吸着物检测装置,使用这种装置的吸着物检测方法、位置偏离检测方法和清扫方法制造方法及图纸

本发明专利技术装置包括用于借助于真空抽吸利用一个喷嘴孔吸取吸着物（１１）和沿水平和垂直方向传送吸着物的一只吸取传送机械臂（１２）。在载物台（１３）上放置吸着物（１１）的位置后侧设置有一个朝上的光发射传感器（１４）。在放置吸着物（１１）的位置，形成有一个通孔，以防止遮挡从光发射器件（１４）向上发出的光线。与此同时，在吸取传送机械臂（１２）的喷嘴孔内部设置有用于接收从光发射器件（１４）发出的光线的一个朝下的光接收器件（１５）。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,使用这种装置的吸着物检测方法、位置偏离检测方法和清扫方法
本专利技术涉及能够检测是否存在吸着物的一种和一种吸着物检测方法，更具体地说，本专利技术涉及适于与IC测试机械手结合使用的一种和一种吸着物检测方法，所说机械手具有一只吸取传送机械臂。
技术介绍
现有技术中一般是使用例如压力传感器或透射型传感器检测用吸取传送机械臂传送的吸着物。所以，在附图说明图1(a)和1(b)中表示了应用压力传感器的，而在图2中表示了应用透射型传感器的另一种，并且对其结构和操作进行介绍。图1中所示装置是这样构成的，它包括一只机械臂2，机械臂2具有一个吸气口，并且可以沿水平方向和垂直方向移动，机械臂2吸气口周围的空气经过一个压力传感器3被吸入一个真空源(未示出)。在该装置中，当机械臂2向下移动到放置吸着物位置时，由压力传感器3判定是否存在吸着物1。具体地说，如果不存在吸着物，当机械臂2向下移动时，因为机械臂2的吸气口处于非密闭状态，压力传感器检测不到压力降，但是如果存在吸着物，则机械臂2没有漏气，压力传感器3可以检测到压力降。由此能够判定是否存在吸着物。而在图2所示的装置中，透射型传感器设置在放置吸着物1的位置。在透射型传感器中，由一对光发射器件4和一对光接收器件5形成穿越将要放置吸着物的位置的光线。在上述类型的装置中，根据吸着物1是否截断所说透射型传感器的一对光发射器件4和一对光接收器件5之间的光线，就可以判断是否存在吸着物。但是，图1所示的这种装置的缺点在于，在机械臂移动到放置吸着物的位置之前，无法判断是否存在吸着物。这种装置的另一个缺点是，由于压力传感器的调节存在误差，所以可能会作出存在吸着物的错误判断。另一方面，图2所示的这种装置的缺点在于，在不能将传感器相对于吸着物沿水平方向和倾斜方向安装的情况下，无法使用这种装置。这种装置的缺点还在于，在需要判断大量吸取点中每一点处是否存在吸着物的情况下，需要使用大量的传感器。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种和方法，这种装置和方法能够确切地检测是否存在吸着物，其与上述现有技术的构造相比具有更高的工作处理量，并且其所需空间减少，结构更加简单。为了实现上述专利技术目的，本专利技术预先假定用于检测是否存在吸着物的一种处于载物台的一个预定位置，所说吸着物由一只吸取传送机械臂吸取和传送，所说吸取传送机械臂可以沿垂直方向和水平方向移动。本专利技术第一方面的特征在于以下几点。具体地说，吸取传送机械臂上形成有一个朝向载物台方向开口并且与一个真空源连通的喷嘴孔。在预定位置的后侧或者在所说吸取传送机械臂上设置一个光发射器件。载物台的预定位置处形成有一个通孔，使得载物台不会截断从光发射器件发出的光线。在没有设置光发射器件的所说预定位置的后侧或吸取传送机械臂上设置用于接收从所说光发射器件发出的光线的一个光接收器件。尤为可取的是，将光发射器件或光接收器件设置在吸取传送机械臂的喷嘴孔内部。本专利技术第二方面的特征在于以下特征。具体地说，在载物台预定位置表面上或者吸取传送机械臂上设置一个反射部件。光发射器件和用于经由所说反射部件接收从所说光发射器件发出光线的光接收器件设置在没有设置反射部件的预定位置或者吸取传送机械臂表面。尤为可取的是，将成对的光发射器件和光接收器件或者反射部件设置在吸取传送机械臂喷嘴孔内部。在这些装置中，吸取传送机械臂的上部可以构成独立于所说吸取传送机械臂但是可以通过光纤与之相连的一个传感器单元，所说吸取传送机械臂上部包括设置在所说啧嘴孔内部的所说光发射器件或所说光接收器件，或者是，包括所说反射部件或一个光发射器件和一个光接收器件的组合。也可以将独立于吸取传送机械臂的传感器单元安装在与所说预定位置相反的一个位置，而所说吸取传送机械臂具有这样的结构，使得从光发射器件发出的光线可以从中穿过。