布线和制造布线的方法以及布线板和制造布线板的方法技术

本发明专利技术的布线具有层叠结构，它包括具有第一宽度的第一导电层（第一层），由选自Ｗ和Ｍｏ，或主要含该元素的合金或化合物的一种或多种元素制成；低阻的第二导电层（第二层），其具有小于第一宽度的第二宽度，由主要含Ａｌ的合金或化合物制成；及第三导电层（第三层），其具有小于第二宽度的第三宽度，由主要含Ｔｉ的合金或化合物制成。采用这种结构，使本发明专利技术为象素段的扩大留有充分的余地。至少第二导电层的边缘具有锥形的截面。由于这种形状，使得能够获得令人满意的覆盖范围。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用薄膜技术形成的布线及制造布线的方法。本专利技术还涉及布线板及制造布线板的方法。在本说明书中，布线板是指用玻璃等制造的绝缘基板或具有使用薄膜技术形成的布线的各种基板。
技术介绍
近年来，使用在有绝缘表面的基板上形成的半导体薄膜(厚度约几至几百nm)来形成薄膜晶体管(TFT)的技术已受到人们的注意。TFT广泛地应用于电子器件如集成电路(IC)和电光仪器。特别是TFT作为图象显示仪的开关元件正在得到迅速地发展。通常，液晶显示器件是作为图象显示仪器为人们所知的。与无源型液晶显示器件相比，由于能得到精度更高的图象，有源矩阵型液晶显示器件正在更多地使用。在有源矩阵型液晶显示器件中，排列在矩阵中的象素电极受到驱动，从而在屏幕上形成显示图形。更具体地说，电压加在选出的象素电极和与此象素电极相对应的反电极之间，由此配置在象素电极和反电极之间的液晶层就受到光学调制，而这种光学调制是由观测者以显示图形而认知的。这种有源矩阵型液晶显示器件得到了比较广泛的应用，而且对高精度、高孔径比，高稳定性，以及屏幕尺寸的扩大存在日益增长的需要。对提高生产力和降低成本也有要求。在使用铝(Al)作为上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有层叠结构的布线，该布线包括第一宽度第一导电层作为第一层，第二宽度第二导电层作为第二层，而第二宽度小于第一宽度，及第三宽度第三导电层作为第三层，第三宽度又小于第二宽度。其中，第一导电层，第二导电层，或第三导电层的边缘的截面为锥形形 状。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎舜平，须泽英臣，小野幸治，楠山义弘，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]