下载一种便于晶圆取放的检测装置的技术资料

文档序号:33439231

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本申请涉及半导体技术领域,公开了一种便于晶圆取放的检测装置,包括基座、支架以及底座,底座固定于基座的上端面中部,底座的上端面可旋转安装有转动盘,转动盘上开设有供晶圆恰好放置的圆形深槽,圆形深槽端口内水平设置有置物板,且转动盘上的圆形深槽底部...
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