一种晶圆吸附主轴气密封测试机制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆技术领域，公开了一种晶圆吸附主轴气密封测试机，包括底座，所述底座的顶部设置有升降机构，所述升降机构的内部设置有检测组件，所述底座的顶部开设有数量为多个的放置槽，所述底座的内部设置有动力机构，所述底座的内部设置有延伸至多个所述放置槽的内部并与动力机构相连接的顶升组件。该晶圆吸附主轴气密封测试机，具备了使用效果好的优点，解决了在晶圆工艺生产中，需要人工使用仪器进行气密性检测，然而，人工操作的方式不仅较为繁琐，而且效率极低，同时为防止晶圆在检测过程中发生位移，一般通过将晶圆放置在凹槽中进行检测，在检测完成后由于晶圆位于凹槽内，导致无法通过机械来对晶圆进行拿取或夹持的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆吸附主轴气密封测试机


[0001]本技术涉及晶圆
，具体是一种晶圆吸附主轴气密封测试机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅晶圆电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]在晶圆工艺生产中，需要人工使用仪器进行气密性检测，然而，人工操作的方式不仅较为繁琐，而且效率极低，同时为防止晶圆在检测过程中发生位移，一般通过将晶圆放置在凹槽中进行检测，在检测完成后由于晶圆位于凹槽内，导致无法通过机械来对晶圆进行拿取或夹持，故而提出一种晶圆吸附主轴气密封测试机来解决上述所提问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆吸附主轴气密封测试机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种晶圆吸附主轴气密封测试机，包括底座，所述底座的顶部设置有升降机构，所述升降机构的内部设置有检测组件，所述底座的顶部开设有数量为多个的放置槽，所述底座的内部设置有动力机构，所述底座的内部设置有延伸至多个所述放置槽的内部并与动力机构相连接的顶升组件。
[0007]本技术的有益效果是：
[0008]该晶圆吸附主轴气密封测试机，当需要使用时，通过升降机构和检测组件之间的配合，即可对位于放置槽中的外界晶圆片进行自动检测，在检测完成后，通过顶升组件和动力机构之间的配合即可将外界晶圆片推出放置槽内，即可便于外界机械进行拿取或夹持，以用来代替人工，从而实现了使用效果好的优点。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述升降机构包括固定连接于底座顶部的安装架，所述升降机构还包括固定连接于底座顶部的平面轴承，所述安装架的顶部固定连接有输出端延伸至安装架内部的第一转动电机，所述第一转动电机的输出端固定连接有一端延伸至与平面轴承顶部固定连接的螺纹杆，所述安装架的内部固定连接有滑杆；
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述检测组件包括螺纹连接于螺纹杆外侧且活动连接于滑杆外侧的升降块，所述升降块的底部固定连接有气密封检测器，所述气密封检测器的底部固定连接有数量为多个的密封圈。
[0011]采用上述进一步方案的有益效果是，当需要使用时，第一转动电机通电开启并带动螺纹杆进行旋转，在螺纹的推动下升降块进行下降，当密封圈和位于放置槽中的外界晶圆片进行接触时，通过气密封检测器即可对外界晶圆片的气密封进行测试，放置槽可对外界晶圆片进行限位，防止在测试过程中晶圆片发生位移。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述动力机构包括固定连接于底座内部的第二转动电机，所述第二转动电机的输出端固定连接有活动连接于底座内部的双向螺杆，所述双向螺杆的外侧螺纹连接有数量为两个的移动块。
[0013]采用上述进一步方案的有益效果是，当顶升架上升的过程中，顶升块跟随移动并将外界晶圆片推出放置槽内，通过将外界晶圆片裸露出，即可便于对测试完后的晶圆片进行拿取或夹持。
[0014]作为本技术再进一步的方案：所述顶升组件包括活动连接于底座内部且延伸至多个放置槽内部的顶升架，所述顶升架的顶部固定连接有数量与放置槽相等且位于对应放置槽内部的顶升块，所述顶升架的外侧固定连接有数量为两个铰接座，所述移动块的顶部固定连接有铰接座，同侧两个所述铰接座之间通过连接杆活动连接。
[0015]采用上述进一步方案的有益效果是，当测试完毕且升降块上升后，第二转动电机通电开启并带动双向螺杆进行旋转，在螺纹的推力下两个移动块进行收缩并通过铰接座和连接杆之间的配合，即可使顶升架进行上升。
[0016]作为本技术再进一步的方案：所述安装架的内部固定连接有数量为两个的限位杆，所述限位杆的外侧套设有一端延伸至与升降块固定连接的限位块。
