一种便于晶圆取放的检测装置制造方法及图纸

本申请涉及半导体技术领域，公开了一种便于晶圆取放的检测装置，包括基座、支架以及底座，底座固定于基座的上端面中部，底座的上端面可旋转安装有转动盘，转动盘上开设有供晶圆恰好放置的圆形深槽，圆形深槽端口内水平设置有置物板，且转动盘上的圆形深槽底部水平安装有丝杠，丝杠上对称构造有两段相反的螺纹，两段螺纹上对称套有两个移动块，移动块的上端面与置物板的下端面之间铰接连接有倾斜的支撑杆。该便于晶圆取放的检测装置，结构合理，能够对晶圆限位，避免其水平移动，有利于提高检测精度，且易于对晶圆进行取放，操作简单，使用方便，有利于提高检测效率。有利于提高检测效率。有利于提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种便于晶圆取放的检测装置


[0001]本申请涉及半导体
，尤其是涉及一种便于晶圆取放的检测装置。

技术介绍

[0002]在半导体工艺中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，而具有不破坏晶圆表面的清洁度、可实时检测等优点的光学检测方法即为晶圆的常用检测方法之一。在进行光学检测时，激光器发出的检测光会掠入射到待测晶圆上，在晶圆表面会形成椭圆形光斑，通过晶圆卡盘的移动和旋转，使得椭圆形光斑扫描整片晶圆，检测光在晶圆表面发生反射，如果检测光投射到颗粒上，会被颗粒散射，被散射的光束具有和反射光束不相同的空间立体角，而散射光最终被光电探测器探测，以获取晶圆表面的颗粒信息。
[0003]目前，现有的晶圆检测装置不便于对晶圆进行稳定放置，导致在进行移动、旋转转动盘以使椭圆形探测光斑对晶圆进行全面扫描时，晶圆位置可能出现水平偏移，从而影响光学检测结果。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种便于晶圆取放的检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有的晶圆检测装置不便于对晶圆进行取放，导致晶圆放置位置可能出现水平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于晶圆取放的检测装置，包括基座（1）、支架（2）以及底座（3），其特征在于：所述底座（3）固定于基座（1）的上端面中部，所述底座（3）的上端面可旋转安装有转动盘（4），所述转动盘（4）上开设有供晶圆放置的圆形深槽，所述圆形深槽端口内水平设置有置物板（401），且所述转动盘（4）上的圆形深槽底部水平安装有丝杠（402），所述丝杠（402）上对称构造有两段相反的螺纹，两段螺纹上对称套有两个移动块（404），所述移动块（404）的上端面与置物板（401）的下端面之间铰接有支撑杆（405）。2.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述丝杠（402）的一端旋转安装于圆形深槽内的底部一侧内壁上，所述丝杠（402）的另一端水平穿出圆形深槽内的底部另一侧并固定有拧冒（403）。3.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述底座（3）内开设有安装腔（301），所述安装腔（301）内安装有电机（302），所述电机（302）的机轴穿出底座（3）的上端面并与转动盘（4）的下端面中部固定。4.根据权利要求1所述的一种便于晶圆取放的检测装置，其特征在于：所述基座（1）上端面的一端开设有调节槽（101），所述调节槽（101）上滑动安装有调节座（5），所述调节座（5）的上端面固定有固定柱（6），所述固定柱（6）的顶端安装有朝向圆形深槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：季建松，
申请(专利权)人：江阴佳泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：