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一种晶圆探针台的预吹洗机构制造技术
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文档序号:33430470
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本申请涉及晶圆探针台技术领域,公开了一种晶圆探针台的预吹洗机构,包括合模安装呈圆柱型的送料轨道和封闭罩,送料轨道内安装有预吹洗基座总成,且送料轨道上设有驱动预吹洗基座总成沿送料轨道轴线方向位移的传动构件,预吹洗基座总成包括传动基座以及安装于...
该专利属于江阴佳泰电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴佳泰电子科技有限公司授权不得商用。
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