一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置及其控制方法制造方法及图纸

技术编号:33383127 阅读:15 留言:0更新日期:2022-05-11 22:57
本发明专利技术提出了一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置及其控制方法。检测装置包括:信号模块,用于持续输出关于电压输出的波形信号至第一引脚,以持续调整待测芯片输出的电压值,以及生成触发信号并输出;采集模块,用于采集多个第二引脚输出的每个电压值;触发模块,用于发送触发信号至相应的采集模块,以同步驱动多个采集模块进行并行采集;并行计算模块,用于在采集模块持续采集过程中,实时统计采集的电压值,并进行并行计算。本发明专利技术的方案对芯片的输出电压灰阶值进行并行采集和并行计算,大幅缩短电压采集时间和电压计算的时间,极大提升了芯片输出电压的采集效率和处理效率。升了芯片输出电压的采集效率和处理效率。升了芯片输出电压的采集效率和处理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置及其控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体芯片测试领域,特别涉及一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置及其控制方法。

技术介绍

[0002]ATE(Automatic Test Equipment)是自动测试设备,它是一种由高性能计算机控制的测试仪器的集合体,是由测试仪和计算机组合而成的测试系统,计算机通过运行测试机程序的指令来控制测试硬件。半导体芯片ATE用于检测集成电路的功能和性能的完整性,是集成电路生产制造流程中确保集成电路品质的重要设备。
[0003]ATE设备在进行芯片的输出电压进行灰阶测试时,需要花费大量时间以及处理大量数据。芯片往往存在大量的电压输出引脚,每个电压输出引脚都需要测量多次,每个测量的电压值需要进行统计计算。大量的输出引脚结合重复次数的测量,以及庞大的电压数据,构成了极为复杂的工程。
[0004]现有技术中,存在两种测量方法,分别为串行采样串行计算和并行采样串行计算。
[0005]串行采样串行计算:ATE设备对芯片IOPin输入一个电压值控制值,芯片电压输出引脚VoltageOutPin产生一个电压值输出。ATE设备逐个采集芯片电压输出引脚的电压值,然后逐个芯片电压输出引脚VoltageOutPin的电压值进行统计计算。
[0006]并行采样串行计算:ATE设备通过用户Pattern控制芯片的IOPin电压值控制值的输入,同时进行多个芯片电压输出引脚VoltageOutPin的电压值的并行采样,然后逐个芯片电压输出引脚VoltageOutPin的电压值进行统计计算。
[0007]假设芯片具有1000个VoltageOutPin,电压输出值调整范围为1000个点,每个电压的采集样点数为2个,统计计算公式有三个:2样点平均、多VoltageOutPin电压偏差、ADC到电压值转换,每个电压值的采样耗时为3us,每个样点的统计计算耗时为3us。
[0008]采用串行采样和串行计算的方法耗时:
[0009]1000个电压点*1000个VoltageOutPin*3us+1000个电压点*1000个VoltageOutPin*3us=6000ms
[0010]采用并行采样和串行计算的方法耗时:
[0011]1000个电压点*3us+1000个电压点*1000VoltageOutPin*3us=3003ms
[0012]综上所述,现有技术针对芯片的电压灰阶测试时,普遍存在效率低的问题。
[0013]因此,急需一种关于ATE设备中芯片电压灰阶测试的相关方案来解决上述问题。

