下载一种便于上料的晶圆探针台的技术资料

文档序号:33751029

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本申请涉及微电子技术领域,公开了一种便于上料的晶圆探针台,包括探针台主体与机箱,机箱内上下分别开设有晶圆盒容置腔与机动腔,晶圆盒容置腔内两侧竖直安装有两个丝杠,丝杠的下端伸入机动腔内,机动腔内水平安装有同时与两个丝杠下端啮合传动的驱动轴,驱...
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