一种用于晶圆加工的晶圆清洗机制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆清洗机技术领域，公开了一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳和位于箱壳顶部的翻盖，所述箱壳的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆，两个所述直杆之间固定连接有晶圆固定件，所述箱壳上设置有与背面所述直杆传动连接的动力件，所述箱壳的内部转动连接有位于晶圆固定件左侧的横管，所述横管的右端连通有短管，所述短管的右侧连通有等距离分布的喷头。该用于晶圆加工的晶圆清洗机，具备清洗效率高等优点，解决了现有技术中，待清洗的晶圆板固定在晶圆清洗机的清洗台上，通过位于清洗台上方的喷水头对清洗台上的晶圆板进行冲洗，清洗范围有限，不能对晶圆板的反面进行清洗，需要反向再次放置晶圆板，使得清洗效率低的问题。率低的问题。率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工的晶圆清洗机


[0001]本技术涉及晶圆清洗机
，具体是一种用于晶圆加工的晶圆清洗机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅片晶圆生产清洗工艺中，使用清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性，根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元，各部分有独立控制，随意组合。
[0003]现有技术中，待清洗的晶圆板固定在晶圆清洗机的清洗台上，通过位于清洗台上方的喷水头对清洗台上的晶圆板进行冲洗，清洗范围有限，不能对晶圆板的反面进行清洗，需要反向再次放置晶圆板，使得清洗效率低，故而提出一种用于晶圆加工的晶圆清洗机来解决上述所提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳和位于箱壳顶部的翻盖，所述箱壳的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆，两个所述直杆之间固定连接有晶圆固定件，所述箱壳上设置有与背面所述直杆传动连接的动力件，所述箱壳的内部转动连接有位于晶圆固定件左侧的横管，所述横管的右端连通有短管，所述短管的右侧连通有等距离分布的喷头，所述横管上设置有与动力件传动连接的传动件，所述短管的左端固定连接有位于箱壳左侧的旋转接头。r/>[0007]本技术的有益效果是：
[0008]该用于晶圆加工的晶圆清洗机，通过将待清洗的晶圆板固定在晶圆固定件上，通过旋转接头与输水管道连通，输水管道与外部泵体连通，使水通过旋转接头和横管进入短管内部，再由喷头喷出，对晶圆固定件上晶圆板进行清洗，同时配合动力件和传动件，使得直杆带动晶圆固定件转动，晶圆固定件带动其上的晶圆板转动，同时横管带动短管转动，短管带动喷头移动，进而增大冲洗的范围，使得喷头喷出的水能来回冲洗晶圆板的两面，从达到清洗效率高的目的。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述箱壳和翻盖的背面通过合页铰接，所述直杆呈前后对称分布。
[0010]采用上述进一步方案的有益效果是，配合合页，方便开合箱壳上的翻盖。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述晶圆固定件包括与两个所述直杆相对一端固定连接的环块，所述环块的顶部通过环形分布的螺栓固定连接有压环。
[0012]采用上述进一步方案的有益效果是，通过拆卸螺栓，使得待清洗的晶圆板位于环块和压环之间，再安装螺栓，固定待清洗的晶圆板。
[0013]作为本技术再进一步的方案：所述动力件包括与箱壳背面固定连接的电机，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的外侧套接有主齿轮，所述转轴和背面所述直杆的外侧均套接有第一带轮，两个所述第一带轮之间通过第一传动带传动连接。
[0014]采用上述进一步方案的有益效果是，由电机带动转轴转动，转轴带动第一带轮和主齿轮转动，配合第一传动带，使得背面的直杆转动，直杆带动环块转动，使得其上待清洗的晶圆板随之转动。
[0015]作为本技术再进一步的方案：所述短管的前后两端均为封口状，所述横管和短管相互垂直。
[0016]采用上述进一步方案的有益效果是，通过旋转接头与输水管道连通，输水管道与外部泵体连通，使水通过旋转接头和横管进入短管内部，再由喷头喷出，对晶圆固定件上晶圆板进行清洗。
[0017]作为本技术再进一步的方案：所述传动件包括与箱壳内腔左侧壁转动连接的圆轴，所述圆轴的外侧套接有与主齿轮啮合的副齿轮，所述圆轴的外侧和转轴的外侧均套接有第二带轮，两个所述第二带轮之间通过第二传动带传动连接；