本专利技术的第三方面提供了一种吸着物检测方法，该方法使用根据上述本专利技术的第一方面或第二方面构成的装置，其特征在于，当吸取传送机械臂移动到所说预定位置之上的一个位置时，如果所说光接收器件没有接收到光，则判定存在吸着物，但是如果光接收器件接收到光，则判定不存在吸着物。按照这种方法，可取的是，在从吸取传送机械臂的喷嘴孔至真空源的真空路径上设置一个真空压力传感器，在由光接收器件判定存在吸着物之后，所说吸取传送机械臂向下移动到预定位置并执行吸取操作以利用真空压力传感器再次确定是否存在吸着物。本专利技术的第四方面提供利用根据本专利技术第一方面或第二方面构成的装置检测吸取传送机械臂位置偏离的一种位置偏离检测方法，其特征在于，当所说吸取传送机械臂从一个基准位置移动到所说预定位置上方的一个位置处而在所说预定位置并不存在吸着物时，如果光接收器件没有接收到从光发射器件发出的光线，则判定吸取传送机械臂偏离了所说预定位置。在这种情况下，可取的是，在判定所说吸取传送机械臂的位置偏离所说预定位置之后，所说吸取传送机械臂沿任意方向水平移动，直到所说光接收器件接收到从所说光发射器件发出的光线为止，并根据所说吸取传送机械臂移动装置在所说光接收器件接收到所说光线时识别的位置坐标校正所说吸取传送机械臂向上移动到所说预定位置上方的位置坐标。本专利技术的第五方面提供使用根据上述本专利技术第一方面或第二方面构成的装置的一种清扫方法，其特征在于向从所说吸取传送机械臂喷嘴孔至真空源的真空路径中输送正压力空气以从所说喷嘴孔向所说预定位置吹出空气。本专利技术的第六方面提供一种，其特征在于在所说预定位置设置一个近程传感器。本专利技术的第七方面提供一种，其特征在于在所说吸取传送机械臂上设置有用于测量至相反方向的一个物体的距离的距离检测装置。此外，利用这种装置的一种吸着物检测方法的特征在于根据利用所说距离检测装置检测的距离与所说物体是否为吸着物或载物台时的距离不同来判断是否存在吸着物，并且利用所说距离检测装置识别所说吸取传送机械臂向下移动的距离。附图简介图1(a)和1(b)为现有技术中应用压力传感器的示例的示意图；图2为现有技术中应用透射型传感器的示例的示意图；图3为本专利技术的和方法的一个实施例的剖面示意图；图4为本专利技术的和方法的另一个实施例的剖面示意图；图5为本专利技术的和方法的再一个实施例的剖面示意图；图6为本专利技术的和方法的又一个实施例的剖面示意图；图7本专利技术的和方法的再另一个实施例的剖面示意图。实现本专利技术的最佳方式下面参照附图介绍本专利技术的各个实施例。图3为本专利技术的和方法的一个实施例的剖面示意图。图中所示实施例的装置包括用于吸取和沿水平和垂直方向传送吸着物11的一只吸取传送机械臂12。更具体地说，吸取传送机械臂12具有一个向下开口的啧嘴孔。在机械臂12的侧部设置有用于从所说喷嘴孔向一个真空源(未示出)抽吸空气的一个出口，当所说真空源工作时，所说吸着物11可以被吸附在喷嘴孔的开口端。吸着物11被安排放置在载物台13上，发光方向朝上的光发射器件14设置在所说载物台放置吸着物11的位置的后侧。在载物台放置吸着物11的位置，开有一个通孔，从而不会截断从光发射器件14向上发出的光线。同时，在吸取传送机械臂12的喷嘴孔内部设置有用于接收从所说光发射器件14发出的光线的接收方向朝下的一个光接收传感器15。成对的光接收传感器15和光发射传感器14构成一个所谓的透射型传感器。应当指出可以用一个透明器件16覆盖住设置在吸取本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸着物检测装置，其用于检测在载物台（１３）的预定位置是否存在吸着物（１１），所说吸着物由可沿垂直和水平方向移动的一只吸取传送机械臂（１２）吸取和传送，其中：所说吸取传送机械臂（１２）具有一个喷嘴孔，所说喷嘴孔开口朝向所说载物台（１３ ），并与一个真空源相连；在所说预定位置后侧或在所说吸取传送机械臂（１２）上设置有一个光发射器件（１４）；所说载物台（１３）具有设置在所说预定位置的一个通孔，使得从所说光发射器件（１４）发出的光线不会被所说载物台截断；和在没有设置 所说光发射器件（１４）的所说预定位置后侧或所说吸取传送机械臂（１２）上设置有用于接收从所说光发射器件（１４）发出光线的一个光接收器件（１５）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：古田胜信，
申请(专利权)人：株式会社艾德温特斯特，
类型：发明
国别省市：JP[日本]