一种晶圆探针台的预吹洗机构制造技术

本申请涉及晶圆探针台技术领域，公开了一种晶圆探针台的预吹洗机构，包括合模安装呈圆柱型的送料轨道和封闭罩，送料轨道内安装有预吹洗基座总成，且送料轨道上设有驱动预吹洗基座总成沿送料轨道轴线方向位移的传动构件，预吹洗基座总成包括传动基座以及安装于传动基座一侧的布气环，布气环朝向传动基座上平面的一侧设有多根连通布气环的喷淋杆，且喷淋杆的外缘面朝向布气环的轴心方向等距排布设置有多个喷嘴，布气环的外缘面顶端嵌设有导向滚子，封闭罩的内缘面具有合模状态下对导向滚子进行导向的滚子适配曲槽。该晶圆探针台的预吹洗机构，结构合理，易于实现多角度对晶元的吹洗，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆探针台的预吹洗机构


[0001]本申请涉及晶圆探针台
，尤其是涉及一种晶圆探针台的预吹洗机构。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。
[0003]在本申请过程中专利技术人发现该技术至少存在如下问题：晶圆在进入进行预吹洗时，其吹洗角度因设备位置限定而受到限制，不易于调整以保证晶圆的吹洗效果。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种晶圆探针台的预吹洗机构，以解决上述
技术介绍
中提出传统的现有的晶圆在进入进行预吹洗时，其吹洗角度因设备位置限定而受到限制，不易于调整以保证晶圆的吹洗效果的问题。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶圆探针台的预吹洗机构，包括合模安装呈圆柱型的送料轨道和封闭罩，所述送料轨道内安装有预吹洗基座总成，且送料轨道上设有驱动预吹洗基座总成沿送料轨道轴线方向位移的传动构件；
[0006]所述预吹洗基座总成包括传动基座以及安装于传动基座一侧且与传动基座可旋转连接配合的布气环，所述传动基座的底端构造配合传动构件的凸缘，且传动基座的上端面构造呈供晶圆安装的平面；
[0007]所述布气环朝向传动基座上平面的一侧设有多根连通布气环的喷淋杆，且喷淋杆的外缘面朝向布气环的轴心方向等距排布设置有多个喷嘴，所述布气环的外缘面顶端嵌设有导向滚子，所述封闭罩的内缘面具有合模状态下对导向滚子进行导向的滚子适配曲槽。
[0008]通过采用上述技术方案，在传动过程中，布气环顶端的导向滚子因与封闭罩的滚子适配曲槽配合实现路径的规划，因此使得布气环绕轴线方向出现往复式的左右旋转，从而改变多个喷淋杆上喷嘴的出风路径，因此实现多洗吹角度。
[0009]作为进一步的优选方案，所述送料轨道的两侧设有挡板，所述传动构件为安装于其中一个挡板上的电机，所述电机具有轴线与送料轨道轴线平行的丝杠。
[0010]作为进一步的优选方案，所述丝杠的端部与送料轨道上另一个挡板可旋转连接，两个所述挡板之间设有轴线平行于丝杠轴线的导向轴。
[0011]通过采用上述技术方案，实现沿丝杠轴线的传动。
[0012]作为进一步的优选方案，所述传动基座的凸缘上开设有螺纹连接丝杠的螺纹孔，且凸缘的两侧开设有与导向轴滑动配合的适配槽。
[0013]通过采用上述技术方案，导向轴的加装保证传动基座沿导向轴的轴线方向位移。
[0014]作为进一步的优选方案，所述传动基座的平面一侧竖直构造有立板，所述立板远
离平面的一侧设有与送料轨道同轴的定位轴，所述布气环的中心设有与定位轴可旋转连接配合的转动环，所述转动环的外缘面设有多根连接布气环内缘的连杆。
[0015]作为进一步的优选方案，所述定位轴的外缘面呈环形阵列设有多个配合弹簧的限位锁头，所述限位锁头与立板之间的间距适应转动环的厚度。
[0016]通过采用上述技术方案，用于限位转动环防止其脱出。
[0017]作为进一步的优选方案，所述封闭罩的外缘面一端开设有方便安装晶圆的开口，且开口位于封闭罩朝向送料轨道上电机的安装位置一侧。
[0018]通过采用上述技术方案，方便放置晶圆。
[0019]作为进一步的优选方案，所述滚子适配曲槽的一端开设有居中设置的进口，且滚子适配曲槽的另一端开设有向一侧偏移的出口。
[0020]通过采用上述技术方案，一侧偏移的设计，可使得在传动基座传动至送料轨道末端，即远离电机安装位置的一侧时，使得布气环的旋转状态属于偏转状态。
[0021]综上所述，本申请的技术效果和优点：该晶圆探针台的预吹洗机构，得益于预吹洗基座总成的设计，其具有供晶圆安装并输送的传动基座以及对晶圆进行吹洗的布气环，在传动过程中，布气环顶端的导向滚子因与封闭罩的滚子适配曲槽配合实现路径的规划，因此使得布气环绕轴线方向出现往复式的左右旋转，从而改变多个喷淋杆上喷嘴的出风路径，因此实现多洗吹角度，有效解决现有晶圆在进入进行预吹洗时，吹洗角度因设备位置限定而受到限制，不易于调整以保证晶圆的吹洗效果的问题。
