吸着物检测装置,使用这种装置的吸着物检测方法、位置偏离检测方法和清扫方法制造方法及图纸

本发明专利技术装置包括用于借助于真空抽吸利用一个喷嘴孔吸取吸着物（１１）和沿水平和垂直方向传送吸着物的一只吸取传送机械臂（１２）。在载物台（１３）上放置吸着物（１１）的位置后侧设置有一个朝上的光发射传感器（１４）。在放置吸着物（１１）的位置，形成有一个通孔，以防止遮挡从光发射器件（１４）向上发出的光线。与此同时，在吸取传送机械臂（１２）的喷嘴孔内部设置有用于接收从光发射器件（１４）发出的光线的一个朝下的光接收器件（１５）。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,使用这种装置的吸着物检测方法、位置偏离检测方法和清扫方法
本专利技术涉及能够检测是否存在吸着物的一种和一种吸着物检测方法，更具体地说，本专利技术涉及适于与IC测试机械手结合使用的一种和一种吸着物检测方法，所说机械手具有一只吸取传送机械臂。
技术介绍
现有技术中一般是使用例如压力传感器或透射型传感器检测用吸取传送机械臂传送的吸着物。所以，在附图说明图1(a)和1(b)中表示了应用压力传感器的，而在图2中表示了应用透射型传感器的另一种，并且对其结构和操作进行介绍。图1中所示装置是这样构成的，它包括一只机械臂2，机械臂2具有一个吸气口，并且可以沿水平方向和垂直方向移动，机械臂2吸气口周围的空气经过一个压力传感器3被吸入一个真空源(未示出)。在该装置中，当机械臂2向下移动到放置吸着物位置时，由压力传感器3判定是否存在吸着物1。具体地说，如果不存在吸着物，当机械臂2向下移动时，因为机械臂2的吸气口处于非密闭状态，压力传感器检测不到压力降，但是如果存在吸着物，则机械臂2没有漏气，压力传感器3可以检测到压力降。由此能够判定是否存在吸着物。而在图2所示的装置中，透射型传感器设置在放置吸着物1的位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸着物检测装置，其用于检测在载物台（１３）的预定位置是否存在吸着物（１１），所说吸着物由可沿垂直和水平方向移动的一只吸取传送机械臂（１２）吸取和传送，其中：所说吸取传送机械臂（１２）具有一个喷嘴孔，所说喷嘴孔开口朝向所说载物台（１３ ），并与一个真空源相连；在所说预定位置后侧或在所说吸取传送机械臂（１２）上设置有一个光发射器件（１４）；所说载物台（１３）具有设置在所说预定位置的一个通孔，使得从所说光发射器件（１４）发出的光线不会被所说载物台截断；和在没有设置 所说光发射器件（１４）的所说预定位置后侧或所说吸取传送机械臂（１２）上设置有用于接收从所说光发射器件（１...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：古田胜信，
申请(专利权)人：株式会社艾德温特斯特，
类型：发明
国别省市：JP[日本]