[0018]作为本技术再进一步的方案：所述横管的外侧套接有与箱壳内部固定连接的轴承，所述圆轴和转轴相互垂直。
[0019]采用上述进一步方案的有益效果是，由主齿轮带动副齿轮转动，副齿轮带动圆轴转动，圆轴带动其上第二带轮转动，配合第二传动带，使得横管带动短管转动，短管带动喷头移动，进而增大冲洗的范围。
附图说明
[0020]图1为一种用于晶圆加工的晶圆清洗机的结构示意图；
[0021]图2为一种用于晶圆加工的晶圆清洗机的结构左视图；
[0022]图3为一种用于晶圆加工的晶圆清洗机中动力件的结构俯视图；
[0023]图4为一种用于晶圆加工的晶圆清洗机中晶圆固定件的右视剖面图。
[0024]图中：1、箱壳；2、翻盖；3、直杆；4、晶圆固定件；41、环块；42、螺栓；43、压环；5、动力件；51、电机；52、转轴；53、主齿轮；54、第一带轮；55、第一传动带；6、横管；7、短管；8、喷头；9、传动件；91、圆轴；92、副齿轮；93、第二带轮；94、第二传动带；10、旋转接头。
具体实施方式
[0025]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳1和位于箱壳1顶部的翻盖2，箱壳1的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆3，两个直杆3之间固定连接有晶圆固定件4，箱壳1上设置有与背面直杆3传动连接的动力件5，箱壳1的内部转动连接有位于晶圆固定件4左侧的横管6，横管6的右端连通有短管7，短管7的右侧连通有等距离分布的喷头8，横管6上设置有与动力件5传动连接的传动件9，短管7的左端固定连接有位于箱壳1左侧的旋转接头10，箱壳1和翻盖2的背面通过合页铰接，直杆3呈前后对称分布，配合合页，方便开合箱壳1上的翻盖2，晶圆固定件4包括与两个直杆3相对一端固定连接的
环块41，环块41的顶部通过环形分布的螺栓42固定连接有压环43，通过拆卸螺栓42，使得待清洗的晶圆板位于环块41和压环43之间，再安装螺栓42，固定待清洗的晶圆板，动力件5包括与箱壳1背面固定连接的电机51，电机51的输出端固定连接有转轴52，转轴52的外侧套接有主齿轮53，转轴52和背面直杆3的外侧均套接有第一带轮54，两个第一带轮54之间通过第一传动带55传动连接，由电机51带动转轴52转动，转轴52带动第一带轮54和主齿轮53转动，配合第一传动带55，使得背面的直杆3转动，直杆3带动环块41转动，使得其上待清洗的晶圆板随之转动，短管7的前后两端均为封口状，横管6和短管7相互垂直，通过旋转接头10与输水管道连通，输水管道与外部泵体连通，使水通过旋转接头10和横管6进入短管7内部，再由喷头8喷出，对晶圆固定件4上晶圆板进行清洗，传动件9包括与箱壳1内腔左侧壁转动连接的圆轴91，圆轴91的外侧套接有与主齿轮53啮合的副齿轮92，圆轴91的外侧和转轴52的外侧均套接有第二带轮93，两个第二带轮93之间通过第二传动带94传动连接，横管6的外侧套接有与箱壳1内部固定连接的轴承，圆轴91和转轴52相互垂直，由主齿轮53带动副齿轮92转动，副齿轮92带动圆轴91转动，圆轴91带动其上第二带轮93本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳(1)和位于箱壳(1)顶部的翻盖(2)，其特征在于，所述箱壳(1)的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆(3)，两个所述直杆(3)之间固定连接有晶圆固定件(4)，所述箱壳(1)上设置有与背面所述直杆(3)传动连接的动力件(5)，所述箱壳(1)的内部转动连接有位于晶圆固定件(4)左侧的横管(6)，所述横管(6)的右端连通有短管(7)，所述短管(7)的右侧连通有等距离分布的喷头(8)，所述横管(6)上设置有与动力件(5)传动连接的传动件(9)，所述短管(7)的左端固定连接有位于箱壳(1)左侧的旋转接头(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述箱壳(1)和翻盖(2)的背面通过合页铰接，所述直杆(3)呈前后对称分布。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆固定件(4)包括与两个所述直杆(3)相对一端固定连接的环块(41)，所述环块(41)的顶部通过环形分布的螺栓(42)固定连接有压环(43)。4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆加工的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文峰，
申请(专利权)人：上海祎丰环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：