一种晶圆加工用的甩干机制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆加工用的甩干机，包括外壳，所述外壳的内腔顶壁固定连接有内壳，所述外壳的顶部固定连接有一端延伸至内壳内部的传动装置，所述传动装置的外侧固定连接有固定板和位于固定板下方且与固定板底部固定连接的限位装置，所述固定板和限位装置的外侧卡接有同一个置物盒。该晶圆加工用的甩干机，具备了生产效率高的优点，解决了现有的晶圆加工流程中需要首先要进行表面清洗，清洗过后的晶圆需要进行干燥后再进行下一次的加工，但现有的晶圆干燥方式干燥时间长，容易影响晶圆的生产效率，且干燥过程中若晶圆表面存在水渍还会影响生产质量的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用的甩干机


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体是一种晶圆加工用的甩干机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]现有的晶圆加工流程中需要首先要进行表面清洗，清洗过后的晶圆需要进行干燥后再进行下一次的加工，但现有的晶圆干燥方式干燥时间长，容易影响晶圆的生产效率，且干燥过程中若晶圆表面存在水渍还会影响生产质量，故而提出一种晶圆加工用的甩干机来解决上述所提的问题

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆加工用的甩干机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆加工用的甩干机，包括外壳，所述外壳的内腔顶壁固定连接有内壳，所述外壳的顶部固定连接有一端延伸至内壳内部的传动装置，所述传动装置的外侧固定连接有固定板和位于固定板下方且与固定板底部固定连接的限位装置，所述固定板和限位装置的外侧卡接有同一个置物盒，所述限位装置和固定板的内部均设有位于置物盒外侧的固定装置，所述传动装置的外侧固定连接有与内壳转动连接的隔板。
[0006]本技术的有益效果是：将晶圆依次的放置在置物盒内，再将置物盒与固定板和限位装置卡接，通过固定板与限位装置内的固定装置对置物盒外侧进行固定，防止脱落，同时经由限位装置与置物盒外侧贴合，防止甩干过程中晶圆飞出造成损坏，启动传动装置传动装置带动固定板和限位装置转动，固定板和限位装置带动置物盒转动，通过转动时的离心力将置物盒内晶圆上的水甩出，使晶圆脱水，甩出的水分通过置物盒飞出至内壳外侧，流入外壳内腔底壁汇聚，同时没甩出内壳的水分通过隔板漏至外壳内腔底壁汇聚，完成对晶圆的干燥。
[0007]该晶圆加工用的甩干机，具备了生产效率高的优点。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述传动装置包括电机，所述电机与外壳的顶部固定连接，所述外壳的顶部固定连接有位于电机外侧的保护壳，所述电机的输出端固定连接有一端穿过外壳并延伸至内壳内部的传动杆，所述传动杆的外侧与固定板的内侧固定连接，所述传动杆与外壳转动连接，所述传动杆的外侧固定连接有与限位装置外侧固定连接的安装杆。
[0009]采用上述进一步方案的有益效果是，保护壳能够保护电机。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述固定板的外侧开设有数量为四个且呈环形
等距离分布并与置物盒相适配的卡槽，所述固定板的内部开设有与固定装置相适配的安装槽。
[0011]采用上述进一步方案的有益效果是，预设卡槽便于卡接置物盒。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述限位装置包括安装架，所述安装架的顶部与固定板的底部固定连接，所述安装架的内部活动连接有一端延伸至置物盒外侧并与置物盒外侧接触的推板，所述推板靠近置物盒的一侧固定连接有橡胶垫，所述推板与安装架之间固定连接有位于安装架内部的推动弹簧，所述安装架的外侧开设有与置物盒外侧相适配的限位槽，所述限位装置的数量为四个且呈环形等距离分布并与固定板的卡槽位置相适配。
[0013]采用上述进一步方案的有益效果是，橡胶垫材质软，便于保护置物盒的外侧。
[0014]作为本技术再进一步的方案：所述置物盒包括上筒与下筒，所述上筒和下筒之间固定连接有数量不少于五个的置物板，所述置物板的上方放置有晶圆，相邻两个所述置物板之间固定连接有位于晶圆远离限位装置一侧的过滤网。
[0015]采用上述进一步方案的有益效果是，过滤网便于过滤水分。
[0016]作为本技术再进一步的方案：所述固定装置包括稳定杆，所述稳定杆位于固定板的安装槽内，所述稳定杆的外侧滑动连接有一端延伸至置物盒外侧并延伸至卡槽另一侧的卡杆，所述卡杆的外侧固定连接有一端由固定板内部延伸至固定板外侧的操作杆，所述卡杆与固定板之间固定连接有位于稳定杆外侧的复位弹簧，所述固定装置的数量为八个且分别位于固定板和限位装置的内部，并与同侧置物盒相适配。
[0017]采用上述进一步方案的有益效果是，稳定杆能够防止卡杆在被离心力甩动时产松脱产生偏移。