[0017]采用上述进一步方案的有益效果是，在升降块升降的过程中，通过限位杆和限位块之间的配合即可对移动中的升降块起到很好的限位引导作用，避免升降块发生偏移导致气密封检测器与对应放置槽之间的位置产生偏差。
[0018]作为本技术再进一步的方案：所述升降块的内部嵌入有数量为多个且与滑杆相接触的滚珠，所述底座的顶部固定连接有用于对安装架进行支撑的支撑架。
[0019]采用上述进一步方案的有益效果是，滚珠可有效减小升降块在升降时与滑杆之间的摩擦力，同时滑杆可避免在螺纹杆旋转时升降块跟随其进行旋转。
附图说明
[0020]图1为一种晶圆吸附主轴气密封测试机的结构示意图；
[0021]图2为一种晶圆吸附主轴气密封测试机中升降机构正视剖面图；
[0022]图3为一种晶圆吸附主轴气密封测试机中顶升组件正视剖面图；
[0023]图4为一种晶圆吸附主轴气密封测试机中安装架右视剖面图。
[0024]图中：1、底座；2、升降机构；21、安装架；22、平面轴承；23、第一转动电机；24、螺纹杆；25、滑杆；3、检测组件；31、升降块；32、气密封检测器；33、密封圈；4、放置槽；5、动力机构；51、第二转动电机；52、双向螺杆；53、移动块；6、顶升组件；61、顶升架；62、顶升块；63、铰接座；64、连接杆；7、限位杆；8、限位块；9、滚珠；10、支撑架。
具体实施方式
[0025]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种晶圆吸附主轴气密封测试机，包括底座1，底座1的顶部设置有升降机构2，升降机构2包括固定连接于底座1顶部的安装架21，升降机构2还包括固定连接于底座1顶部的平面轴承22，安装架21的顶部固定连接有输出端延伸至安装架21内部的第一转动电机23，第一转动电机23的输出端固定连接有一端延伸至与平面轴承22顶部固定连接的螺纹杆24，安装架21的内部固定连接有滑杆25，升降机构2的内部
设置有检测组件3，检测组件3包括螺纹连接于螺纹杆24外侧且活动连接于滑杆25外侧的升降块31，升降块31的底部固定连接有气密封检测器32，气密封检测器32的底部固定连接有数量为多个的密封圈33，当需要使用时，第一转动电机23通电开启并带动螺纹杆24进行旋转，在螺纹的推动下升降块31进行下降，当密封圈33和位于放置槽4中的外界晶圆片进行接触时，通过气密封检测器32即可对外界晶圆片的气密封进行测试，放置槽4可对外界晶圆片进行限位，防止在测试过程中晶圆片发生位移，底座1的顶部开设有数量为多个的放置槽4，底座1的内部设置有动力机构5，动力机构5包括固定连接于底座1内部的第二转动电机51，第二转动电机51的输出端固定连接有活动连接于底座1内部的双向螺杆52，双向螺杆52的外侧螺纹连接有数量为两个的移动块53，当顶升架61上升的过程中，顶升块62跟随移动并将外界晶圆片推出放置槽4内，通过将外界晶圆片裸露出，即可便于对测试完后的晶圆片进行拿取或夹持，底座1的内部设置有延伸至多个放置槽4的内部并与动力机构5相连接的顶升组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆吸附主轴气密封测试机，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部设置有升降机构(2)，所述升降机构(2)的内部设置有检测组件(3)，所述底座(1)的顶部开设有数量为多个的放置槽(4)，所述底座(1)的内部设置有动力机构(5)，所述底座(1)的内部设置有延伸至多个所述放置槽(4)的内部并与动力机构(5)相连接的顶升组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机，其特征在于，所述升降机构(2)包括固定连接于底座(1)顶部的安装架(21)，所述升降机构(2)还包括固定连接于底座(1)顶部的平面轴承(22)，所述安装架(21)的顶部固定连接有输出端延伸至安装架(21)内部的第一转动电机(23)，所述第一转动电机(23)的输出端固定连接有一端延伸至与平面轴承(22)顶部固定连接的螺纹杆(24)，所述安装架(21)的内部固定连接有滑杆(25)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机，其特征在于，所述检测组件(3)包括螺纹连接于螺纹杆(24)外侧且活动连接于滑杆(25)外侧的升降块(31)，所述升降块(31)的底部固定连接有气密封检测器(32)，所述气密封检测器(32)的底部固定连接有数量为多个的密封圈(33)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附主轴气...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文峰，
申请(专利权)人：上海祎丰环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：