁刷同步转动。
[0016]进一步的，所述连接环的正面固定连接有第二连接杆，所述第二连接杆的底端与擦拭板的顶端固定连接，所述第二连接杆的一端臂杆滑动连接在T型槽口的内部。
[0017]通过上述技术方案，擦拭板通过第二连接杆与连接环相连接，当连接环转动时，可以带动擦拭板同步转动。
[0018]进一步的，所述转动机构包括转动柱、第一齿轮、第二齿轮和转动杆，所述转动柱的底端与壳体的底部内壁转动连接，所述转动柱的顶端延伸至壳体的顶端，且固定连接在放置板的底端，所述第一齿轮套设在转动柱的顶部，所述第一齿轮与第二齿轮之间相互啮合，所述转动杆固定套接在第二齿轮的内部。
[0019]通过上述技术方案，通过转动机构内部连接结构之间的相互配合，可以时转动柱带动顶端的放置板转动。
[0020]综上所述，本申请包括以下有益技术效果：
[0021]该技术，设置有旋转擦拭组件，在对晶圆表面清洗后，转动旋钮通过旋转擦拭组件内部连接结构之间的相互配合，使擦拭板转动至晶圆的上方，然后对晶圆的表面进行擦拭，无需取出晶圆，从而避免晶圆表面再次吸附灰尘，造成二次污染的情况发生。
附图说明
[0022]图1为本申请的整体结构示意图；
[0023]图2为本申请的主视剖视结构示意图；
[0024]图3为本申请的左视剖视结构示意图。
[0025]图中标号说明：
[0026]1、底座；2、壳体；3、转动杆；4、放置板；5、外壳；6、第一连接杆；7、清洁刷；8、第二连接杆；9、擦拭板；10、调节环；11、旋钮；12、转动柱；13、第一齿轮；14、螺纹杆；15、连接环；16、限位杆；17、套环；18、第二齿轮。
具体实施方式
[0027]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0028]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体
情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0030]实施例：
[0031]本申请实施例公开一种用于晶圆加工的回料装置，请参阅图1、图2和图3，包括底座1，底座1的顶端一侧固定安装有壳体2，壳体2的内部设置有转动机构，壳体2的顶端设置有放置板4，放置板4的顶端设置有清洁刷7，底座1的顶端另一侧固定连接有外壳5，外壳5的顶部正面设置有擦拭板9；
[0032]外壳5的内部设置有旋转擦拭组件，旋转擦拭组件包括螺纹杆14、套环17、连接环15、调节环10和旋钮11，外壳5的顶端对称开设有两个滑槽，滑槽的内部滑动连接有限位杆16，滑槽为四分之一圆弧，并且与限位杆16的大小相适配。
[0033]请参阅图2，螺纹杆14的底端与外壳5的底部内壁转动连接，螺纹杆14的顶端延伸至外壳5的顶端，且固定连接在旋钮11的底端。
[0034]请参阅图2，调节环10的底端与限位杆16的顶端固定连接，调节环10的内壁与螺纹杆14的顶部外壁转动连接，连接环15的顶端对称开设有插槽，限位杆16的底端滑动穿插连接在插槽的内部。
[0035]当连接环15移动至外壳5顶部时，两侧的限位杆16可以插入到连接环15的顶端两侧，将连接环15固定，然后转动调节环10，可以带动连接环15转动。
[0036]请参阅图2，连接环15的内壁与套本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的回料装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端一侧固定安装有壳体(2)，所述壳体(2)的内部设置有转动机构，所述壳体(2)的顶端设置有放置板(4)，所述放置板(4)的顶端设置有清洁刷(7)，所述底座(1)的顶端另一侧固定连接有外壳(5)，所述外壳(5)的顶部正面设置有擦拭板(9)；所述外壳(5)的内部设置有旋转擦拭组件，所述旋转擦拭组件包括螺纹杆(14)、套环(17)、连接环(15)、调节环(10)和旋钮(11)，所述外壳(5)的顶端对称开设有两个滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有限位杆(16)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的回料装置，其特征在于：所述螺纹杆(14)的底端与外壳(5)的底部内壁转动连接，所述螺纹杆(14)的顶端延伸至外壳(5)的顶端，且固定连接在旋钮(11)的底端。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的回料装置，其特征在于：所述调节环(10)的底端与限位杆(16)的顶端固定连接，所述连接环(15)的顶端对称开设有插槽，所述限位杆(16)的底端滑动穿插连接在插槽的内部。4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的回料装置，其特征在于：所述连接环(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：高文峰，
申请(专利权)人：上海祎丰环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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