附图说明
[0022]图1是本申请的结构示意图；
[0023]图2是本申请封闭罩拆卸状态的结构示意图；
[0024]图3是本申请传动基座的结构示意图；
[0025]图4是本申请图2中A处结构的放大示意图；
[0026]图5是本申请封闭罩内缘面的结构示意图。
[0027]附图标记说明：
[0028]1送料轨道、101挡板、102导向轴、10201适配槽、103穿入槽、2电机、201丝杠、20101螺纹孔、3预吹洗基座总成、301传动基座、30101凸缘、30102立板、302布气环、30201喷淋杆、30202喷嘴、303定位轴、30301限位锁头、304转动环、30401连杆、305导向滚子、4封闭罩、401滚子适配曲槽、40101进口、40102出口。
具体实施方式
[0029]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0030]参照图1、图2和图3，一种晶圆探针台的预吹洗机构，包括合模安装呈圆柱型的送料轨道1和封闭罩4，送料轨道述1内安装有预吹洗基座总成3，且送料轨道1上设有驱动预吹洗基座总成3沿送料轨道1轴线方向位移的传动构件；
[0031]其中，参照图2，送料轨道1的两侧设有挡板101，传动构件为安装于其中一个挡板101上的电机2，电机2具有轴线与送料轨道1轴线平行的丝杠201，且丝杠201的端部与送料轨道1上另一个挡板101可旋转连接，两个挡板101之间设有轴线平行于丝杠201轴线的导向轴102；
[0032]参照图3，预吹洗基座总成3包括传动基座301以及安装于传动基座301一侧且与传动基座301可旋转连接配合的布气环302，传动基座301的底端构造配合传动构件的凸缘30101，且传动基座301的上端面构造呈供晶圆安装的平面，其中，传动基座301的凸缘30101上开设有螺纹连接丝杠201的螺纹孔20101，且凸缘30101的两侧开设有与导向轴102滑动配合的适配槽10201，当电机2驱动丝杠201旋转时，因导向轴102的设置限制凸缘30101的偏转，因此丝杠201螺纹配合螺纹孔20101使得凸缘30101在丝杠201的驱动下沿丝杠201的轴心方向位移传动。
[0033]参照图2和图4，布气环302朝向传动基座301上平面的一侧设有多根连通布气环302的喷淋杆30201，且喷淋杆302本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆探针台的预吹洗机构，包括合模安装呈圆柱型的送料轨道（1）和封闭罩（4），所述送料轨道（1）内安装有预吹洗基座总成（3），且所述送料轨道（1）上设有驱动所述预吹洗基座总成（3）沿所述送料轨道（1）轴线方向位移的传动构件；其特征在于：所述预吹洗基座总成（3）包括传动基座（301）以及安装于所述传动基座（301）一侧且与传动基座（301）可旋转连接配合的布气环（302），所述传动基座（301）的底端构造配合传动构件的凸缘（30101），且所述传动基座（301）的上端面构造呈供晶圆安装的平面；所述布气环（302）朝向所述传动基座（301）上平面的一侧设有多根连通所述布气环（302）的喷淋杆（30201），且所述喷淋杆（30201）的外缘面朝向所述布气环（302）的轴心方向等距排布设置有多个喷嘴（30202），所述布气环（302）的外缘面顶端嵌设有导向滚子（305），所述封闭罩（4）的内缘面具有合模状态下对所述导向滚子（305）进行导向的滚子适配曲槽（401）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台的预吹洗机构，其特征在于：所述送料轨道（1）的两侧设有挡板（101），所述传动构件为安装于其中一个所述挡板（101）上的电机（2），所述电机（2）具有轴线与送料轨道（1）轴线平行的丝杠（201）。3.根据权利要求2所述的一种晶圆探针台的预吹洗机构，其特征在于：所述丝杠（201）的端部与所述送料轨道（1）上另一个所述挡板（101）可旋转连接，两个所述挡板（101）之间设有轴线平行于所述丝杠...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛昌和，
申请(专利权)人：江阴佳泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：