[0018]作为本技术再进一步的方案：所述隔板和内壳的内部均开设有滤水网，所述隔板的滤水网位于置物盒的下方，所述内壳的滤水网位于置物盒的外侧且数量不少于六个并呈环形等距离分布，所述外壳和内壳的正面均开设有门洞，所述外壳的正面活动连接有与门洞相适配的密封门，所述外壳的内腔底壁呈倾斜设置，且外壳的右侧连通有一端延伸至外壳内部的排水阀。
[0019]采用上述进一步方案的有益效果是，倾斜设置的内腔底壁便于排水。
附图说明
[0020]图1为一种晶圆加工用的甩干机的结构示意图；
[0021]图2为一种晶圆加工用的甩干机中固定装置与固定板连接的结构示意图；
[0022]图3为一种晶圆加工用的甩干机中外观的结构示意图；
[0023]图4为一种晶圆加工用的甩干机中置物盒与固定板和限位装置连接的结构示意图。
[0024]图中：1、外壳；2、内壳；3、传动装置；301、电机；302、保护壳；303、传动杆；304、安装杆；4、固定板；5、限位装置；501、安装架；502、推板；503、推动弹簧；6、置物盒；601、上筒；602、下筒；603、置物板；604、晶圆；605、过滤网；7、固定装置；701、稳定杆；702、卡杆；703、操作杆；704、复位弹簧；8、隔板。
具体实施方式
[0025]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种晶圆加工用的甩干机，包括外壳1，外壳1的内腔顶壁固定连接有内壳2，外壳1的顶部固定连接有一端延伸至内壳2内部的传动装置3，传动装置3的外侧固定连接有固定板4和位于固定板4下方且与固定板4底部固定连接的限位装置5，固定板4和限位装置5的外侧卡接有同一个置物盒6，限位装置5和固定板4的内部均设有位于置物盒6外侧的固定装置7，传动装置3的外侧固定连接有与内壳2转动连接的隔板8；
[0026]传动装置3包括电机301，电机301与外壳1的顶部固定连接，外壳1的顶部固定连接有位于电机301外侧的保护壳302，电机301的输出端固定连接有一端穿过外壳1并延伸至内壳2内部的传动杆303，传动杆303的外侧与固定板4的内侧固定连接，传动杆303与外壳1转动连接，传动杆303的外侧固定连接有与限位装置5外侧固定连接的安装杆304；
[0027]保护壳302能够保护电机301；
[0028]固定板4的外侧开设有数量为四个且呈环形等距离分布并与置物盒6相适配的卡槽，固定板4的内部开设有与固定装置7相适配的安装槽；
[0029]预设卡槽便于卡接置物盒6；
[0030]限位装置5包括安装架501，安装架501的顶部与固定板4的底部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用的甩干机，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)的内腔顶壁固定连接有内壳(2)，所述外壳(1)的顶部固定连接有一端延伸至内壳(2)内部的传动装置(3)，所述传动装置(3)的外侧固定连接有固定板(4)和位于固定板(4)下方且与固定板(4)底部固定连接的限位装置(5)，所述固定板(4)和限位装置(5)的外侧卡接有同一个置物盒(6)，所述限位装置(5)和固定板(4)的内部均设有位于置物盒(6)外侧的固定装置(7)，所述传动装置(3)的外侧固定连接有与内壳(2)转动连接的隔板(8)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用的甩干机，其特征在于，所述传动装置(3)包括电机(301)，所述电机(301)与外壳(1)的顶部固定连接，所述外壳(1)的顶部固定连接有位于电机(301)外侧的保护壳(302)，所述电机(301)的输出端固定连接有一端穿过外壳(1)并延伸至内壳(2)内部的传动杆(303)，所述传动杆(303)的外侧与固定板(4)的内侧固定连接，所述传动杆(303)与外壳(1)转动连接，所述传动杆(303)的外侧固定连接有与限位装置(5)外侧固定连接的安装杆(304)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用的甩干机，其特征在于，所述固定板(4)的外侧开设有数量为四个且呈环形等距离分布并与置物盒(6)相适配的卡槽，所述固定板(4)的内部开设有与固定装置(7)相适配的安装槽。4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工用的甩干机，其特征在于，所述限位装置(5)包括安装架(501)，所述安装架(501)的顶部与固定板(4)的底部固定连接，所述安装架(501)的内部活动连接有一端延伸至置物盒(6)外侧并与置物盒(6)外侧接触的推板(502)，所述推板(502)靠近置物盒(6)的一侧固定连接有橡胶垫，所述推板(502)与安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文峰，
申请(专利权)人：上海祎丰环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：