下载吸着物检测装置,使用这种装置的吸着物检测方法、位置偏离检测方法和清扫方法的技术资料

文档序号:3732825

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本发明装置包括用于借助于真空抽吸利用一个喷嘴孔吸取吸着物(11)和沿水平和垂直方向传送吸着物的一只吸取传送机械臂(12)。在载物台(13)上放置吸着物(11)的位置后侧设置有一个朝上的光发射传感器(14)。在放置吸着物(11)的位置,形成有...
该专利属于株式会社艾德温特斯特所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社艾德温特斯特授权不得商用。

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