一种便于上料的晶圆探针台制造技术

本申请涉及微电子技术领域，公开了一种便于上料的晶圆探针台，包括探针台主体与机箱，机箱内上下分别开设有晶圆盒容置腔与机动腔，晶圆盒容置腔内两侧竖直安装有两个丝杠，丝杠的下端伸入机动腔内，机动腔内水平安装有同时与两个丝杠下端啮合传动的驱动轴，驱动轴连接有电机，且晶圆盒容置腔内水平设置有套于两个丝杠之间的升降板，升降板的上端面两侧对称构造有两个侧护板，两个侧护板相向的一侧均弹性安装有夹持板。而电机安装于机动腔内，电机的机轴固定有主动链轮，且驱动轴上固定有从动链轮，从动链轮与主动链轮之间连接有传动链带。该便于上料的晶圆探针台，操作简单，上料方便，在一定程度上减轻了工作人员的劳动强度。在一定程度上减轻了工作人员的劳动强度。在一定程度上减轻了工作人员的劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
一种便于上料的晶圆探针台


[0001]本申请涉及微电子
，尤其是涉及一种便于上料的晶圆探针台。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。
[0003]目前，在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题，在进行晶圆测试前，需要将装有晶圆的晶圆盒放入探针台的机箱内，机箱的一侧设有机械手，机械手抓取晶圆盒中的晶圆进行下一步的检测工作。而现有技术中的机箱通常为具有一定深度的机箱，需要工作人员手动深入放置晶圆盒，操作不便。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种便于上料的晶圆探针台，以解决上述
技术介绍
中提出现有的探针台机箱过深且需要工作人员手动深入放置晶圆盒，操作不便的问题。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：包括探针台主体与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于上料的晶圆探针台，包括探针台主体（1）与机箱（3），所述探针台主体（1）设置有检测台（2），其特征在于：所述机箱（3）内上下分别开设有晶圆盒容置腔（4）与机动腔（6），所述晶圆盒容置腔（4）内两侧竖直安装有两个丝杠（9），所述丝杠（9）的下端伸入机动腔（6）内，所述机动腔（6）内水平安装有同时与两个所述丝杠（9）下端啮合传动的驱动轴（7），所述驱动轴（7）连接有电机（8），且所述晶圆盒容置腔（4）内水平设置有套于两个所述丝杠（9）之间的升降板（10），所述升降板（10）的上端面两侧对称构造有两个侧护板（11），两个所述侧护板（11）相向的一侧均弹性安装有夹持板（16）。2.根据权利要求1所述的一种便于上料的晶圆探针台，其特征在于：所述电机（8）安装于所述机动腔（6）内，所述电机（8）的机轴固定有主动链轮（801），且所述驱动轴（7）上固定有从动链轮（701），所述从动链轮（701）与所述主动链轮（801）之间连接有传动链带（802）。3.根据权利要求1所述的一种便于上料的晶圆探针台，其特征在于：两个所述侧护板（11）远离彼此的一侧中部均固定有驱动块（12），所述驱动块（12）上开设有供所述丝杠（9）螺纹贯穿的通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛昌和，
申请(专利权)人：江阴佳泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：