技术实现思路

[0014]有鉴于此,本专利技术提出了一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置及其控制方法,具体方案如下:
[0015]一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置,适用于包括多个第一引脚和多个第二引脚的待测芯片,所述第一引脚用于输入关于电压输出的波形信号,所述第二引脚用于根
据输入的波形信号输出相应的电压值;
[0016]所述检测装置包括:
[0017]信号模块,连接所述第一引脚,用于根据预配置的测试向量持续输出关于电压输出的波形信号至所述第一引脚,以持续调整所述待测芯片输出的电压值,以及生成触发信号并输出;
[0018]采集模块,连接所述待测芯片的多个第二引脚,用于采集多个所述第二引脚输出的每个电压值;
[0019]触发模块,用于获取所述触发信号,根据所述测试向量中的微指令获取待驱动的多个采集模块,发送所述触发信号至相应的采集模块,以同步驱动多个采集模块进行并行采集;
[0020]并行计算模块,用于在所述采集模块持续采集过程中,实时统计采集的电压值,并进行并行计算。
[0021]在一个具体实施例中,所述信号模块包括波形产生单元、调整单元、向量获取单元和逻辑单元;
[0022]所述逻辑单元,连接所述调整单元,用于调整所述调整单元的输出频率;
[0023]所述向量获取单元,用于获取预配置Pattern文件中的测试向量;
[0024]所述波形产生单元,连接所述向量获取单元、所述调整单元和所述触发模块,用于根据所述测试向量持续生成关于电压输出的波形信号,并输出至所述调整单元,以及根据所述测试向量生成触发信号并输出至所述触发模块;
[0025]所述调整单元,连接所述第一引脚,用于持续输出波形信号至所述第一引脚。
[0026]在一个具体实施例中,所述采集模块包括ADC芯片、采集单元、转换单元、传输单元;
[0027]所述ADC芯片,连接所述第二引脚,用于对所述第二引脚输出的模拟量进行采集,得到数字量;
[0028]所述采集单元,连接所述转换单元和所述ADC芯片,用于将所述数字量输出至所述转换单元,以及接收触发信号并控制所述ADC芯片进行采集;
[0029]所述转换单元,连接所述传输单元,用于将所述数字量转换为电压值,并输出至所述传输单元;
[0030]所述传输单元,连接所述并行计算模块,用于将所述电压值输出至所述并行计算模块。
[0031]在一个具体实施例中,每个第二引脚涉及多个采样点,通过采集每个采样点的采样值,来综合判断该第二引脚的输出电压;
[0032]所述并行计算模块具体包括:
[0033]在采集模块持续采集所述第二引脚的输出电压过程中,对已采样的输出电压进行并行计算;
[0034]计算多个采样值之间的平均值、第二引脚之间的电压偏差、所述模拟量转换为电压值的时间。
[0035]在一个具体实施例中,当收到所述采集模块的一个电压值时,所述并行计算模块启动并行计算。
[0036]在一个具体实施例中,每个所述采集模块至少能够采集100个第二引脚的输出电压、至多能够采集300个第二引脚的输出电压。
[0037]在一个具体实施例中,所述并行计算模块包括并行计算单元和存储单元;
[0038]所述并行计算单元,用于进行每个输出电压的计算,以及多个第二引脚间的电压值统计;
[0039]存储单元,用于存储每个第二引脚的所有电压值。
[0040]一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置的控制方法,适用于上述任一项所述的检测装置;
[0041]所述控制方法包括如下:
[0042]所述信号模块中根据预配置的测试向量持续输出关于电压输出的波形信号至所述待测芯片的第一引脚,以持续调整所述待测芯片输出的电压值;
[0043]通过所述信号模块生成触发信号并输出至所述触发模块;
[0044]通过所述触发模块获取所述触发信号,并根据所述测试向量中的微指令获取待驱动的多个采集模块,发送所述触发信号至相应的采集模块,以同步驱动多个采集模块进行并行采集;
[0045]通过所述采集模块采集多个所述第二引脚输出的每个电压值;
[0046]在所述采集模块持续采集过程中,通过所述并行计算模块实时统计采集的电压值,并进行并本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ATE设备对芯片输出电压的检测装置,其特征在于,适用于包括多个第一引脚和多个第二引脚的待测芯片,所述第一引脚用于输入关于电压输出的波形信号,所述第二引脚用于根据输入的波形信号输出相应的电压值;所述检测装置包括:信号模块,连接所述第一引脚,用于根据预配置的测试向量持续输出关于电压输出的波形信号至所述第一引脚,以持续调整所述待测芯片输出的电压值,以及生成触发信号并输出;采集模块,连接所述待测芯片的多个第二引脚,用于采集多个所述第二引脚输出的每个电压值;触发模块,用于获取所述触发信号,根据所述测试向量中的微指令获取待驱动的多个采集模块,发送所述触发信号至相应的采集模块,以同步驱动多个采集模块进行并行采集;并行计算模块,用于在所述采集模块持续采集过程中,实时统计采集的电压值,并进行并行计算。2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述信号模块包括波形产生单元、调整单元、向量获取单元和逻辑单元;所述逻辑单元,连接所述调整单元,用于调整所述调整单元的输出频率;所述向量获取单元,用于获取预配置Pattern文件中的测试向量;所述波形产生单元,连接所述向量获取单元、所述调整单元和所述触发模块,用于根据所述测试向量持续生成关于电压输出的波形信号,并输出至所述调整单元,以及根据所述测试向量生成触发信号并输出至所述触发模块;所述调整单元,连接所述第一引脚,用于持续输出波形信号至所述第一引脚。3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述采集模块包括ADC芯片、采集单元、转换单元、传输单元;所述ADC芯片,连接所述第二引脚,用于对所述第二引脚输出的模拟量进行采集,得到数字量;所述采集单元,连接所述转换单元和所述ADC芯片,用于将所述数字量输出至所述转换单元,以及接收触发信号并控制所述ADC芯片进行采集;所述转换单元,连接所述传输单元,用于将所述数字量转换为电压值,并输出至所述传输单元;所述传输单元,连接所述并行计算模块,用于将所述电压值输出至所述并行计算模块。4.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,每个第二引脚涉及多个采样点,通过采集每个采样点的采样值,来综合判断该第二引脚的输出电压;所述并行计算模块具体包括:在采集模块持续采集所述第二引脚的输出电压过程中,对已采样的输出电压进行并行计算;计算多个采样值之间的平均值、第二引脚之间的电压偏...

【专利技术属性】
技术研发人员:凌云邬刚
申请(专利权)人:杭州加速科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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