【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆加工设备，更具体地说，涉及一种晶圆加工用可调式定位夹具。
技术介绍
1、晶圆是在硅半导体集成电中所使用到的硅晶片，其普遍为圆形造型，且在加工晶圆的过程中，大都是将硅晶棒经过研磨抛光操作后，通过切割的方式形成硅晶圆片，俗称晶圆，在切割硅晶棒时，都需要使用定位夹具对硅晶棒进行固定。
2、经检索公开(公告号)：cn213647161u公开了一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括第一夹块，所述第一夹块的外侧固定有第一侧板，所述第一夹块的外侧固定有第二侧板，所述第一侧板与第二侧板大小相同，通过将晶棒放置在第三橡胶卡槽与第四橡胶卡槽之间，将第四夹块沿着第二螺纹杆向下滑动，转动第二旋钮沿着第二螺纹杆转动拧紧，第二旋钮对第四夹块进行固定，实现了对晶棒的稳定夹持处理，而在实际使用过程中，由于不同硅半导体集成电中所使用到的硅晶片大小不一，导致生产过程中不同的硅晶棒直径尺寸不一，第一橡胶卡槽、第二橡胶卡槽、第三橡胶卡槽、第四橡胶卡槽尺寸固定，在对不同直径尺寸的硅晶棒进行夹持固定时，可能会出现第二夹块和第三夹块与硅晶棒接触面积过少，无法对硅晶棒进行夹持固定的情况，有待改进。
3、为了解决上述问题，本申请提供一种晶圆加工用可调式定位夹具。
技术实现思路
1、本申请提供的一种晶圆加工用可调式定位夹具采用如下的技术方案：
2、一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括底座，所述底座的顶端设有固定框架，所述固定框架的前后两端侧壁上均设有调节滑槽，两个所述调节滑槽内均设有连接螺
3、通过上述技术方案，便于对硅晶棒的前后两侧进行夹持固定。
4、进一步的，所述按压机构包括两个凸块，所述凸块的顶端均设有升降螺杆，两根所述升降螺杆的顶端共同连接有连接管，所述连接管的外壁上固定安装有延伸块，所述延伸块的上下两端设有螺纹贯穿通孔，所述延伸块上的螺纹贯穿通孔内设有限位螺杆，所述限位螺杆的底端设有按压板。
5、通过上述技术方案，便于对硅晶棒的顶端进行按压固定。
6、进一步的，所述支撑块的顶端设有两个凹槽，且两个凹槽内均设有升降柱，且两根所述升降柱的顶端分别固定连接一个升降板，且所述升降柱均位于调节螺杆的右边。
7、通过上述技术方案，便于保障升降板垂直升降运动。
8、进一步的，两根所述夹持螺杆相互靠近的一侧均设有旋转连接环，且两个所述旋转连接环相互靠近的一侧与两个弧形块之间均通过连接转轴相互连接。
9、通过上述技术方案，避免弧形块跟随夹持螺杆旋转运动。
10、进一步的，所述支撑块的顶端设有底托板，且所述底托板位于两个升降板之间并固定连接支撑块。
11、通过上述技术方案，便于对硅晶棒的底端进行托底。
12、进一步的，所述凸块上下两端设有与升降螺杆直径尺寸相匹配的螺纹贯穿通孔，所述凸块上的螺纹贯穿通孔内安装有防折螺纹套。
13、通过上述技术方案，便于对升降螺杆的高度进行调节。
14、进一步的，所述限位螺杆的底端固定连接有铰链，且铰链未连接限位螺杆的一侧固定连接按压板。
15、通过上述技术方案，避免限位螺杆转动过程中带动按压板转动。
16、综上所述，本申请包括以下有益技术效果：
17、在对硅晶棒进行夹持过程中，控制夹持螺杆转动，将弧形块通过连接转轴转动并接触硅晶棒，对硅晶棒进行夹持，并通过控制限位螺杆向下运动，使按压板和底托板对硅晶棒的上下两端进行夹持，完成对硅晶棒的夹持固定，便于根据硅晶棒的直径尺寸对定位夹具进行调节，避免无法对硅晶棒进行夹持固定。
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1.一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端设有固定框架(2)，所述固定框架(2)的前后两端侧壁上均设有调节滑槽(3)，两个所述调节滑槽(3)内均设有连接螺杆(4)，所述连接螺杆(4)的外壁上均活动套接有锁紧螺帽(5)，所述固定框架(2)内共设有两个夹持机构(6)和两个按压机构(7)，且两个所述按压机构(7)分别位于两个夹持机构(6)的右侧，所述夹持机构(6)包括支撑块(8)，所述支撑块(8)的顶端前后两侧均设有调节螺杆(9)，所述调节螺杆(9)的顶端均连接有升降板(11)，所述升降板(11)上设有螺纹贯穿通孔，所述升降板(11)上的螺纹贯穿通孔内设有夹持螺杆(12)，两根所述夹持螺杆(12)相互靠近的一侧均设有弧形块(13)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：所述按压机构(7)包括两个凸块(16)，所述凸块(16)的顶端均设有升降螺杆(17)，两根所述升降螺杆(17)的顶端共同连接有连接管(18)，所述连接管(18)的外壁上固定安装有延伸块(19)，所述延伸块(19)的上下两端设有螺纹贯穿通孔，
3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：所述支撑块(8)的顶端设有两个凹槽，且两个凹槽内均设有升降柱(10)，且两根所述升降柱(10)的顶端分别固定连接一个升降板(11)，且所述升降柱(10)均位于调节螺杆(9)的右边。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：两根所述夹持螺杆(12)相互靠近的一侧均设有旋转连接环，且两个所述旋转连接环相互靠近的一侧与两个弧形块(13)之间均通过连接转轴(14)相互连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：所述支撑块(8)的顶端设有底托板(15)，且所述底托板(15)位于两个升降板(11)之间并固定连接支撑块(8)。
6.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：所述凸块(16)上下两端设有与升降螺杆(17)直径尺寸相匹配的螺纹贯穿通孔，所述凸块(16)上的螺纹贯穿通孔内安装有防折螺纹套。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：所述限位螺杆(20)的底端固定连接有铰链，且铰链未连接限位螺杆(20)的一侧固定连接按压板(21)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端设有固定框架(2)，所述固定框架(2)的前后两端侧壁上均设有调节滑槽(3)，两个所述调节滑槽(3)内均设有连接螺杆(4)，所述连接螺杆(4)的外壁上均活动套接有锁紧螺帽(5)，所述固定框架(2)内共设有两个夹持机构(6)和两个按压机构(7)，且两个所述按压机构(7)分别位于两个夹持机构(6)的右侧，所述夹持机构(6)包括支撑块(8)，所述支撑块(8)的顶端前后两侧均设有调节螺杆(9)，所述调节螺杆(9)的顶端均连接有升降板(11)，所述升降板(11)上设有螺纹贯穿通孔，所述升降板(11)上的螺纹贯穿通孔内设有夹持螺杆(12)，两根所述夹持螺杆(12)相互靠近的一侧均设有弧形块(13)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：所述按压机构(7)包括两个凸块(16)，所述凸块(16)的顶端均设有升降螺杆(17)，两根所述升降螺杆(17)的顶端共同连接有连接管(18)，所述连接管(18)的外壁上固定安装有延伸块(19)，所述延伸块(19)的上下两端设有螺纹贯穿通孔，所述延伸块(19)上的螺纹贯穿通孔内设有限位螺杆(20)，所述限位螺杆(20)的底端设有...
【专利技术属性】
技术研发人员：高文峰，
申请(专利权)人：上海祎丰环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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